CN208377259U - 一种晶圆撕膜机的撕膜机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体，所述撕膜机本体的上表面设置有晶圆固定盘，所述晶圆固定盘的上表面设置有晶圆本体，所述晶圆本体的两侧设置有滑轨，所述滑轨设置在撕膜机本体的上表面，所述滑轨的上表面设置有连接架，所述连接架的内部设置有滚轴，所述滚轴的外侧表面设置有齿轮，所述齿轮的外侧表面设置有导向齿条，所述导向齿条的底面设置在撕膜机本体的上表面；设备的撕膜滚轴外侧表面增设了齿轮，在撕膜的过程中能够保持滚轴进行旋转运动，能够更好的对晶圆进行撕膜，同时滚轴的两端设置了限位用咬合金属片，在需要去除滚轴侧面粘接的膜时便于逆向旋转滚轴并将膜移除，提升了工作人员的工作效率。

Description

一种晶圆撕膜机的撕膜机构

技术领域

本实用新型属于晶圆撕膜机技术领域，具体涉及一种晶圆撕膜机的撕膜机构。

背景技术

圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，目前的产品基本为8英寸晶圆和12英寸晶圆,目前的晶圆在生产过程中会进行封装，便于在不同的地点运输，出于对晶圆质量安全的考虑，防止晶圆在运输时破碎，晶圆的表面会进行贴膜，在后续工序加工之前需要先将薄膜撕除；目前的撕膜设备使用时极为不便，且贴膜粘在撕膜机构滚轴的侧表面不易取下，工作人员使用时效率低下，针对目前的撕膜机使用时所暴露的问题，有必要对塑膜机的撕膜机构进行结构上的改进，为此我们提出一种晶圆撕膜机的撕膜机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆撕膜机的撕膜机构，以解决上述背景技术中提出的目前的撕膜设备使用时极为不便，且贴膜粘在撕膜机构的表面不易取下，工作人员使用时效率低下的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体，所述撕膜机本体的上表面设置有晶圆固定盘，所述晶圆固定盘的上表面设置有晶圆本体，所述晶圆本体的两侧设置有滑轨，所述滑轨设置在撕膜机本体的上表面，所述滑轨的上表面设置有连接架，所述连接架的内部设置有滚轴，所述滚轴的外侧表面设置有齿轮，所述齿轮的外侧表面设置有导向齿条，所述导向齿条的底面设置在撕膜机本体的上表面，所述滚轴的两端贯穿连接架的侧面到达连接架的外部，所述滚轴的外侧表面设置有第二咬合用金属片，所述滚轴的外部设置有旋钮，所述旋钮的内侧表面设置有第一咬合金属片，所述滚轴的顶端与旋钮的内壁套接连接。

优选的，所述晶圆固定盘的内部均匀设置有导气管，所述导气管的顶端设置有吸盘，所述吸盘的侧面设置有橡胶密封圈，所述橡胶密封圈设置在晶圆固定盘的上表面。

优选的，所述滚轴的两端外侧表面对称设置有齿轮，所述齿轮通过切割设置在滚轴的侧面，所述齿轮与滚轴为一体结构，所述齿轮的底面都设置有导向齿条，所述导向齿条通过晶圆固定盘对称安装。

优选的，所述撕膜机本体的上表面开设有两个滑轨，所述两个滑轨以晶圆固定盘为对称轴安装。

优选的，所述滚轴的侧面均匀设置有一圈的第二咬合用金属片，所述第二咬合用金属片的一侧设置有第一咬合金属片，所述第二咬合用金属片的顶端与第一咬合金属片的顶端相接触。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）设备的内部增设了晶圆固定设备，晶圆撕膜机在使用的过程中能够更好的对晶圆进行固定，同时对不同的尺寸的晶圆有更好的兼容性，便于工作人员的使用。

（2）设备的撕膜滚轴外侧表面增设了齿轮，在撕膜的过程中能够保持滚轴进行旋转运动，能够更好的对晶圆进行撕膜，同时滚轴的两端设置了限位用咬合金属片，在需要去除滚轴侧面粘接的膜时便于逆向旋转滚轴并将膜移除，提升了工作人员的工作效率。

附图说明

图1为本实用新型的外观结构示意图；

图2为本实用新型的晶圆固定吸盘截面结构示意图；

图3为本实用新型的吸盘俯视结构示意图；

图4为本实用新型的连接架结构示意图；

图5为本实用新型的旋钮截面结构示意图；

图6为本实用新型的导向齿条结构示意图；

图7为本实用新型的晶圆固定盘截面结构示意图；

图8为本实用新型的真空板俯视结构示意图；

图中：1、撕膜机本体；2、晶圆固定盘；3、晶圆本体；4、滚轴；5、齿轮；6、连接架；7、旋钮；8、导向齿条；9、橡胶密封圈；10、导气管；11、吸盘；12、滑轨；13、第一咬合金属片；14、第二咬合用金属片；15、排气槽；16、橡胶垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4、图5和图6，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体1，撕膜机本体1的上表面设有晶圆固定盘2，晶圆固定盘2的底端贯穿撕膜机本体1的上表面到达撕膜机本体1的内部，晶圆固定盘2的上表面放置有晶圆本体3，晶圆本体3的两侧设有滑轨12，滑轨12通过切割设在撕膜机本体1的上表面，滑轨12的上表面设有连接架6，连接架6的内部设有滚轴4，滚轴4的外侧表面设有齿轮5，齿轮5的外侧表面设有导向齿条8，导向齿条8的底面通过螺栓固定在撕膜机本体1的上表面，滚轴4的两端贯穿连接架6的侧面到达连接架6的外部，滚轴4的外侧表面设有第二咬合用金属片14，滚轴4的外部设有旋钮7，旋钮7的内侧表面设有第一咬合金属片13，滚轴4的顶端与旋钮7的内壁套接连接。

为了便于对晶圆本体3的固定，以便在撕膜过程中晶圆本体3的位置保持不变，本实施例中，优选的，晶圆固定盘2的内部均匀设有导气管10，导气管10的顶端设有吸盘11，吸盘11的侧面设有橡胶密封圈9，橡胶密封圈9设在晶圆固定盘2的上表面。

为了保持设备运动过程中两端运动的一致，本实施例中，优选的，滚轴4的两端外侧表面对称设有齿轮5，齿轮5通过切割设在滚轴4的侧面，齿轮5与滚轴4为一体结构，齿轮5的底面都设有导向齿条8，且两个导向齿条8对称安装。

为了保持设备的稳定，本实施例中，优选的，撕膜机本体1的上表面开设有两个滑轨12，两个滑轨12以晶圆固定盘2为对称轴安装。

为了便于工作人员使用，本实施例中，优选的，滚轴4的侧面均匀设置有一圈的第二咬合用金属片14，第二咬合用金属片14的一侧设置有第一咬合金属片13，第二咬合用金属片14的顶端与第一咬合金属片13的顶端相接触。

本实用新型的实施例1工作原理及使用流程：该设备在使用过程中将晶圆本体3放置在晶圆固定盘2的上表面，启动设备之后撕膜机本体1内部的抽气设备将气体通过导气管10抽走，吸盘11的上表面与晶圆本体3的下表面接触，橡胶密封圈9的顶端与晶圆本体3的底面接触，并将晶圆固定盘2的上表面进行密封，工作人员先撕下小部分的胶膜缠绕在滚轴4的侧面，之后工作人员使用手推动旋钮7，旋钮7在被推动的过程中带动连接架6在滑轨12的上表面运动，滚轴4同步在晶圆本体3的上表面运动，滚轴4在前进的过程侧面的齿轮5与导向齿条8接触，导向齿条8使得滚轴4在前进的过程中旋转，滚轴4旋转时将晶圆本体3侧面的胶膜缠绕带走，当连接架6从滑轨12上行走完之后对晶圆的撕膜完成，工作人员在滑轨12的终端反转旋钮7，旋钮7在反转时带动第一咬合金属片13旋转，第一咬合金属片13旋转时带动第二咬合用金属片14旋转，第二咬合用金属片14最终带动滚轴4反向旋转，最终贴膜从滚轴4的表面脱落。

实施例2

请参阅图1、图4、图5、图6、图7和图8，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体1，撕膜机本体1的上表面设有晶圆固定盘2，晶圆固定盘2的底端贯穿撕膜机本体1的上表面到达撕膜机本体1的内部，晶圆固定盘2的上表面放置有晶圆本体3，晶圆本体3的两侧设有滑轨12，滑轨12通过切割设在撕膜机本体1的上表面，滑轨12的上表面设有连接架6，连接架6的内部设有滚轴4，滚轴4的外侧表面设有齿轮5，齿轮5的外侧表面设有导向齿条8，导向齿条8的底面通过螺栓固定在撕膜机本体1的上表面，滚轴4的两端贯穿连接架6的侧面到达连接架6的外部，滚轴4的外侧表面设有第二咬合用金属片14，滚轴4的外部设有旋钮7，旋钮7的内侧表面设有第一咬合金属片13，滚轴4的顶端与旋钮7的内壁套接连接。

为了便于对晶圆本体3的固定，以便在撕膜过程中晶圆本体3的位置保持不变，本实施例中，优选的，晶圆固定盘2的内部均匀设置有导气管10，导气管10的顶端贯穿晶圆固定盘2的上表面到达晶圆固定盘2的外部，晶圆固定盘2的上表面通过注塑设置有橡胶垫片16，橡胶垫片16的侧表面设置有橡胶密封圈9，橡胶垫片16的上表面通过压铸设置有排气槽15，导气管10的顶端与排气槽15的内部连通。

为了保持设备运动过程中两端运动的一致，本实施例中，优选的，滚轴4的两端外侧表面对称设有齿轮5，齿轮5通过切割设在滚轴4的侧面，齿轮5与滚轴4为一体结构，齿轮5的底面都设有导向齿条8，且两个导向齿条8对称安装。

为了保持设备的稳定，本实施例中，优选的，撕膜机本体1的上表面开设有两个滑轨12，两个滑轨12以晶圆固定盘2为对称轴安装。

为了便于工作人员使用，本实施例中，优选的，滚轴4的侧面均匀设置有一圈的第二咬合用金属片14，第二咬合用金属片14的一侧设置有第一咬合金属片13，第二咬合用金属片14的顶端与第一咬合金属片13的顶端相接触。

本实用新型的实施例2工作原理及使用流程：该设备在使用过程中将晶圆本体3放置在晶圆固定盘2的上表面，启动设备之后撕膜机本体1内部的抽气设备将气体通过导气管10抽走，橡胶密封圈9的顶端与晶圆本体3的底面接触，并将晶圆固定盘2的上表面进行密封，排气槽15内部气压减小，使得橡胶垫片16的上表面与晶圆本体3的下表面接触，工作人员先撕下小部分的胶膜缠绕在滚轴4的侧面，之后工作人员使用手推动旋钮7，旋钮7在被推动的过程中带动连接架6在滑轨12的上表面运动，滚轴4同步在晶圆本体3的上表面运动，滚轴4在前进的过程侧面的齿轮5与导向齿条8接触，导向齿条8使得滚轴4在前进的过程中旋转，滚轴4旋转时将晶圆本体3侧面的胶膜缠绕带走，当连接架6从滑轨12上行走完之后对晶圆的撕膜完成，工作人员在滑轨12的终端反转旋钮7，旋钮7在反转时带动第一咬合金属片13旋转，第一咬合金属片13旋转时带动第二咬合用金属片14旋转，第二咬合用金属片14最终带动滚轴4反向旋转，最终贴膜从滚轴4的表面脱落。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种晶圆撕膜机的撕膜机构，包括撕膜机本体（1），其特征在于：所述撕膜机本体（1）的上表面设置有晶圆固定盘（2），所述晶圆固定盘（2）的上表面设置有晶圆本体（3），所述晶圆本体（3）的两侧设置有滑轨（12），所述滑轨（12）设置在撕膜机本体（1）的上表面，所述滑轨（12）的上表面设置有连接架（6），所述连接架（6）的内部设置有滚轴（4），所述滚轴（4）的外侧表面设置有齿轮（5），所述齿轮（5）的外侧表面设置有导向齿条（8），所述导向齿条（8）的底面设置在撕膜机本体（1）的上表面，所述滚轴（4）的两端贯穿连接架（6）的侧面到达连接架（6）的外部，所述滚轴（4）的外侧表面设置有第二咬合用金属片（14），所述滚轴（4）的外部设置有旋钮（7），所述旋钮（7）的内侧表面设置有第一咬合金属片（13），所述滚轴（4）的顶端与旋钮（7）的内壁套接连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜机的撕膜机构，其特征在于：所述晶圆固定盘（2）的内部均匀设置有导气管（10），所述导气管（10）的顶端设置有吸盘（11），所述吸盘（11）的侧面设置有橡胶密封圈（9），所述橡胶密封圈（9）设置在晶圆固定盘（2）的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜机的撕膜机构，其特征在于：所述滚轴（4）的两端外侧表面对称设置有齿轮（5），所述齿轮（5）通过切割设置在滚轴（4）的侧面，所述齿轮（5）与滚轴（4）为一体结构，所述齿轮（5）的底面都设置有导向齿条（8），所述导向齿条（8）通过晶圆固定盘（2）对称安装。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜机的撕膜机构，其特征在于：所述撕膜机本体（1）的上表面开设有两个滑轨（12），所述两个滑轨（12）以晶圆固定盘（2）为对称轴安装。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆撕膜机的撕膜机构，其特征在于：所述滚轴（4）的侧面均匀设置有一圈的第二咬合用金属片（14），所述第二咬合用金属片（14）的一侧设置有第一咬合金属片（13），所述第二咬合用金属片（14）的顶端与第一咬合金属片（13）的顶端相接触。