CN208334002U - 一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体、PLC控制器、检测仪、进液口、出液口，检测仪的探头伸入腔体内与剥离液接触，腔体后端底部还设有回流口，回流口连接有回流泵，腔体前端中部还设有电机，电机与搅拌轴相连，搅拌轴伸入腔体中，腔体的外部设有恒温层，与恒温水箱相连，还设置有温度传感器，温度传感器的探头与剥离液接触，PLC控制器设置在腔体顶部，PLC控制器与检测仪、出液泵、回流泵、电机、恒温水箱和温度传感器电连接。本实用新型通过搅拌轴和恒温层的设计，使剥离液更均匀，获得的检测数据更准确。通过PLC控制器、出液口、出液泵的设计，不合格剥离液可自动回流至前端调配装置。

Description

一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种检测装置，具体涉及一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置。

背景技术

随着国内电子制造产业和光电产业的迅速发展，光刻胶剥离液等电子化学品的使用量也大为増加。通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去。在剥离液应用过程产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是有再利用价值的有机组分。从资源化的观点出发，循环再生这些剥离液不仅可以减少对环境的危害，还能降低企业的生产成本。

通常情况下，经过脱水精馏、薄膜蒸发、产品精制等过程进行剥离液的再生，但是剥离液在应用过程中，对其有效成分的浓度配比有较为严格的要求，而再生剥离液浓度配比是否符合使用要求，需要对其进行检测后方能确定。如检测浓度不合格的，需将剥离液返回进行浓度调配，调配后需要再次检测进行浓度确认，流程非常麻烦。

实用新型内容

本实用新型基于上述背景，目的在于解决如何自动对再生剥离液浓度进行精确检测，并自动将检测不合格的剥离液泵回浓度调配装置的问题，提出一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置。

本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体、PLC控制器、检测仪、进液口、出液口，其特征在于：所述进液口设置于腔体前端的顶部，所述出液口设置于腔体后端的下部，所述出液口连接有出液泵，所述检测仪设置在腔体顶部，检测仪的探头伸入腔体内与剥离液接触，所述腔体后端底部还设有回流口，所述回流口连接有回流泵，所述腔体前端中部还设有电机，所述电机与搅拌轴相连，所述搅拌轴伸入腔体中，腔体的外部设有恒温层，所述恒温层将腔体完全包围，所述恒温层的前端底部设有进水口，所述进水口连接有恒温水箱，所述恒温水箱带有流速控制器，所述恒温层后端顶部设有出水口，所述腔体顶部还设置有温度传感器，所述温度传感器的探头伸入腔体内与剥离液接触，所述PLC控制器设置在腔体顶部，PLC控制器与检测仪、出液泵、回流泵、电机、恒温水箱和温度传感器电连接。

进一步地，所述搅拌轴上至少有一对叶片。

进一步地，所述PLC控制器上设有显示器。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

1、在腔体外设有电机，电机可带动搅拌轴转动，使进入腔体的剥离液更均匀，获得的检测数据更准确。

2、腔体外还有恒温层，进一步降低了温度变化对检测数据准确性的影响。

3、在腔体后端设有出液口、出液泵以及回流口、回流泵，当检测数据不合格时，PLC控制器可控制回流泵和出液泵的启闭，控制剥离液往回流口流出，并返回到浓度调配工序中。

4、从新调配的剥离液从进液口再次进入腔体，可快速实现二次检测。

5、本是实用新型自动实现检测、出液，以及不合格剥离液的回流，自动化程度高，工作效率高，还降低了人工成本。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

图2是本实用新型控制***示意图。

其中，1-腔体，2-PLC控制***，3-检测仪，4-进液口，5-出液泵，6-回流泵，7-电机，8-搅拌轴，9-出液口，10-回流口，11-恒温层，12-恒温水箱，13-进水口，14-出水口，15-温度传感器，21-显示器，81-叶片。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1、图2所示，一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体1、PLC控制器2、检测仪3、进液口4、出液口9，其特征在于：所述检测仪3设置在腔体1顶部，检测仪3的探头伸入腔体1内与剥离液接触，所述进液口4设置于腔体1前端的顶部，所述出液口9设置于腔体1后端的下部，所述出液口9连接有出液泵5，所述腔体1后端底部还设有回流口10，所述回流口10连接有回流泵6，所述腔体1前端中部还设有电机7，所述电机7与搅拌轴8相连，所述搅拌轴8伸入腔体1中，腔体1的外部设有恒温层11，所述恒温层11将腔体1完全包围，所述恒温层11的前端底部设有进水口13，所述进水口13连接有恒温水箱12，所述恒温水箱12带有流速控制器，所述恒温层11后端顶部设有出水口14，所述腔体1顶部还设置有温度传感器15，所述温度传感器15的探头伸入腔体1内与剥离液接触，所述PLC控制器2设置在腔体1顶部，PLC控制器2与检测仪3、出液泵5、回流泵6、电机7、恒温水箱12和温度传感器15电连接。

本实施例中，所述搅拌轴8上至少有一对叶片81。

本实施例中，所述PLC控制器2上设有显示器21。

本实施例中，所述检测仪3集成有二甲基亚砜和二甲基乙酰胺探头。

工作原理：经过调配后的剥离液从进液口4进入腔体1，电机7在PLC控制器2的控制下，带动搅拌轴8转动，从而将刚调配完的剥离液混合均匀，为得到准确的检测数据提供保障。混合均匀的剥离液与检测仪3的探头接触，检测仪3形成检测数据，并将数据传输给PLC控制器2。正常情况下，出液泵5运行，有效组分浓度合格的剥离液从出液口9泵出。当PLC控制器2监测到检测仪3传输来的数据不合格时，PLC控制器2即自动关停出液泵5并开启回流泵6，不合格的剥离液即被送回调配装置，重新进行有效成分的调配。为了进一步保证检测的准确性，在腔体1外部设置了恒温层11，工作时，温度传感器15会把检测到的剥离液温度数据实施传送给PLC控制器2，PLC控制器2根据温度的变化实时调整恒温水箱12供水速度，以保证腔体1内剥离液温度的恒定性，从而最大程度降低了温度变化对检测数据准确性的影响。

Claims (3)

1.一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，包括：腔体（1）、PLC控制器（2）、检测仪（3）、进液口（4）、出液口（9），其特征在于：所述检测仪（3）设置在腔体（1）顶部，检测仪（3）的探头伸入腔体（1）内与剥离液接触，所述进液口（4）设置于腔体（1）前端的顶部，所述出液口（9）设置于腔体（1）后端的下部，所述出液口（9）连接有出液泵（5），所述腔体（1）后端底部还设有回流口（10），所述回流口（10）连接有回流泵（6），所述腔体（1）前端中部还设有电机（7），所述电机（7）与搅拌轴（8）相连，所述搅拌轴（8）伸入腔体（1）中，腔体（1）的外部设有恒温层（11），所述恒温层（11）将腔体（1）完全包围，所述恒温层（11）的前端底部设有进水口（13），所述进水口（13）连接有恒温水箱（12），所述恒温水箱（12）带有流速控制器，所述恒温层（11）后端顶部设有出水口（14），所述腔体（1）顶部还设置有温度传感器（15），所述温度传感器（15）的探头伸入腔体（1）内与剥离液接触，所述PLC控制器（2）设置在腔体（1）顶部，PLC控制器（2）与检测仪（3）、出液泵（5）、回流泵（6）、电机（7）、恒温水箱（12）和温度传感器（15）电连接。

2.如权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，其特征在于：所述搅拌轴（8）上至少有一对叶片（81）。

3.如权利要求1所述的一种剥离液再生工艺段的有效成分检测装置，其特征在于：所述PLC控制器（2）上设有显示器（21）。