CN208328088U - 一种掩膜板及蒸镀设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种掩膜板及蒸镀设备,掩膜板包括框架,所述框架包括两组侧边框,所述两组侧边框中的一组侧边框上设置有多个遮挡条,所述两组侧边框中的另一组侧边框上设置有多个支撑条,任一所述遮挡条和任一所述支撑条相交设置,所述遮挡条和/或所述支撑条的两端通过活动块活动连接于相应的侧边框上。本实用新型的有益效果是:遮挡条和/或支撑条活动连接于框架上,易于拆卸,避免损伤掩膜条。
Description
技术领域
本实用新型涉及显示产品制作技术领域,尤其涉及一种掩膜板及蒸镀设备。
背景技术
精细金属掩膜(FMM Mask)模式,是通过蒸镀方式将OLED(有机发光二极管,Organic Light-Emitting Diode)材料按照预定程序蒸镀到基板上,利用金属掩膜板上的图形,蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。金属掩膜板需要通过夹具夹持、拉伸、前期调整、焊接等过程最终形成可用于蒸镀的金属掩膜版;金属掩膜板一般由遮挡条、支撑条、掩膜条经过调整后焊接于框架上所得,金属掩膜板为整体式设计,在修复现有支撑条、遮挡条时,遮挡条、支撑条因内力原因,易在修复过程中回弹,损伤掩膜条。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种掩膜板及蒸镀设备,避免在修复过程中损伤掩膜条。
为了达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种掩膜板,包括框架,所述框架包括两组侧边框,所述两组侧边框中的一组侧边框上设置有多个遮挡条,所述两组侧边框中的另一组侧边框上设置有多个支撑条,任一所述遮挡条和任一所述支撑条相交设置,所述遮挡条和/或所述支撑条的两端通过活动块活动连接于相应的侧边框上。
进一步的,每个所述遮挡条的两端的所述活动块中的至少一个所述活动块上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述遮挡条的张力;和/或,
每个所述支撑条的两端的所述活动块中的至少一个所述活动块上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述支撑条的张力。
进一步的,所述调节件包括螺栓,至少一组所述侧边框中的一个侧边框包括第一侧面和第二侧面,所述第一侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框面向该组侧边框中的另一个侧边框的一面,所述第二侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框上和与所述第一侧面相背设置的一面,
至少一组所述侧边框中的一个侧边框上设置有贯穿所述第一侧面和所述第二侧面的多个通孔,所述通孔的数量与所述支撑条或所述遮挡条的数量相对应,每个所述活动块上设置有插孔,所述螺栓穿过所述通孔、并螺旋安装于相应的所述插孔内,以将相应的所述活动块固定于相应的侧边框上。
进一步的,所述第一侧面设置有供相应的所述活动块***的凹槽,相应的所述通孔贯穿所述凹槽。
进一步的,所述遮挡条和/或所述支撑条包括与相应的所述活动块连接的第一连接面,所述活动块包括用于与相应的所述遮挡条或支撑条连接的第二连接面,所述第一连接面的面积大于所述第二连接面的面积,且所述第一连接面在第一方向上的长度与所述第二连接面在所述第一方向上的长度的差为预设值,所述第一方向为所述第一连接面的宽度方向。
进一步的,所述活动块在所述框架的厚度方向上的截面为梯形,所述活动块包括与所述第二连接面相对设置的第三连接面,所述第三连接面的面积大于所述第二连接面的面积。
进一步的,所述遮挡条和/或所述支撑条的两端焊接于所述活动块上。
进一步的,所述活动块在所述框架的厚度方向上的长度小于或等于所述框架的厚度。
进一步的,包括相互拼接的多个掩膜条,相邻两个所述掩膜条之间的拼接处设置所述遮挡条,所述支撑条用于支撑所述掩膜条。
本实用新型还提供一种蒸镀设备,包括上述的掩膜板。
本实用新型的有益效果是:遮挡条和/或支撑条活动连接于框架上,易于拆卸,避免损伤掩膜条。
附图说明
图1表示本实用新型实施例中掩膜板结构示意图;
图2表示本实用新型实施例中掩膜板部分结构分解示意图;
图3表示本实用新型实施例中掩膜板部分结构放大示意图;
图4表示本实用新型实施例中螺栓与侧边框的连接结构示意图一
图5表示本实用新型实施例中螺栓与侧边框连接结构示意图二;
图6表示本实用新型实施例中活动块结构示意图一。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的特征和原理进行详细说明,所举实施例为对本实用新型的具体说明,并非以此对本实用新型的保护范围进行限制。
如图1所示,本实施例提供一种掩膜板,包括框架4,所述框架4包括两组侧边框,所述两组侧边框中的一组侧边框上设置有多个遮挡条1,所述两组侧边框中的另一组侧边框上设置有多个支撑条2,任一所述遮挡条1和任一所述支撑条2相交设置,所述遮挡条1和/或所述支撑条2的两端通过活动块3活动连接于相应的侧边框上。
掩膜板还包括多个掩膜条(图中未示),遮挡条1设置于相邻两个掩膜条之间,支撑条2用于支撑掩膜条,遮挡条1和支撑条2均设置于掩膜条的下方,相对于整体式的连接方式,遮挡条1和/或支撑条2活动连接于框架4上,易于拆卸,避免损伤掩膜条。
本实施例中,每个所述遮挡条1的两端的所述活动块3中的至少一个所述活动块3上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述遮挡条1的张力;和/或,
每个所述支撑条2的两端的所述活动块3中的至少一个所述活动块3上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述支撑条2的张力。
所述调节件的设置使得所述遮挡条1和/或所述支撑条2的张力可调,在所述框架4由于外力等原因而变形时,可通过调节件调节相应的所述遮挡条1和/或所述支撑条2的张力而改善所述框架4的形变程度,保证蒸镀质量。
如图2-图5所示,所述调节件的具体结构形式可以有多种,本实施例中,所述调节件包括螺栓5,至少一组所述侧边框中的一个侧边框包括第一侧面和第二侧面,所述第一侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框面向该组侧边框中的另一个侧边框的一面,所述第二侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框上和与所述第一侧面相背设置的一面,
至少一组所述侧边框中的一个侧边框上设置有贯穿所述第一侧面和所述第二侧面的多个通孔,所述通孔的数量与所述支撑条2或所述遮挡条1的数量相对应,每个所述活动块3上设置有插孔31,所述螺栓5穿过所述通孔、并螺旋安装于相应的所述插孔31内,以将相应的所述活动块3固定于相应的侧边框上。
通过调节所述螺栓5的松紧状态以调节相应的所述遮挡条1或所述支撑条2的张力,在进行遮挡条1/支撑条2的修复时,可通过螺栓5预先释放遮挡条1/支撑条2的应力,避免遮挡条1/支撑条2的回弹,有效的避免对掩膜条的损伤。
本实施例中,所述第一侧面设置有供相应的所述活动块3***的凹槽41,相应的所述通孔贯穿所述凹槽41。
所述活动块3安装入凹槽41内,提升了活动块3与相应的边框的连接稳定性,从而提升了掩膜板整体的稳定性,且凹槽41的设置使得活动块3不会占据掩膜板的蒸镀区域的空间。
本实施例中,所述遮挡条1和/或所述支撑条2包括与相应的所述活动块3连接的第一连接面,所述活动块3包括用于与相应的所述遮挡条1或支撑条2连接的第二连接面,所述第一连接面的面积大于所述第二连接面的面积,且所述第一连接面在第一方向上的长度与所述第二连接面在所述第一方向上的长度的差为预设值,所述第一方向为所述第一连接面的宽度方向,所述第一连接面为矩形。
所述预设值可根据实际需要设定,所述预设值不能过大,以免所述活动块3会影响掩膜板的正常使用。
本实施例中,所述活动块3在所述框架4的厚度方向上的截面为梯形,所述活动块3包括与所述第二连接面相对设置的第三连接面,所述第三连接面的面积大于所述第二连接面的面积。
所述活动块3的所述第二连接面的大小需要与所述遮挡条1和/或所述支撑条2的所述第一连接面的面积相适配,所述活动块3上设置供所述螺栓5安装的插孔31,所述插孔31的大小需要与所述螺栓5相匹配,一般情况下,所述第一连接面的面积很小,所述活动块3采用梯形的设置,使得所述第二连接面与所述第一连接面相适配,且使得设置所述插孔31的位置足以设置插孔31,且插孔31的大小可以与相应的螺栓5相匹配,所述活动块3的结构示意图如图6所示。
所述遮挡条1和/或所述支撑条2与所述活动块3的连接方式可以有多种,本实施例中,所述遮挡条1和/或所述支撑条2的两端焊接于所述活动块3上,但并不以此为限。
所述掩膜板包括多个掩膜条(图中未示),所述支撑条2用于支撑掩膜条,所述遮挡条1设置于相邻两个掩膜条之间,所述遮挡条1与掩膜条同向设置,所述遮挡条1与所述支撑条2相交设置,且所述遮挡条1和所述支撑条2均位于所述掩膜条的下方。
为了不影响掩膜条与框架4的连接,本实施例中,所述活动块3在所述框架4的厚度方向上的长度小于或等于所述框架4的厚度。
具体的,本实施例中掩膜板包括框架4,所述框架4为矩形,包括两两相对的两组侧边框,一组所述侧边框上设置有多个遮挡条1,另一组侧边框上设置有多个支撑条2,每个所述支撑条2的两端通过活动块3活动连接于相应的侧边框上,每个所述遮挡条1的两端通过活动块3活动连接于相应的侧边框上。
每个所述支撑条2/遮挡条1的两端焊接于相应的活动块3上。
每个侧边框包括面向与该侧边框相对的另一个侧边框的第一侧面和与所述第一侧面相对设置的第二侧面,第一侧面上设置有与相应的遮挡条1或支撑条2的数量相对应的凹槽41,所述凹槽41用于供所述活动块3***,所述活动块3上设置有插孔31,所述凹槽41内设置有贯穿所述第二侧面设置的通孔,螺栓5穿过所述通孔、安装于所述插孔31内,通过调整螺栓5的松紧状态以调节相应的遮挡条1/支撑条2的张力。
本实施例还提供一种蒸镀设备,包括上述的掩膜板。
本实施例还提供一种掩膜板的制作方法,应用于上述的掩膜板,包括:
将遮挡条1和/或支撑条2的两端连接于活动块3上;
将活动块3活动连接于相应的边框上。
具体的,包括:
将遮挡条1的两端焊接固定于活动块3上;
将支撑条2的两端焊接固定于活动块3上;
将活动块3***相应的侧边框的凹槽41内,然后将螺栓5穿过侧边框上的通孔、并安装于活动块3的插孔31内;
将掩膜条固定连接于相应的侧边框上。
本实施例中,通过活动块3、螺栓5的设置使得遮挡条1/支撑条2的张力可调,在遮挡条1/支撑条2的修复时,可通过螺栓5预先释放遮挡条1/支撑条2的应力,避免遮挡条1/支撑条2的回弹,有效的避免对掩膜条的损伤。
以上所述为本实用新型较佳实施例,需要说明的是,对于本领域普通技术人员来说,在不脱离本实用新型所述原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围。
Claims (10)
1.一种掩膜板,包括框架,所述框架包括两组侧边框,所述两组侧边框中的一组侧边框上设置有多个遮挡条,所述两组侧边框中的另一组侧边框上设置有多个支撑条,任一所述遮挡条和任一所述支撑条相交设置,其特征在于,所述遮挡条和/或所述支撑条的两端通过活动块活动连接于相应的侧边框上。
2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,每个所述遮挡条的两端的所述活动块中的至少一个所述活动块上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述遮挡条的张力;和/或,
每个所述支撑条的两端的所述活动块中的至少一个所述活动块上设置有调节件,所述调节件用于调节相应的所述支撑条的张力。
3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述调节件包括螺栓,至少一组所述侧边框中的一个侧边框包括第一侧面和第二侧面,所述第一侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框面向该组侧边框中的另一个侧边框的一面,所述第二侧面为至少一组所述侧边框中的一个侧边框上和与所述第一侧面相背设置的一面,
至少一组所述侧边框中的一个侧边框上设置有贯穿所述第一侧面和所述第二侧面的多个通孔,所述通孔的数量与所述支撑条或所述遮挡条的数量相对应,每个所述活动块上设置有插孔,所述螺栓穿过所述通孔、并螺旋安装于相应的所述插孔内,以将相应的所述活动块固定于相应的侧边框上。
4.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,所述第一侧面设置有供相应的所述活动块***的凹槽,相应的所述通孔贯穿所述凹槽。
5.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,所述遮挡条和/或所述支撑条包括与相应的所述活动块连接的第一连接面,所述活动块包括用于与相应的所述遮挡条或支撑条连接的第二连接面,所述第一连接面的面积大于所述第二连接面的面积,且所述第一连接面在第一方向上的长度与所述第二连接面在所述第一方向上的长度的差为预设值,所述第一方向为所述第一连接面的宽度方向。
6.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述活动块在所述框架的厚度方向上的截面为梯形,所述活动块包括与所述第二连接面相对设置的第三连接面,所述第三连接面的面积大于所述第二连接面的面积。
7.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述遮挡条和/或所述支撑条的两端焊接于所述活动块上。
8.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述活动块在所述框架的厚度方向上的长度小于或等于所述框架的厚度。
9.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,还包括相互拼接的多个掩膜条,相邻两个所述掩膜条之间的拼接处设置所述遮挡条,所述支撑条用于支撑所述掩膜条。
10.一种蒸镀设备,其特征在于,包括如权利要求1至9任一项所述的掩膜板。
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