CN208271848U - 一种高温扩散舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，涉及一种高温扩散舟；其结构包括底板和支架；所述的底板为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽，底板两个侧面上对称开设有滑轨；凹槽内部设置有四个支架；其中两个支架设置在底板的两端，其底端两侧与底板铰接；另外两个支架设置在底板的中间位置，其底端两侧置于滑轨中，与滑轨滑动连接；底板侧面位于滑轨上方的位置均匀设置有定位孔；定位孔内置有定位销；支架能够放置在底板的凹槽内，避免了将支架拆下的繁琐过程，即可达到节省空间的效果，易于搬运和放置；上立柱和下立柱的设置有利于根据圆片数量灵活调节立柱的高度，加大了圆片承载量，提高了工作效率，其整体结构设计合理，应用范围广。

Description

一种高温扩散舟

技术领域

本实用新型属于半导体加工设备技术领域，涉及一种高温扩散舟。

背景技术

扩散舟是在半导体生产中用于高温扩散时装载硅片必不可少的工具之一，传统的扩散舟主要是在石英基板上进行刻槽，其具有产品承载数量少、易变形、对产品造成损伤等不足，且不能根据产品数量对扩散舟进行调节，使用不便，因此，设计一种能够折叠，占用空间小，能够加大对产品圆片的放置，方便调节的高温扩散舟很有应用前景。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于克服现有技术存在的缺点，提出设计一种高温扩散舟，具有占用空间小，易于放置的特点，能够加大对圆片的放置，并能够根据圆片的数量调节高温扩散舟，使用方便，提高了工作效率。

本实用新型涉及的高温扩散舟，其主体结构包括底板和支架；所述的底板为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽，底板两个侧面上对称开设有滑轨；凹槽内部设置有四个支架；其中两个支架设置在底板的两端，其底端两侧与底板铰接；另外两个支架设置在底板的中间位置，其底端两侧置于滑轨中，与滑轨滑动连接；底板侧面位于滑轨上方的位置均匀设置有定位孔；定位孔内置有定位销。

作为优化，所述的支架包括设置在底端的横向支撑和立柱；所述的横向支撑两侧对称固设有立柱；所述的立柱包括下立柱和上立柱；下立柱顶面设有连接耳；上立柱一端通过连接耳与下立柱铰接，并通过螺栓固定，另一端设置有上部支撑；上立柱能够相对于下立柱进行旋转，当立柱之间放置的圆片较少时，将上立柱向凹槽内侧旋转，并放置在上部支撑上，立柱之间放置的圆片较多时，下立柱的长度不能够满足圆片的放置，此时，将上立柱向上旋转，直至与下立柱处于同一竖直面上，并用螺栓将位置固定，以增加圆片承载数量。

作为优化，所述的上立柱与下立柱的直径相同，且同轴设置，保证了圆片的放置。

作为优化，所述的底板底面设置有通风孔，有利于气流流通。

作为优化，所述的底板一侧设置有舟头，所述的舟头上设置有拉孔，便于拉动扩散舟。

本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：支架能够放置在底板的凹槽内，避免了将支架拆下的繁琐过程，即可达到节省空间的效果，易于搬运和放置；上立柱和下立柱的设置有利于根据圆片数量灵活调节立柱的高度，使用方便，加大了圆片承载量，提高了工作效率，其整体结构设计合理，应用范围广，适应性强。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构原理示意图；

图2为本实用新型的A部结构放大图；

其中，1底板、2支架、3凹槽、4滑轨、5定位孔、6通风孔、7舟头、8拉孔、21横向支撑、22立柱、23上部支撑、221下立柱、222上立柱、223连接耳、224螺栓。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

下面通过具体实施例并结合附图对本实用新型作进一步说明。

实施例1：

本实施例所述的高温扩散舟，其主体结构包括底板1和支架2；所述的底板1为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽3，底板1两个侧面上对称开设有滑轨4；凹槽3内部设置有四个支架2；其中两个支架2设置在底板1的两端，其底端两侧与底板1铰接；另外两个支架2设置在底板1的中间位置，其底端两侧置于滑轨4中，与滑轨4滑动连接；底板1侧面位于滑轨4上方的位置均匀设置有定位孔5；定位孔5内置有定位销。

本实施例所述的支架2包括设置在底端的横向支撑21和立柱22；所述的横向支撑21两侧对称固设有立柱22；所述的立柱22包括下立柱221和上立柱222；下立柱221顶面设有连接耳223；上立柱222一端通过连接耳223与下立柱221铰接，并通过螺栓224固定，另一端设置有上部支撑23；上立柱222能够相对于下立柱221进行旋转，当立柱22之间放置的圆片较少时，将上立柱222向凹槽3内侧旋转，并放置在上部支撑23上，立柱22之间放置的圆片较多时，下立柱221的长度不能够满足圆片的放置，此时，将上立柱222向上旋转，直至与下立柱221处于同一竖直面上，并用螺栓224将位置固定，以增加圆片承载数量。

本实施例所述的上立柱222与下立柱221的直径相同，且同轴设置，保证了圆片的放置。

本实施例所述的底板1底面设置有通风孔6，有利于气流流通。

本实施例所述的底板1一侧设置有舟头7，所述的舟头7上设置有拉孔8，便于拉动扩散舟。

本实施例在使用时，首先将位于底板两端的下立柱向上旋转至竖直状态，通过定位销将下立柱的位置固定，然后将上立柱向上旋转至竖直状态，通过螺栓将上立柱的位置固定；再将位于中间的两个支架旋转至竖直状态后，分别在滑轨中移动至两个定位孔处，通过定位销将中间的两个支架固定，并使下立柱和上立柱均处于竖直状态；调整完毕，将圆片平置叠放在相邻的四根立柱之间，且保留少许间隙，避免高温过程中圆片与扩散舟烧结黏连，上立柱的设置能够增加圆片的承载数量，能够根据圆片的数量，选择上立柱的使用，当需要高温扩散的圆片较少时，将上立柱放置在上部支撑即可，无需旋转至竖直状态；队员片处理完毕后，将位于中间的两个支架的上立柱旋转至水平状态，此时，上立柱放置在上部支撑上，以节省空间，然后在滑轨中移动下立柱至凹槽中央位置，再将下立柱向下旋转置于凹槽内，最后同样将位于底板两端的上立柱放置在上部支撑上，下立柱向下旋转置于凹槽内；本实施例所述的高温扩散舟无需将支架拆下，即可节省空间，方便调节，同时，加大了圆片承载量。

上述具体实施方式仅是本实用新型的具体个案，本实用新型的专利保护范围包括但不限于上述具体实施方式的产品形态和式样，任何符合本实用新型权利要求书且任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应落入本实用新型的专利保护范围。

Claims (5)

1.一种高温扩散舟，其主体结构包括底板（1）和支架（2）；其特征在于：所述的底板（1）为上方开口的长方体结构，其内部形成凹槽（3），底板（1）两个侧面上对称开设有滑轨（4）；凹槽（3）内部设置有四个支架（2）；其中两个支架（2）设置在底板（1）的两端，其底端两侧与底板（1）铰接；另外两个支架（2）设置在底板（1）的中间位置，其底端两侧置于滑轨（4）中，与滑轨（4）滑动连接；底板（1）侧面位于滑轨（4）上方的位置均匀设置有定位孔（5）；定位孔（5）内置有定位销。

2.根据权利要求1所述的高温扩散舟，其特征在于：所述的支架（2）包括设置在底端的横向支撑（21）和立柱（22）；所述的横向支撑（21）两侧对称固设有立柱（22）；所述的立柱（22）包括下立柱（221）和上立柱（222）；下立柱（221）顶面设有连接耳（223）；上立柱（222）一端通过连接耳（223）与下立柱（221）铰接，并通过螺栓（224）固定，另一端设置有上部支撑（23）。

3.根据权利要求2所述的高温扩散舟，其特征在于：所述的上立柱（222）与下立柱（221）的直径相同，且同轴设置。

4.根据权利要求1所述的高温扩散舟，其特征在于：所述的底板（1）底面设置有通风孔（6）。

5.根据权利要求1所述的高温扩散舟，其特征在于：所述的底板（1）一侧设置有舟头（7），所述的舟头（7）上设置有拉孔（8）。