CN208194734U - 一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台 - Google Patents

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CN208194734U CN201820339456.4U CN201820339456U CN208194734U CN 208194734 U CN208194734 U CN 208194734U CN 201820339456 U CN201820339456 U CN 201820339456U CN 208194734 U CN208194734 U CN 208194734U
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宣海
陈酉冰
汪竹
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Jiangsu Leibo Microelectronic Equipment Co ltd
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Instrument Ltd Is Learned By Jiangsu Thunder Boke
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Abstract

本实用新型一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，所述平台包含有由动力部件(8)驱动旋转的主轴(3)，所述主轴(3)的顶部安装有热板(2)，所述热板(2)上覆盖有多工位载物盘(1)，所述主轴(3)上套装有真空旋转接头(6)，所述主轴(3)内竖向设置有多条真空管道，所述热板(2)和多工位载物盘(1)之间设置有多个真空密封腔体，且真空密封腔体通过真空管道与真空旋转接头(6)相连通；所述多工位载物盘(1)设置有多个吸附凸台。本实用新型一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，生产效率高。

Description

一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台
技术领域
本实用新型涉及一种吸附平台,尤其是涉及一种可用于喷胶机上、带旋转及加热功能的、且具有多工位同时吸附能力的平台，属于光电技术领域。
背景技术
目前,基片喷胶时需要固定在旋转平台上，在指定的温度和角度位置进行。常规不加热和不旋转平台会导致胶液无法达到目标膜厚和获得理想的覆盖效果；因此，有企业研发了如中国专利ZL201010555617.1(申请日2011.11.22)公开的“可旋转加热的吸附装置”，但是这类常规平台只能吸附一片基片，因此喷涂效率较低。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种生产效率高的带旋转及加热功能的多工位吸附平台。
本实用新型的目的是这样实现的：
一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，所述平台包含有由动力部件驱动旋转的主轴，所述主轴的顶部安装有热板，所述热板上覆盖有多工位载物盘，所述主轴上套装有真空旋转接头，所述主轴内竖向设置有多条真空管道，所述热板和多工位载物盘之间设置有多个真空密封腔体，且真空密封腔体通过真空管道与真空旋转接头相连通；所述多工位载物盘的上表面设置有多个吸附凸台，所述吸附凸台包含有位于中间的吸附孔、以及位于吸附孔四周下陷的环状吸附槽，该吸附孔与真空密封腔体相连通，上述吸附槽通过连接槽与吸附孔相连通。
本实用新型一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，所述主轴上套装有导电滑环，电源经导电滑环连接至热板上的加热机构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型通过真空旋转接头和多工位载物盘的设计，在进行旋转加热的同时，能够同时吸附住多片基片同时进行作业，从而极大的提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台的结构示意图。
图2为本实用新型一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台的俯视图。
其中：
多工位载物盘1、热板2、主轴3、导电滑环4、固定座5、真空旋转接头6、联轴器7、动力部件8。
具体实施方式
参见图1和图2，本实用新型涉及的一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，所述平台包含有由动力部件8驱动旋转的主轴3(具体的讲，所述动力部件8通过联轴器7连接主轴3)，所述主轴3的顶部安装有热板2；
所述热板2上覆盖有多工位载物盘1，所述主轴3上套装有真空旋转接头6，所述主轴3内竖向设置有多条真空管道，所述热板2和多工位载物盘1之间设置有多个真空密封腔体，且真空密封腔体通过真空管道与真空旋转接头6相连通；所述多工位载物盘1的上表面设置有多个吸附凸台，所述吸附凸台包含有位于中间的吸附孔、以及位于吸附孔四周下陷的环状吸附槽，该吸附孔与真空密封腔体相连通，上述吸附槽通过连接槽与吸附孔相连通，所述环状结构的吸附槽为圆形结构、方形结构或椭圆形结构等；通过多个吸附凸台的设计，不但可实现多基片同时吸附作业，同时还可以满足对大基片的吸附；
使用时，抽真空装置与真空旋转接头6相连接抽真空，通过真空旋转接头6可有效防止多条真空管道之间发生干涉，并且通过真空密封腔体同时在多工位载物盘1上的多个吸附凸台上产生真空吸附力，从而同时吸附住多个基片；
进一步的，所述主轴3上套装有导电滑环4，电源经导电滑环4连接至热板2上的加热机构；通过导电滑环4避免了热板2旋转时电线的干涉，热板2通电后可快速将热量传递至载物盘1上；
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，所述平台包含有由动力部件(8)驱动旋转的主轴(3)，所述主轴(3)的顶部安装有热板(2)，其特征在于：
所述热板(2)上覆盖有多工位载物盘(1)，所述主轴(3)上套装有真空旋转接头(6)，所述主轴(3)内竖向设置有多条真空管道，所述热板(2)和多工位载物盘(1)之间设置有多个真空密封腔体，且真空密封腔体通过真空管道与真空旋转接头(6)相连通；所述多工位载物盘(1)的上表面设置有多个吸附凸台，所述吸附凸台包含有位于中间的吸附孔、以及位于吸附孔四周下陷的环状吸附槽，该吸附孔与真空密封腔体相连通，上述吸附槽通过连接槽与吸附孔相连通。
2.如权利要求1所述一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，其特征在于：所述主轴(3)上套装有导电滑环(4)，电源经导电滑环(4)连接至热板(2)上的加热机构。
3.如权利要求1所述一种带旋转及加热功能的多工位吸附平台，其特征在于：所述环状结构的吸附槽为圆形结构、方形结构或椭圆形结构。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110201851A (zh) * 2019-06-21 2019-09-06 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） 加热装置及喷雾式涂胶机
CN110947545A (zh) * 2019-12-25 2020-04-03 芜湖博锦模型设计制造有限公司 一种增材制造立体光固化工艺成型态产品喷漆烘干装置
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Address before: 214400 C301, No. 159, Chengjiang Middle Road, Jiangyin City, Wuxi City, Jiangsu Province

Patentee before: JIANGSU LEIBO SCIENTIFIC INSTRUMENT CO.,LTD.

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