CN208126104U - 平行曝光光源结构*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及平行曝光光源结构***，其机架部分架设在曝光工位上，机架上设有曝光源的灯源，在灯源下方设置反光碗镜，通过反光碗镜聚集灯源发射的紫外光，在光源的正上方设有第一反射冷光镜，反光碗镜聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜反射出来的光斑落在快门；当快门打开后，光斑通过蝇眼透镜进行光学积分分配，形成均匀多点光源，再经过球面镜向上倾斜的反射，形成平行光源落上第二反射冷光镜，再通过第二反射冷光镜向下反射，平行光源投射到曝光工位上，获得光线强度均衡、角度一致的平行曝光光，达到高精度的图形曝光显影加工，同时减少曝光光源占地面积，利于布置实施，提升曝光设备的运行率及可操作性，符合产业利用。

Description

平行曝光光源结构***

技术领域

本实用新型涉及显示面板的制作技术领域，尤其是涉及在显示面板上制作电子线路的生产领域。

背景技术

随着薄膜晶体管液晶显示器( 简称TFT-LCD) 技术的迅猛发展和不断提高，内嵌式触控面板将大行其道。相较于外挂式薄膜触控，In-Cell及On-Cell等内嵌式触控面板不仅效能更佳，且可满足产品轻薄和低成本设计要求，已快速被智能型手机、平板及笔电制造商采用，由于In-Cell触控技术布线密度大，造成生产良率低和触控IC设计匹配存在干扰等方面问题；On-Cell触控技术不只应用于LCD面板，也被应用在AMOLED面板。它与触控IC厂商合作开发出以“单面单层”触控感测器搭配触控IC，可支援二到五指多点触控的低阶与中阶解决方案，大大提高了生产良率。目前薄膜晶体管液晶显示器供货量增多且价格下滑后，LCD On-Cell触控面板渗透率势将更形扩大。

On-Cell则是将触控感测器的线路做在彩色滤光片玻璃（CFGlass）上，需要对TFT-LCD布线进行对位曝光操作。实际操作中，由于On cell要按产品分割小规格尺寸进行减薄和镀膜，造成On cell产品规格尺寸繁多，为了保证曝光位准确性，需要进行基板对位，最后对基板进行曝光、显影和蚀刻等工艺。现有曝光机基板对位装置存在只有一个产品规格，光源光路中球面镜和第二冷镜在水平传播，造成光源占地面积较大，无法进行多种产品规格的生产；造成设备利用率低，因而On-Cell需要改进能进行多尺寸变化的曝光设备。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种平行曝光光源结构***，光线强度均衡，角度一致，采用光源光路中球面镜和第二反射冷光镜在垂直方向传播，简化曝光线路，达到高精度的图形曝光显影加工，同时减少曝光光源占地面积，提升显示面板曝光质量及效率。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

平行曝光光源结构***，其具有机架，该机架部分架设在曝光工位上，在曝光工位后侧方的机架上设有曝光源的灯源，在灯源下方设置反光碗镜，通过反光碗镜聚集灯源发射的紫外光，在光源的正上方设有第一反射冷光镜，反光碗镜聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜反射出来的光斑落在快门；当快门打开后，光斑通过蝇眼透镜进行光学积分分配，形成均匀多点光源，再经过球面镜向上倾斜的反射，形成平行光源落上第二反射冷光镜，再通过第二反射冷光镜向下反射，平行光源投射到曝光工位上。

上述方案中，所述机架为L形架体，机架的一端水平搭在曝光工位上，而机架的水平部分布置第一反射冷光镜、蝇眼透镜、球面镜及第二反射冷光镜，其中第一反射冷光镜、蝇眼透镜和球面镜呈直线布置。

上述方案中，所述灯源发射的紫外光经反光碗镜聚集垂直向上发射，第一反射冷光镜的反射面与入射的光轴呈45°夹角；第一反射冷光镜反射出水平光线经过蝇眼透镜后射向球面镜，球面镜反射的光线与入射光线呈27°夹角。

上述方案中，所述灯源和反光碗镜安装在调整座，调整座组装在机架上。

上述方案中，所述的蝇眼透镜组是由二片数目相同的组合透镜叠加组成，当紫外光斑落在第一片组合透镜进行光学积分分配，在第二面组合透镜形成均匀多点光源。

上述方案中，所述的快门安装在蝇眼透镜组前面，由电机带动，开启和截止第一反射冷光镜反射过来的光斑。

本实用新型有效设计曝光光源结构，将灯源发射的紫外光调整中心光线角度与照度分布，获得光线强度均衡、角度一致的平行曝光光，光线强度均衡，角度一致，采用光源光路中球面镜和第二反射冷光镜在垂直方向传播，简化曝光线路，达到高精度的图形曝光显影加工，同时减少曝光光源占地面积，用于显示面板曝光加工，提升曝光质量及效率。同时将投影曝光光学***的冷镜的形状最佳化、算出满足目标的中心光线角度、照度分布的冷镜那样的最佳条件，达到组装结构优化，利于布置实施，提升曝光设备的运行率及可操作性，符合产业利用。

附图说明：

附图1为本实用新型其一实施例结构示意图；

附图2为图1实施例的立体分布示意图。

具体实施方式：

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

参阅图1、2所示，系本实用新型的较佳实施例示意图，本实用新型有关一种平行曝光光源结构，适用于显示面板生产。其具有机架1，该机架1卧式设计，机架1部分架设在曝光工位8上，在曝光工位8后侧方的机架1上设有曝光源的灯源2，在灯源2下方设置反光碗镜9，通过反光碗镜聚集灯源2发射的紫外光，在光源的正上方设有第一反射冷光镜3，反光碗镜聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜3反射出来的光斑落在快门；当快门打开后，光斑通过蝇眼透镜组4进行光学积分分配，通过光学积分将强度分布均匀化转换，形成均匀多点光源，再经过球面镜5向上倾斜的反射，形成平行光源落上第二反射冷光镜6，再通过第二反射冷光镜6向下反射，平行光源投射到曝光工位8上。平行的曝光光照射到曝光显影模板上并透射曝光显影模板上的图形，由此达到在显示面板曝光显影加工。光线强度均衡、角度一致的平行曝光光，极大提升高精度的图形曝光显影加工，用于显示面板曝光加工，提升曝光质量及效率。

图1、2所示，本实施例中，所述机架1为L形架体，机架1的一端水平搭在曝光工位8上，而机架1的水平部分布置第一反射冷光镜3、蝇眼透镜组4、球面镜5及第二反射冷光镜6，其中第一反射冷光镜3、蝇眼透镜组4和球面镜5呈直线布置。所述灯源2发射的紫外光经反光碗镜9聚集垂直向上发射，第一反射冷光镜3的反射面与入射的光轴呈45°夹角；第一反射冷光镜3反射出水平光线经过蝇眼透镜组4后射向球面镜5，球面镜5反射的光线与入射光线呈27°夹角。所述灯源2和反光碗镜9安装在调整座7，调整座7组装在机架1上，该结构方便调整及维护灯源2。所述的蝇眼透镜组4是由二片数目相同的组合透镜叠加组成，当紫外光斑落在第一片组合透镜进行光学积分分配，在第二面组合透镜形成均匀多点光源。所述的快门10安装在蝇眼透镜组4前面，由电机带动，开启和截止第一反射冷光镜3反射过来的光斑。本实施例将投影曝光光学***的冷镜的形状最佳化、算出满足目标的中心光线角度、照度分布的冷镜那样的最佳条件，达到组装结构优化，利于布置实施，提升曝光设备的运行率及可操作性，符合产业利用。当然，在实施例中，第一反射冷光镜3、球面镜5及第二反射冷光镜6依据需要可采用不同类型反光镜，且设计出方便第一反射冷光镜3、球面镜5及第二反射冷光镜6的不同角度、位置的结构体，从而提升曝光设备的运行率及可操作性，满足不同产品曝光实施，符合产业利用。

当然，本实用新型还可有其他多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变型，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (6)

1.平行曝光光源结构***，其特征在于：具有机架（1），该机架（1）部分架设在曝光工位（8）上，在曝光工位（8）后侧方的机架（1）上设有曝光源的灯源（2），在灯源（2）下方设置反光碗镜（9），通过反光碗镜（9）聚集灯源（2）发射的紫外光，在光源的正上方设有第一反射冷光镜（3），反光碗镜（9）聚集灯源发射的紫外光经过第一反射冷光镜（3）反射出来的光斑落在快门（10）；当快门（10）打开后，光斑通过蝇眼透镜组（4）进行光学积分分配，形成均匀多点光源，再经过球面镜（5）向上倾斜的反射，形成平行光源落上第二反射冷光镜（6），再通过第二反射冷光镜（6）向下反射，平行光源投射到曝光工位（8）上。

2.根据权利要求1所述的平行曝光光源结构***，其特征在于：所述机架（1）为L形架体，机架（1）的一端水平搭在曝光工位（8）上，而机架（1）的水平部分布置第一反射冷光镜（3）、蝇眼透镜组（4）、球面镜（5）及第二反射冷光镜（6），其中第一反射冷光镜（3）、蝇眼透镜组（4）和球面镜（5）的中心点呈直线排列。

3.根据权利要求2所述的平行曝光光源结构***，其特征在于：所述灯源（2）发射的紫外光经反光碗镜（9）聚集垂直向上发射，第一反射冷光镜（3）的反射面与入射的光轴呈45°夹角；经第一反射冷光镜（3）反射出水平光线通过蝇眼透镜组（4）后射向球面镜（5），球面镜（5）反射的光线与入射光线呈27°夹角。

4.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构***，其特征在于：所述灯源（2）和反光碗镜（9）安装在调整座（7），调整座（7）组装在机架（1）上。

5.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构***，其特征在于：所述的蝇眼透镜组（4）是由二片数目相同的组合透镜叠加组成，当紫外光斑落在第一片组合透镜进行光学积分分配，在第二面组合透镜形成均匀多点光源。

6.根据权利要求1或3所述的平行曝光光源结构***，其特征在于：所述的快门（10）安装在蝇眼透镜组（4）前面，由电机带动，开启和截止第一反射冷光镜（3）反射过来的光斑。