CN208121241U - 一种单晶炉籽晶旋转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公布了一种单晶炉籽晶旋转装置，它包括炉体，所述炉体上设置有提拉头，所述炉体上端设置有驱动提拉头旋转的旋转电机，所述旋转电机设置于电机座内，所述炉体上方设置有驱动螺杆，所述炉体内于提拉头两侧设置有丝杆，所述丝杆上端穿过炉体与驱动螺杆蜗轮蜗杆连接，所述丝杆下端设置有压紧块；所述炉体内于丝杆下方设置有滑动座，所述滑动座上端设置有压紧滑块，所述压紧滑块与炉体之间连接有复位弹簧；所述提拉头下端设置有夹紧装置。本实用新型的目的是提供一种单晶炉籽晶旋转装置，能够提高提拉头的抗震性，同时便于夹持籽晶。

Description

一种单晶炉籽晶旋转装置

技术领域

本实用新型属于单晶硅生产领域，具体为一种单晶炉籽晶旋转装置。

背景技术

单晶硅生产过程中，籽晶设置于提拉头下端，提拉头旋转下降或上升使得籽晶旋转下降与单晶炉内的溶液接触然后脱离，在籽晶下降或上升过程中，提拉头会因炉体震动、溶液流动等因素而发生摆动从而造成生产出的产品不良；且现有的，籽晶安装在提拉头上时，需要在籽晶一侧开设缺口，利用籽晶的缺口，将籽晶捆绑在提拉头上，这种方式十分麻烦，且当生长的晶体过重时，籽晶缺口处易断裂。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对以上问题，提供一种单晶炉籽晶旋转装置，能够提高提拉头的抗震性，同时便于夹持籽晶。

为实现以上目的，本实用新型采用的技术方案是：它包括炉体，所述炉体上设置有提拉头，所述炉体上端设置有驱动提拉头旋转的旋转电机，所述旋转电机设置于电机座内，所述炉体上方设置有驱动螺杆，所述驱动螺杆两端设置有轴承，所述轴承设置于炉体上端的支撑座内，所述驱动螺杆一端穿过支撑座与升降电机的转轴连接，所述炉体内于提拉头两侧设置有丝杆，所述丝杆上端穿过炉体与驱动螺杆蜗轮蜗杆连接，所述丝杆下端设置有带座轴承，所述带座轴承设置于压紧块上端，所述压紧块下端设置有倒角；所述炉体内于丝杆下方设置有滑动座，所述滑动座上端设置有压紧滑轨，所述压紧滑轨上活动设置有压紧滑块，所述压紧滑块上端与抱紧块固定连接，所述抱紧块上设置有与压紧块倒角相适配的斜面，所述压紧滑块与炉体之间连接有复位弹簧；所述提拉头下端设置有夹紧装置，所述夹紧装置包括夹紧螺杆，所述夹紧螺杆固定设置于提拉头下端，所述夹紧螺杆外侧螺纹连接有套筒，所述套筒下端设置有驱动环，所述驱动环下端开放，所述驱动环下端内边沿处设置有斜面；所述夹紧螺杆下端设置有夹头，所述夹头侧壁上相对设置有通孔，所述通孔内滑动设置有夹紧块，所述夹紧块外侧端上边沿设置有与驱动环斜面下端相适配的倒角。

进一步的，为了提高丝杆的稳定性，所述炉体内设置有支座，所述支座上设置有用于丝杆穿过的螺纹通孔。

进一步的，为了更好的夹持提拉头，所述抱紧块横向截面为半圆形结构，且内壁与提拉头外壁相适配。

进一步的，为了提高安全性，所述丝杆上端设置有限位板。

进一步的，所述夹头通孔下端设置有夹紧滑轨，所述夹紧块设置于夹紧滑轨上。

进一步的，所述抱紧块内壁上间隔设置有球形槽，所述球形槽内设置有钢珠。

本实用新型的有益效果：当提拉头上升或下降的过程中，利用抱紧块抱紧提拉头，以防止其震动，提高提拉头的抗震性；提拉头下端设置有夹紧装置，旋转套筒，驱动夹紧块相向运动，从而能够快速夹紧籽晶，且利用夹紧块夹持籽晶，增加了籽晶的受力面积，使籽晶不易断裂，提高生产效率从而提高产品的生产良率。

1、抱紧块内壁上设置有钢珠，便于提拉头的纵向移动。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为夹紧装置结构示意图。

图中所述文字标注表示为：1、炉体；2、提拉头；3、电机座；4、驱动螺杆；5、支撑座；6、升降电机；7、丝杆；8、带座轴承；9、压紧块；10、滑动座；11、压紧滑轨；12、压紧滑块；13、抱紧块；14、复位弹簧；15、夹紧螺杆；16、套筒；17、驱动环；18、夹头；19、夹紧块；20、支座；21、限位板；22、夹紧滑轨；23、钢珠。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型进行详细描述，本部分的描述仅是示范性和解释性，不应对本实用新型的保护范围有任何的限制作用。

如图1-图2所示，本实用新型的具体结构为：它包括炉体1，所述炉体1上设置有提拉头2，所述炉体1上端设置有驱动提拉头2旋转的旋转电机，所述旋转电机设置于电机座3内，所述炉体1上方设置有驱动螺杆4，所述驱动螺杆4两端设置有轴承，所述轴承设置于炉体1上端的支撑座5内，所述驱动螺杆4一端穿过支撑座5与升降电机6的转轴连接，所述炉体1内于提拉头2两侧设置有丝杆7，所述丝杆7上端穿过炉体1与驱动螺杆4蜗轮蜗杆连接，所述丝杆7下端设置有带座轴承8，所述带座轴承8设置于压紧块9上端，所述压紧块9下端设置有倒角；所述炉体1内于丝杆7下方设置有滑动座10，所述滑动座10上端设置有压紧滑轨11，所述压紧滑轨11上活动设置有压紧滑块12，所述压紧滑块12上端与抱紧块13固定连接，所述抱紧块13上设置有与压紧块9倒角相适配的斜面，所述压紧滑块12与炉体1之间连接有复位弹簧14；所述提拉头下端设置有夹紧装置，所述夹紧装置包括夹紧螺杆15，所述夹紧螺杆15固定设置于提拉头2下端，所述夹紧螺杆15外侧螺纹连接有套筒16，所述套筒16下端设置有驱动环17，所述套筒16与驱动环17为同心的空心圆柱体结构，且驱动环17下端开放，所述驱动环17下端内边沿处设置有斜面；所述夹紧螺杆15下端设置有夹头18，所述夹头18侧壁上相对设置有通孔，所述通孔内滑动设置有夹紧块19，所述夹紧块19外侧端上边沿设置有与驱动环斜面下端相适配的倒角。

优选的，所述炉体内设置有支座20，所述支座20上设置有用于丝杆7穿过的螺纹通孔。

优选的，所述抱紧块13横向截面为半圆形结构，且内壁与提拉头2外壁相适配。

优选的，所述丝杆7上端设置有限位板21。

优选的，所述夹头18通孔下端设置有夹紧滑轨22，所述夹紧块19设置于夹紧滑轨22上。

优选的，所述抱紧块13内壁上间隔设置有球形槽，所述球形槽内设置有钢珠23。

具体工作时，将籽晶放置于夹头18内，转动套筒16，使得驱动环17向下移动，从而使得夹紧块19相向运动从而夹紧籽晶；当提拉头2下降快与炉体1的液面接触时，或者生产初期，溶液流动不稳定等情况时，升降电机6带动驱动螺杆4旋转，与驱动螺杆4蜗轮蜗杆连接的丝杆7开始转动并下降，从而使得压紧块9下降，压紧块9下降的过程中，倒角面与抱紧块13的斜面接触进而驱动抱紧块13向提拉头2运动以夹紧提拉头2，提高其抗震性。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括哪些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，由于文字表达的有限性，而客观上存在无限的具体结构，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进、润饰或变化，也可以将上述技术特征以适当的方式进行组合；这些改进润饰、变化或组合，或未经改进将实用新型的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均应视为本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种单晶炉籽晶旋转装置，它包括炉体（1），所述炉体（1）上设置有提拉头（2），所述炉体（1）上端设置有驱动提拉头（2）旋转的旋转电机，所述旋转电机设置于电机座（3）内，其特征在于，所述炉体（1）上方设置有驱动螺杆（4），所述驱动螺杆（4）两端设置有轴承，所述轴承设置于炉体（1）上端的支撑座（5）内，所述驱动螺杆（4）一端穿过支撑座（5）与升降电机（6）的转轴连接，所述炉体（1）内于提拉头（2）两侧设置有丝杆（7），所述丝杆（7）上端穿过炉体（1）与驱动螺杆（4）蜗轮蜗杆连接，所述丝杆（7）下端设置有带座轴承（8），所述带座轴承（8）设置于压紧块（9）上端，所述压紧块（9）下端设置有倒角；所述炉体（1）内于丝杆（7）下方设置有滑动座（10），所述滑动座（10）上端设置有压紧滑轨（11），所述压紧滑轨（11）上活动设置有压紧滑块（12），所述压紧滑块（12）上端与抱紧块（13）固定连接，所述抱紧块（13）上设置有与压紧块（9）倒角相适配的斜面，所述压紧滑块（12）与炉体（1）之间连接有复位弹簧（14）；所述提拉头下端设置有夹紧装置，所述夹紧装置包括夹紧螺杆（15），所述夹紧螺杆（15）固定设置于提拉头（2）下端，所述夹紧螺杆（15）外侧螺纹连接有套筒（16），所述套筒（16）下端设置有驱动环（17），所述驱动环（17）下端开放，所述驱动环（17）下端内边沿处设置有斜面；所述夹紧螺杆（15）下端设置有夹头（18），所述夹头（18）侧壁上相对设置有通孔，所述通孔内滑动设置有夹紧块（19），所述夹紧块（19）外侧端上边沿设置有与驱动环斜面下端相适配的倒角。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶旋转装置，其特征在于，所述炉体内设置有支座（20），所述支座（20）上设置有用于丝杆（7）穿过的螺纹通孔。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶旋转装置，其特征在于，所述抱紧块（13）横向截面为半圆形结构，且内壁与提拉头（2）外壁相适配。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶旋转装置，其特征在于，所述丝杆（7）上端设置有限位板（21）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶旋转装置，其特征在于，所述夹头（18）通孔下端设置有夹紧滑轨（22），所述夹紧块（19）设置于夹紧滑轨（22）上。

6.根据权利要求1所述的一种单晶炉籽晶旋转装置，其特征在于，所述抱紧块（13）内壁上间隔设置有球形槽，所述球形槽内设置有钢珠（23）。