CN208013277U - 一种静电吸附装置监测*** - Google Patents
一种静电吸附装置监测*** Download PDFInfo
- Publication number
- CN208013277U CN208013277U CN201820325806.1U CN201820325806U CN208013277U CN 208013277 U CN208013277 U CN 208013277U CN 201820325806 U CN201820325806 U CN 201820325806U CN 208013277 U CN208013277 U CN 208013277U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electric field
- data line
- plc controller
- electrostatic
- adsorption device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型提供了一种静电吸附装置监测***，应用于双极性静电吸盘；其中，双极性静电吸盘包括第一输入端和第二输入端；所述静电吸附装置监测***包括：PLC控制器、电压表、电流表和电场强度探头；其中，电压表并联在第一输入端和第二输入端之间；电压表通过第一数据线与PLC控制器连接；第一数据线为I2C数据总线或RS232总线；第二输入端接入电流表；电流表通过第二数据线与PLC控制器连接；第二数据线为I2C数据总线或RS232总线；电场强度探头内埋于双极性静电吸盘接触层内；电场强度探头通过第三数据线与PLC控制器连接；第三数据线为I2C数据总线或RS232总线；电流表检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器发出报警信号。
Description
技术领域
本实用新型涉及静电吸附领域，具体涉及一种静电吸附装置监测***。
背景技术
静电吸附***(ESC ADSORPTION SYSTEM)，简称ESC SYSTEM, 依据库伦定律(两个静止的带电粒子间的相互作用力)和洛伦兹定律(运动的电和在磁场中受的力)，利用电磁力从而实现对物体有效地吸附。
ESC SYSTEM静电控制主机通过将直流电压经过增压、滤波及倍压处理，转化为高压静电,静电高压经过静电吸附单元(以单极或双电极输入模式)形成静电磁场，从而对物体(导体或非导体机制)进行静电吸附。
现有技术中的静电吸附***只能实现开环控制的吸附，通过延长吸附时间的方式保证吸附，使得静电吸附操作效率降低，而且无法检测在移动过程中发生的掉落。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种静电吸附装置监测***，可以利用静电吸附过程中电极产生的工作电容和电压波形检测掉落发生时的异常波形，从而实现对于静电吸附吸着状态的检测。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种静电吸附装置监测***，应用于双极性静电吸盘；其中，双极性静电吸盘包括第一输入端和第二输入端；所述静电吸附装置监测***包括：PLC控制器、电压表、电流表和电场强度探头；其中，电压表并联在第一输入端和第二输入端之间；电压表通过第一数据线与PLC控制器连接；第一数据线为I2C数据总线或RS232总线；第二输入端接入电流表；电流表通过第二数据线与PLC控制器连接；第二数据线为I2C数据总线或RS232总线；电场强度探头内埋于双极性静电吸盘接触层内；电场强度探头通过第三数据线与PLC控制器连接；第三数据线为I2C数据总线或RS232总线；电流表检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器发出报警信号。
在一种可能的实现方式中，所述预设电流为双极性静电吸盘正常工作电流的1.15-1.3倍。
在一种可能的实现方式中，电压表的内阻≥100G欧。
在一种可能的实现方式中，电流表的灵敏度小于等于1nA。
在一种可能的实现方式中，电场强度探头为MEMS电场强度探头。
在一种可能的实现方式中，所述MEMS电场强度探头为薄片型 MEMS电场强度探头。
本实用新型具有如下优点：在双极性静电吸盘工作时，可以监测是否发生了掉落；并且通过电流变化和电场强度变化的同时测量，提高了监测的准确率
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的静电吸附装置监测***的结构示意图。
具体实施方式
以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
本实用新型的设计思路如下。
本实用新型针对的静电吸盘类型为目前常见的双极型静电吸盘，双极型静电吸盘具有两个电极，也就是具有两个输入端，使用高内阻(一般优选为100G欧以上)高压测量电路并联在输入端两端，并且通过I2C 数据总线或者RS232总线实时传输测量电压数据到PLC控制器，另外在静电吸盘其中一个输入端接入精密检流电路，测量输入电流，通过总线传输电流数据到PLC控制器，在一些要求更加精密的配置环境中，使用内埋与静电吸盘接触层内的MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电***)电场强度探头(一般为薄片型)测量电场强度，将数据传输给PLC控制器。
PLC控制器通过编程具备如下功能：储存静电吸盘吸附物体时空载电压U0，对测量得到的电压数据进行滤波，当静电吸盘上电建立稳定工作状态后，即测得电压保持相对稳定的情况下，持续高实时性测量电流，根据静电吸盘空载和负载时工作电容不同可知，当在吸附过程中发生掉落时，会产生电容的变化，从而产生电流，当电流发生大于正常工作电流15％-30％的跳变时，即可认为发生掉落，此时PLC控制器发出报警信号。
MEMS电场强度探头可以作为掉落的辅助确证装置，当吸盘工作时，通过电流变化和电场强度变化同时测量，可以提高确定发生掉落的概率。
接下来，结合图1对本实用新型提供的静电吸附装置监测***进行具体说明。
如图1所示，本实用新型提供的静电吸附装置监测***，应用于双极性静电吸盘1；其中，双极性静电吸盘1包括第一输入端11和第二输入端12。
所述静电吸附装置监测***包括：PLC控制器2、电压表3、电流表 4和电场强度探头5。
电压表3并联在第一输入端11和第二输入端12之间；电压表3通过第一数据线31与PLC控制器2连接；第一数据线31为I2C数据总线或RS232总线。电压表3的内阻≥100G欧。
第二输入端12接入电流表4；电流表4通过第二数据线41与PLC 控制器2连接；第二数据线41为I2C数据总线或RS232总线。电流表4 的灵敏度小于等于1nA。
电场强度探头5内埋于双极性静电吸盘1接触层内；电场强度探头5 通过第三数据线51与PLC控制器2连接；第三数据线51为I2C数据总线或RS232总线；电流表4检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器2发出报警信号。所述预设电流为双极性静电吸盘1正常工作电流的 1.15-1.3倍。
优选地，电场强度探头5为MEMS电场强度探头。更优选地，所述 MEMS电场强度探头为薄片型MEMS电场强度探头。
接下来在一个具体实例中，对本实用新型的方案进行举例说明。
在本实例中，电压表3为100G欧姆高内阻电压表，电流表4为配有补偿电路的灵敏度为1na的电流表，电场强度探头5为MEMS霍尔型电场测量元件，从而实现了对于电压、电流和电场强度的测量。PLC控制器2为Altera Cyclone 4型FPGA实现实时监测和报警，第一数据线31、第二数据线41、第三数据线51都为RS232总线。应用于双极性静电吸盘1为J-R效应双极型吸盘。当吸附物体为晶圆时，设定电流波动阈值为15％，即可实现可靠检测。
虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (6)
1.一种静电吸附装置监测***，其特征在于，应用于双极性静电吸盘(1)；其中，双极性静电吸盘(1)包括第一输入端(11)和第二输入端(12)；
所述静电吸附装置监测***包括：PLC控制器(2)、电压表(3)、电流表(4)和电场强度探头(5)；其中，
电压表(3)并联在第一输入端(11)和第二输入端(12)之间；电压表(3)通过第一数据线(31)与PLC控制器(2)连接；第一数据线(31)为I2C数据总线或RS232总线；
第二输入端(12)接入电流表(4)；电流表(4)通过第二数据线(41)与PLC控制器(2)连接；第二数据线(41)为I2C数据总线或RS232总线；
电场强度探头(5)内埋于双极性静电吸盘(1)接触层内；电场强度探头(5)通过第三数据线(51)与PLC控制器(2)连接；第三数据线(51)为I2C数据总线或RS232总线；
电流表(4)检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器(2)发出报警信号。
2.根据权利要求1所述的静电吸附装置监测***，其特征在于，所述预设电流为双极性静电吸盘(1)正常工作电流的1.15-1.3倍。
3.根据权利要求1所述的静电吸附装置监测***，其特征在于，电压表(3)的内阻≥100G欧。
4.根据权利要求1所述的静电吸附装置监测***，其特征在于，电流表(4)的灵敏度小于等于1nA。
5.根据权利要求1所述的静电吸附装置监测***，其特征在于，电场强度探头(5)为MEMS电场强度探头。
6.根据权利要求5所述的静电吸附装置监测***，其特征在于，所述MEMS电场强度探头为薄片型MEMS电场强度探头。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820325806.1U CN208013277U (zh) | 2018-03-09 | 2018-03-09 | 一种静电吸附装置监测*** |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201820325806.1U CN208013277U (zh) | 2018-03-09 | 2018-03-09 | 一种静电吸附装置监测*** |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208013277U true CN208013277U (zh) | 2018-10-26 |
Family
ID=63888530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201820325806.1U Expired - Fee Related CN208013277U (zh) | 2018-03-09 | 2018-03-09 | 一种静电吸附装置监测*** |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208013277U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109444951A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-08 | 山东大学 | 超前地质预报传感器布设及耦合装置及方法 |
-
2018
- 2018-03-09 CN CN201820325806.1U patent/CN208013277U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109444951A (zh) * | 2018-12-18 | 2019-03-08 | 山东大学 | 超前地质预报传感器布设及耦合装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108398645A (zh) | 一种电动汽车绝缘阻抗检测方法 | |
| CN103576043A (zh) | 漏电检测装置 | |
| CN106461726A (zh) | 蓄电*** | |
| CN206020619U (zh) | 一种便携式继电器测试仪 | |
| US10205315B2 (en) | Fault detection system | |
| KR20150052139A (ko) | 절연 결함을 검출 및 측정하기 위한 장치 | |
| CN203786252U (zh) | 电动汽车电气绝缘检测*** | |
| CN102003933B (zh) | 一种静电除尘器集尘厚度检测报警装置 | |
| CN110023771A (zh) | 直流漏电检测装置及漏电检测装置 | |
| CN208013277U (zh) | 一种静电吸附装置监测*** | |
| CN110031668A (zh) | 基于tmr隧道磁阻的电流测量装置 | |
| JP2018128454A (ja) | バッテリ駆動システムの絶縁抵抗を測定するための装置及び方法 | |
| CN112858838A (zh) | 一种线缆故障定位***及方法 | |
| CN201397381Y (zh) | 一种新型锂离子电池电压内阻测试装置 | |
| JP2014055831A (ja) | 測定装置 | |
| WO2012097596A1 (zh) | 电动汽车传导式充电接口温升测试*** | |
| CN202600102U (zh) | 适用于新能源汽车的高压直流绝缘监测装置 | |
| CN109061309A (zh) | 一种车体绝缘测量电路及测量方法 | |
| CN206292356U (zh) | 一种集成电路在线测试装置 | |
| CN203672957U (zh) | 一种非接触式测电笔 | |
| TW200940962A (en) | Circuit and method for detecting absent battery condition | |
| CN210465576U (zh) | 多点电位均衡测试装置 | |
| WO2021026236A1 (en) | Holiday testing circuit for coated surface inspection | |
| CN105527498A (zh) | 电动汽车及其高压部件对地绝缘电阻的检测方法及装置 | |
| CN212321738U (zh) | 一种传感器磁场抗扰度的检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20190813 Address after: 300467 Tianjin Binhai New Area, Zhongsheng Eco-city Animation Road 126 Animation Building B2 701 Patentee after: Suction Miracle (Tianjin) Technology Co., Ltd. Address before: 100191 A006, 4th floor, Building A, Zhizhen Building, 7 Zhichun Road, Haidian District, Beijing Patentee before: Suction miracle (Beijing) Technology Co., Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20181026 Termination date: 20210309 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |