CN207793409U - 一种嵌套式蒸发舟 - Google Patents
一种嵌套式蒸发舟 Download PDFInfo
- Publication number
- CN207793409U CN207793409U CN201721851190.3U CN201721851190U CN207793409U CN 207793409 U CN207793409 U CN 207793409U CN 201721851190 U CN201721851190 U CN 201721851190U CN 207793409 U CN207793409 U CN 207793409U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boat
- boat body
- heat
- nesting
- nested
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种嵌套式蒸发舟，包括外舟体和若干内舟体，外舟体两端为电极，外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一内舟体包括一导电层及一导热层，导热层的中部向下弯折形成可嵌套于蒸发槽的嵌套部，导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于嵌套部的容置部，嵌套部两端向外延伸形成覆设于电极上的绝缘延伸部，容置部两端向外延伸形成覆设于绝缘延伸部上的导电延伸部，导热层采用绝缘材料制作，内舟体有效防止了金属液体腐蚀外舟体，大大延长了蒸发舟的寿命，且因为有导热层的嵌套，可以保证导电层在蒸镀过程中不会产生变形，有效改善“双金属效应”。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空蒸镀领域，特别涉及一种嵌套式蒸发舟。
背景技术
真空镀膜机是指在较高真空度下对工件进行镀膜加工的设备。真空镀膜机包括蒸发源，现有的蒸发型真空镀膜机通常采用在蒸发舟两端接入电极作为蒸发源。
在现有技术中，蒸发舟一般采用导电陶瓷材料或者石墨制作而成，但是此类蒸发舟使用寿命较短、润湿性能差，在蒸发过程中蒸发过程不稳定，金属液体渗入蒸发舟的陶瓷材料或者石墨材料的微小裂缝孔隙中，可造成蒸发舟材料受热膨胀，进而导致蒸发舟功能丧失，而金属类的蒸发舟在蒸镀过程中，由于舟体和蒸发材料的热膨胀系数不同，因此在金属蒸发舟上产生应力和变形，即产生双金属效应，导致蒸发舟损坏。
实用新型内容
本实用新型的主要目的是解决现有技术中的蒸发舟使用寿命较短，金属液体导致蒸发舟功能丧失的技术问题。
为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种嵌套式蒸发舟，所述嵌套式蒸发舟包括外舟体和若干内舟体，所述外舟体两端为电极，所述外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一所述内舟体包括一导电层及一导热层，所述导热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述蒸发槽的嵌套部，所述导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述嵌套部的容置部，所述嵌套部两端向外延伸形成覆设于所述电极上的绝缘延伸部，所述容置部两端向外延伸形成覆设于所述绝缘延伸部上的导电延伸部，所述导热层采用绝缘材料制作。
可选的，所述导电层采用金属钨或者钛合金制成。
可选的，所述外舟体采用氧化物陶瓷或者石墨制成。
本实用新型的有益效果为：该嵌套式蒸发舟整体结构简单，易于制作和大批量生产；由于嵌套式蒸发舟包括外舟体和若干内舟体，外舟体两端为电极，外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一内舟体包括一导电层及一导热层，导热层的中部向下弯折形成可嵌套于蒸发槽的嵌套部，导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于嵌套部的容置部，嵌套部两端向外延伸形成覆设于电极上的绝缘延伸部，容置部两端向外延伸形成覆设于绝缘延伸部上的导电延伸部，导热层采用绝缘材料制作，内舟体有效防止了金属液体腐蚀外舟体，当发生腐蚀时，只需要更换最内层的舟体，大大降低了更换成本，延长了蒸发舟的寿命，且因为有导热层的嵌套，可以保证导电层在蒸镀过程中不会产生变形，有效改善“双金属效应”，另外，在实际的操作中，将蒸发舟外舟体和导电层分别加热还可以实现大功率的蒸镀要求，可以根据体积情况选择合适的内舟体个数。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不应构成本实用新型的限制，在附图中：
图1为本实用新型的结构示意图。
图中所示：1-外舟体，2-第一内舟体，3-第二内舟体；21-第一导电层，22-第一导热层，23-第一嵌套部，24-第一容置部，31-第二导电层，32-第二导热层，33-第二嵌套部，34-第二容置部，231-第一绝缘延伸部，241-第一导电延伸部，331-第二绝缘延伸部，341-第二导电延伸部。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不是用于限制本实用新型。
如图1所示，本实用新型提供了一种嵌套式蒸发舟，该嵌套式蒸发舟包括外舟体1和若干内舟体，在本实施例中以两个内舟体为例，该嵌套式蒸发舟具有两个内舟体，分别为第一内舟体2及第二内舟体3，其中外舟体1两端为电极11，外舟体1中部上表面设有蒸发槽12，第一内舟体2包括第一导电层21和第一导热层22，第二内舟体3包括第二导电层31和第二导热层32，第一导热层22中部向下弯折形成第一嵌套部23，第一导电层21中部向下弯折形成第一容置部24，第二导热层32中部向下弯折形成第二嵌套部33，第二导电层31中部向下弯折形成第二容置部34，使用时，将外舟体1的蒸发槽12、第一嵌套部23、第一容置部24、第二嵌套部33、第二容置部34依次嵌套组合，此时第一嵌套部23两端向外延伸形成覆设于电极11上的第一绝缘延伸部231，第一容置部24两端向外延伸形成覆设于第一绝缘延伸部上的第一导电延伸部241，第二嵌套部33两端向外延伸形成覆设于第一导电延伸部241的第二绝缘延伸部331，第二容置部34两端向外延伸形成覆设于第二绝缘延伸部331上的第二导电延伸部341，该第一导热层22和第二导热层32采用绝缘材料制作。
其中外舟体采用耐火非金属材料制成，如氧化物陶瓷或者石墨；第一导电层及第二导电层采用耐火金属材料或耐火合金材料制成，如金属钨或者钛合金。
本实用新型所提供的嵌套式蒸发舟整体结构简单，易于制作和大批量生产；内舟体有效防止了金属液体腐蚀外舟体，大大延长了蒸发舟的寿命，且因为有导热层的嵌套，可以保证导电层在蒸镀过程中不会产生变形，有效改善“双金属效应”，另外，在实际的操作中，将蒸发舟外舟体和导电层分别加热还可以实现大功率的蒸镀要求，可以根据体积情况选择合适的内舟体个数，不局限于实施例中所列举的两层蒸发舟。
以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。
Claims (3)
1.一种嵌套式蒸发舟，其特征在于，所述嵌套式蒸发舟包括外舟体和若干内舟体，所述外舟体两端为电极，所述外舟体中部上表面设有蒸发槽，每一所述内舟体包括一导电层及一导热层，所述导热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述蒸发槽的嵌套部，所述导电加热层的中部向下弯折形成可嵌套于所述嵌套部的容置部，所述嵌套部两端向外延伸形成覆设于所述电极上的绝缘延伸部，所述容置部两端向外延伸形成覆设于所述绝缘延伸部上的导电延伸部，所述导热层采用绝缘材料制作。
2.根据权利要求1所述的一种嵌套式蒸发舟，其特征在于，所述导电层采用金属钨或者钛合金制成。
3.根据权利要求2所述的一种嵌套式蒸发舟，其特征在于，所述外舟体采用氧化物陶瓷或者石墨制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721851190.3U CN207793409U (zh) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 一种嵌套式蒸发舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201721851190.3U CN207793409U (zh) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 一种嵌套式蒸发舟 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN207793409U true CN207793409U (zh) | 2018-08-31 |
Family
ID=63278992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201721851190.3U Active CN207793409U (zh) | 2017-12-26 | 2017-12-26 | 一种嵌套式蒸发舟 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN207793409U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110747434A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-02-04 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种分体式导电陶瓷舟 |
-
2017
- 2017-12-26 CN CN201721851190.3U patent/CN207793409U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110747434A (zh) * | 2019-12-05 | 2020-02-04 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种分体式导电陶瓷舟 |
| CN110747434B (zh) * | 2019-12-05 | 2021-10-08 | 山东国晶新材料有限公司 | 一种分体式导电陶瓷舟 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110117765B (zh) | 一种TiO2基电热涂层及其制备方法 | |
| KR100281954B1 (ko) | 세라믹 히터 | |
| CN207793409U (zh) | 一种嵌套式蒸发舟 | |
| CN104302021B (zh) | 一种用于电加热的发热体及其制备工艺 | |
| US10184168B2 (en) | IMC evaporator boat-thermal insulation cartridge assembly | |
| JP6422866B2 (ja) | Ｍｏｃｖｄ反応炉の面状ヒータ用加熱エレメント | |
| CN207509752U (zh) | 一种新型热铆焊枪 | |
| CN104451556B (zh) | 辐射式蒸发加热器及该辐射式蒸发加热器的制造方法 | |
| CN204404779U (zh) | 一种陶瓷隔离引线防变形束源炉 | |
| CN105803401A (zh) | Imc蒸发舟皿组件 | |
| CN206851054U (zh) | 一种带散热层的陶瓷发热体 | |
| CN206433210U (zh) | 一种高散热性水加热用陶瓷发热体 | |
| CN207926949U (zh) | 高传热铝液加热器 | |
| CN208104524U (zh) | 一种具有导向加热功能的蒸发舟 | |
| CN207727136U (zh) | 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | |
| CN208303866U (zh) | 金属铸造坩埚 | |
| CN207869431U (zh) | 带热电偶单头不锈钢电加热管 | |
| CN106710897B (zh) | 一种铜铬复合触头的制备方法 | |
| CN206894926U (zh) | 带金属电热丝的电热管 | |
| CN209971741U (zh) | 一种防腐蚀的蜂鸣器 | |
| CN108018526A (zh) | 一种具有导向加热功能的蒸发舟 | |
| CN205119801U (zh) | 一种工件用电阻炉 | |
| CN205166100U (zh) | 电烙铁头 | |
| CN208632584U (zh) | 一种锌白铜在线退火装置 | |
| CN217985430U (zh) | 一种升温速率高的氮化铝加热器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: Building 1, Building A, Building 603, Huaqiang Creative Industry Park, Biyan Community, Guangming Street, Guangming District, Shenzhen City, Guangdong Province, 518000 Patentee after: Shenzhen Jinmei New Material Technology Co.,Ltd. Address before: Anhui Huainan city Shouxian County Xinqiao International Industrial Park Xinqiao avenue to the east of the New Bridge Avenue, the north side of the Chuang Kai Tech Park 3 R & D building Patentee before: ANHUI JINMEI NEW MATERIAL TECHNOLOGY CO.,LTD. |