CN207583247U - 一种多级差分密封的真空腔室 - Google Patents

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陈博昊
张智明
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Abstract

本实用新型公开了一种多级差分密封的真空腔室，包括：真空腔体、真空舱门、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽、多个环形差抽气体导流槽、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体与真空舱门连接起来的连接机构；其中，所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽中；所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽之上；所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布，或者在真空腔体与真空舱门二者闭合之后，所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布。利用多密封圈密封，结合差分抽气，提高了传统真空腔室的极限真空。

Description

一种多级差分密封的真空腔室
技术领域
本实用新型属于真空腔室舱门技术领域，具体是涉及一种多级差分密封的真空腔室。
背景技术
真空腔室广泛地用于太空热真空模拟、真空熔炼或烧结炉、镀膜***以及各种化学分析***，往往需要可以反复开闭的大尺寸舱门才能加装要处理的样品，此舱门一般采用具有弹性的橡胶密封圈密封，相对于采用真空法兰密封的其他真空腔组成部分而言，漏率较大。
实用新型内容
为了解决以上问题，本实用新型提供以下技术方案：
一种多级差分密封的真空腔室，包括：真空腔体、真空舱门、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽、多个环形差抽气体导流槽、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体与真空舱门连接起来的连接机构；
其中，所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽中；
所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽之上；
所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布，或者在真空腔体与真空舱门二者闭合之后，所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布。
进一步地，所述连接机构为铰链。
进一步地，差抽排气孔设置在气体导流槽的靠近连接机构的位置处。
进一步地，所述多级差分密封的真空腔室还包括真空抽气装置，所述真空抽气装置与所述多个差抽排气孔联通。
进一步地，所述多个环形密封圈安装槽和所述多个环形差抽气体导流槽均设置在真空舱门上，或者均设置在真空腔体上。
进一步地，所述多个环形密封圈安装槽设置在真空腔体和真空舱门中之一上，所述多个环形差抽气体导流槽设置在真空腔体和真空舱门中的另一个上。
进一步地，所述多个环形差抽气体导流槽和所述多个环形密封圈安装槽设置在所述真空舱门与所述真空腔体的相接触的部分上。
进一步地，所述真空抽气装置通过波纹管与所述多个差抽排气孔连通，所述多个差抽排气孔通过焊接或螺纹或卡套或法兰与所述波纹管连接。
进一步地，所述真空抽气装置包括机械泵和分子泵，所述机械泵与所述多个环形差抽气体导流槽中最***的环形差抽气体导流槽联通，分子泵与其他的环形差抽气体导流槽联通。
进一步地，所述多个密封圈或多个环形密封圈安装槽至少为两个，例如三个、四个。
进一步地，所述真空舱门密封处的气体泄漏率为1.3×10-9Pa.L/s。
有益效果：本实用新型中提供的一种多级差分密封的真空腔室，这种多级差分抽气设计，大大降低了泄漏气体含量的情况，从而有效提高了橡胶圈密封阀门的极限真空度，通过机械泵、分子泵配合对所连接腔体抽气，可在短时间内达到超高真空。利用多个密封圈密封，结合差分抽气，提高了传统真空腔室的极限真空。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种多级差分密封的真空腔室实施例1的结构示意图；
图2为本实用新型提供的一种多级差分密封的真空腔室实施例2的结构示意图；
图3为本实用新型提供的一种多级差分密封的真空腔室实施例3的结构示意图；
图4为本实用新型提供的一种多级差分密封的真空腔室实施例4的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型做进一步说明，但本实用新型并不限于以下实施例。
如图1-4所示，本实用新型提供了一种多级差分密封的真空腔室，包括：真空腔体02、真空舱门01、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽03、多个环形差抽气体导流槽04、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体02与真空舱门01连接起来的连接机构06；
其中，所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽03中；
所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽04之上；
所述多个环形差抽气体导流槽04分别位于所述多个环形密封圈安装槽03中的两个之间，形成交替分布，或者在真空腔体02与真空舱门01二者闭合之后，所述多个环形差抽气体导流槽04分别位于所述多个环形密封圈安装槽03中的两个之间，形成交替分布。
图1为本实用新型提供的一种实施例，所述多个环形密封圈安装槽03设置在所述真空舱门01上，所述相邻密封圈安装槽03之间设计有一气体导流槽04，所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽04之上；
图2为本实用新型提供的一种实施例，所述多个环形密封圈安装槽03设置在所述真空腔体02上，所述相邻密封圈安装槽03之间设计有一气体导流槽04，所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽04之上；
图3为本实用新型提供的一种实施例，所述多个环形密封圈安装槽03设置在所述真空腔体02上，所述真空舱门01上与所述相邻密封圈安装槽03之间相应的位置处设计有一气体导流槽04，所述气体导流槽04设置在所述真空舱门01上，所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽04之上；
图4为本实用新型提供的一种实施例，所述多个环形密封圈安装槽03设置在所述真空舱门01上，所述真空腔体02上与所述相邻密封圈安装槽03之间相应的位置处设计有一气体导流槽04，所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽04之上；
进一步地，所述连接机构06为铰链。
进一步地，差抽排气孔设置在气体导流槽04的靠近连接机构06的位置处。
进一步地，还包括真空抽气装置，所述真空抽气装置与所述多个差抽排气孔联通。
进一步地，所述多个环形密封圈安装槽03和所述多个环形差抽气体导流槽04均设置在真空舱门01上，或者均设置在真空腔体02上。
进一步地，所述多个环形密封圈安装槽03设置在真空腔体02和真空舱门01中之一上，所述多个环形差抽气体导流槽设置在真空腔体02和真空舱门01中的另一个上。
进一步地，所述多个环形差抽气体导流槽04和所述多个环形密封圈安装槽03设置在所述真空舱门01与所述真空腔体02的相接触的部分上。
进一步地，所述真空抽气装置通过波纹管05与所述多个差抽排气孔连通，所述多个差抽排气孔通过焊接或螺纹或卡套或法兰与所述波纹管连接。
进一步地，所述真空抽气装置包括机械泵和分子泵，所述机械泵与所述多个环形差抽气体导流槽中最***的环形差抽气体导流槽联通，分子泵与其他的环形差抽气体导流槽联通。
进一步地，所述多个密封圈或多个环形密封圈安装槽至少为两个，例如三个、四个。
本实用新型中，所述差分设计，是一种针对真空***，在不影响使用的前提下实现真空度过渡的手段。本实用新型提供的一种多级差分密封的真空腔室，舱门密封处的气体泄漏率为1.3×10-9Pa.L/s。
本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的装置及其核心思想，同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种多级差分密封的真空腔室，包括：真空腔体、真空舱门、多个密封圈、多个环形密封圈安装槽、多个环形差抽气体导流槽、多个差抽排气孔以及用于将真空腔体与真空舱门连接起来的连接机构；
其中，所述多个密封圈分别设置在所述多个环形密封圈安装槽中；
所述多个差抽排气孔分别位于所述多个环形差抽气体导流槽之上；
所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布，或者在真空腔体与真空舱门二者闭合之后，所述多个环形差抽气体导流槽分别位于所述多个环形密封圈安装槽中的两个之间，形成交替分布。
2.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述连接机构为铰链。
3.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，其中，差抽排气孔设置在气体导流槽的靠近连接机构的位置处。
4.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，还包括真空抽气装置，所述真空抽气装置与所述多个差抽排气孔联通。
5.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述多个环形密封圈安装槽和所述多个环形差抽气体导流槽均设置在真空舱门上，或者均设置在真空腔体上。
6.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述多个环形密封圈安装槽设置在真空腔体和真空舱门中之一上，所述多个环形差抽气体导流槽设置在真空腔体和真空舱门中的另一个上。
7.如权利要求6所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述多个环形差抽气体导流槽和所述多个环形密封圈安装槽设置在所述真空舱门与所述真空腔体的相接触的部分上。
8.如权利要求4所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述真空抽气装置通过波纹管与所述多个差抽排气孔连通，所述多个差抽排气孔通过焊接或螺纹或卡套或法兰与所述波纹管连接。
9.如权利要求4所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述真空抽气装置包括机械泵和分子泵，所述机械泵与所述多个环形差抽气体导流槽中最***的环形差抽气体导流槽联通，分子泵与其他的环形差抽气体导流槽联通。
10.如权利要求1所述的多级差分密封的真空腔室，其中，所述真空舱门密封处的气体泄漏率为1.3×10-9Pa.L/s。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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