CN207562596U - 一种真空泵过滤罐过滤装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种真空泵过滤罐。一种真空泵过滤罐过滤装置，包括过滤罐罐体（3）、上下开口的筒状的导气筒（4）、进气口（6）、隔板（8）、第一排气口（71）、第二排气口（72）、过滤装置（2）、过滤罐罐盖（1），过滤装置（2）为一个左侧面和下侧面开口其它各侧面上安装滤网的箱体结构，过滤装置（2）的左侧面扣在进气口（6）上，隔板（8）上有多个成通孔状的第一排气口（71），每个第一排气口（71）上扣有一个导气筒（4），第二排气口（72）处于过滤罐罐体（3）的底部，过滤罐罐体（3）的底部与隔板（8）之间成中空结构。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空泵过滤罐装置。
背景技术
成本问题是整个太阳能行业的首要问题，也是单晶硅行业的首要问题。目前单晶硅的生产主要采用CZ法或以CZ法为基础的改良法进行，CZ法工艺技术要求单晶炉每拉制一炉消耗一只石英坩埚（以下简称坩埚）。因此，单晶硅单公斤的坩埚成本就等于1只坩埚价格除以1炉产出的公斤数。经计算，单晶加工过程中坩埚成本是仅次于电力成本的第二大成本项。而想要降低坩埚成本，就必须增大单炉产出，在良品率一定的情况下，增大单炉产出就必须增加单炉投料量。对此，业内通用的技术是采用重复加料的方式，也称之为RCZ法。
RCZ法是以CZ法为基础的改良法，其原理就是在单晶拉制过程中，拉制完第1根硅棒后不停炉，通过二次加料的方式再投料进去拉制第2根，甚至第3、4根硅棒。从而起到节省坩埚，降低坩埚成本的作用。
但是，RCZ法导致单炉周期大大增加，平均用时是普通CZ法的1.5倍，甚至2倍时间以上。由于期间不停炉，炉内会不断的产生大量氧化物、硅化物粉尘，这就对炉体的排气***带来很大的考验。如果排气不顺，会严重影响硅棒生产，尤其是在拉制第2根硅棒末期，容易导致硅棒断线、不合格率上升，或者是炉内杂质多，导致硅棒尾部碳含量超标等等情况。
而单晶炉的排气***是靠真空泵通过过滤罐从炉内不断抽气维持的。而过滤罐内的滤芯，经过一段时间的使用后，其滤网上积累了大量氧化物难以清理，导致滤芯堵塞，排气能力严重下降，影响正常拉晶生产。对此，甚至有的厂家将真空泵过滤罐内的滤芯去掉，采用最直接的“不过滤”方式改善炉台排气性能，但这会导致真空泵内进入大量粉尘，泵油老化加快，需要频繁更换真空泵油，同时对真空泵也会造成一定损伤。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是：如何解决单晶炉单炉周期变长情况下炉体排气不畅、容易堵塞等种种问题。
本实用新型所采用的技术方案是：一种真空泵过滤罐过滤装置，包括过滤罐罐体（3）、上下开口的筒状的导气筒（4）、进气口（6）、隔板（8）、第一排气口（71）、第二排气口（72）、过滤装置（2）、过滤罐罐盖（1），过滤装置（2）为一个左侧面和下侧面开口其它各侧面上安装滤网的箱体结构，过滤装置（2）的左侧面扣在进气口（6）上，隔板（8）上有多个成通孔状的第一排气口（71），每个第一排气口（71）上扣有一个导气筒（4），第二排气口（72）处于过滤罐罐体（3）的底部，过滤罐罐体（3）的底部与隔板（8）之间成中空结构。
作为一种优选方式：过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）为可拆卸连接。
作为一种优选方式：过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）通过螺栓连接，过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）之间有密封垫圈。
作为一种优选方式：隔板（8）与过滤罐罐体（3）的底部不接触，隔板（8）与过滤罐罐体（3）之间为可拆卸连接或者一体化连接。
本实用新型的有益效果是：结构简单、安全、可靠；易于清理，有效的降低了劳动强度，提高了劳动效率；改造成本低廉，易于推广，在不显著增加成本的前提下，提高了真空泵排气性能，同时起到了一定的过滤作用，有效保护了真空泵。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
其中，1、过滤罐罐盖，2、过滤装置，3、过滤罐罐体，4、导气筒，5、滤网，6、进气口，71、第一排气口，72、第二排气口，8、隔板。
具体实施方式
如图1所示，一种真空泵过滤罐过滤装置，包括过滤罐罐体3、上下开口的筒状的导气筒4、进气口6、隔板8、第一排气口71、第二排气口72、过滤装置2、过滤罐罐盖1，过滤装置2为一个左侧面和下侧面开口其它各侧面上安装滤网的箱体结构，过滤装置2主体为钢片，钢片内开口放置滤网（图中网状线所示），过滤装装置2与底部开口于过滤罐罐体3连接，为方便说明，仅画出一侧截面，过滤装置2的左侧面扣在进气口6上，隔板8上有多个成通孔状的第一排气口71，每个第一排气口71上扣有一个导气筒4，工作时放置于隔板8上，清理时可以取出，方便吸扫罐内粉尘。第二排气口72处于过滤罐罐体3的底部，过滤罐罐体3的底部与隔板8之间成中空结构。过滤罐罐盖1与过滤罐罐体3为可拆卸连接。过滤罐罐盖1与过滤罐罐体3通过螺栓连接，过滤罐罐盖1与过滤罐罐体3之间有密封垫圈。隔板8与过滤罐罐体3的底部不接触，隔板8与过滤罐罐体3之间为可拆卸连接或者一体化连接。
气路方向
进气口6与过滤罐罐体3相连，第二出气口72与真空泵相连。真空泵启动后，炉内气体经进气口6进入滤罐罐体3，之后穿过滤网5，气流向上，从导气筒4顶部进入，从下方出气口排出，气流在滤罐罐体3内行程“S”型气路。气流穿过滤网5时，杂质粉尘被滤网5阻挡，在滤网5上逐渐聚集，并在重力作用下落入过滤罐底部。滤网5下方为开方式结构。
本实用新型解决了当前单晶炉单炉运行周期变长的情况下，真空泵抽力不足，炉体排气不顺，管道容易堵塞的问题。本发明提供了一种过滤结构，其结构简单可靠、易于清理，避免了单晶炉运行时间久容易堵塞的问题，改善了炉体排气性能，满足了单晶生产的需求，同时起到了过滤作用，有效保护了真空泵。
Claims (4)
1.一种真空泵过滤罐过滤装置，其特征在于：包括过滤罐罐体（3）、上下开口的筒状的导气筒（4）、进气口（6）、隔板（8）、第一排气口（71）、第二排气口（72）、过滤装置（2）、过滤罐罐盖（1），过滤装置（2）为一个左侧面和下侧面开口其它各侧面上安装滤网的箱体结构，过滤装置（2）的左侧面扣在进气口（6）上，隔板（8）上有多个成通孔状的第一排气口（71），每个第一排气口（71）上扣有一个导气筒（4），第二排气口（72）处于过滤罐罐体（3）的底部，过滤罐罐体（3）的底部与隔板（8）之间成中空结构。
2.根据权利要求1所述的一种真空泵过滤罐过滤装置，其特征在于：过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）为可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空泵过滤罐过滤装置，其特征在于：过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）通过螺栓连接，过滤罐罐盖（1）与过滤罐罐体（3）之间有密封垫圈。
4.根据权利要求1所述的一种真空泵过滤罐过滤装置，其特征在于：隔板（8）与过滤罐罐体（3）的底部不接触，隔板（8）与过滤罐罐体（3）之间为可拆卸连接或者一体化连接。
Priority Applications (1)
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| CN201721470856.0U CN207562596U (zh) | 2017-11-07 | 2017-11-07 | 一种真空泵过滤罐过滤装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201721470856.0U CN207562596U (zh) | 2017-11-07 | 2017-11-07 | 一种真空泵过滤罐过滤装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN207562596U true CN207562596U (zh) | 2018-07-03 |
Family
ID=62692889
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN207562596U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108980015A (zh) * | 2018-08-03 | 2018-12-11 | 蚌埠市昊源压缩机制造有限公司 | 一种bog压缩机的过滤罐 |
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2017
- 2017-11-07 CN CN201721470856.0U patent/CN207562596U/zh active Active
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