CN207435534U - 一种防短路蒸发舟支架 - Google Patents
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Abstract
一种防短路蒸发舟支架，包括陶瓷支架、电极连接头、U型端蒸发舟、包裹式绝缘垫片，陶瓷支架整体为凹字型结构，陶瓷支架的下部设有一体成型的凸台且凸台的右侧面断开，陶瓷支架的两端均为U型结构，两端的U型结构上各卡设有一个电极连接头，电极连接头呈U型，两个电极连接头上水平放置有一个U型端蒸发舟，U型端蒸发舟的两端各包裹有一个包裹式垫片，每个包裹式垫片将U型端蒸发舟的一端、一个电极连接头以及陶瓷支架的一端进行包裹。本实用新型具有防短路、延长U型端蒸发舟的使用寿命、节能等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜制备领域，具体涉及一种防短路蒸发舟支架。
背景技术
在真空热蒸发镀膜设备中，常使用钼舟加热物料，物料中的金属通过蒸发、扩散到工件的表面，附着在工件表面，在工件表面形成薄膜。现有技术是通过一块圆形垫片将钼舟夹住在垫片的一侧并通过螺栓固定在电极上，通过这种方式固定的钼舟两端不仅不平稳，而且由于钼舟与电极之间的接触面小，接头处易接触不良；现有技术是通过增大通过钼舟的电流来使钼舟升温，由于钼舟的电阻在使用过程中的不确定，无法通过控制电流的大小来控制钼舟温度，现有技术中的钼舟使用过程中缺乏测温装置；钼舟在受热冷却后受力易开裂，由于有蒸发不同物料的需求，在更换通过螺栓直接固定在电极柱上的钼舟时，不可避免手或其他工具与钼舟的接触，从而造成钼舟的损坏。
实用新型内容
针对上述现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种便于蒸发舟两端平稳放置、增大蒸发舟与电极接触面、增设测温装置、对蒸发舟起到保护作用的一种防短路蒸发舟支架。
为实现上述目的，本实用新型采用以下方案：
一种防短路蒸发舟支架，包括陶瓷支架、电极连接头、U型端蒸发舟、包裹式绝缘垫片，其特征在于，陶瓷支架整体为凹字型结构，陶瓷支架上开有竖向的温度探测孔以及垂直于温度探测孔的温度探头螺栓孔，温度探测孔中***有温度探头并通过***温度探头螺栓孔中的温度探头固定螺栓将温度探头抵住固定，陶瓷支架的凹槽中间位置设有一体成型的凸台且凸台的右侧面断开，陶瓷支架的两端设有一体成型的U型结构，U型结构的侧面上开有电极连接头螺栓孔，两端的U型结构上各卡设有一个电极连接头；电极连接头呈U型，在两个电极连接头上与陶瓷支架对应的位置均开设有电极连接头螺栓孔，两个电极连接头与陶瓷支架通过***电极连接头螺栓孔中的电极连接头固定螺栓拧紧固定；两个电极连接头上水平放置有同一个U型端蒸发舟，U型端蒸发舟的中间位置开有凹槽，U型端蒸发舟的两端各包裹有一个包裹式垫片；两个包裹式垫片的整体均呈U型，每个包裹式垫片将U型端蒸发舟的一端、一个电极连接头以及陶瓷支架的一端进行包裹，在包裹式垫片上与电极连接头对应的位置开有包裹式垫片螺栓孔，包裹式垫片螺栓孔中***有用于将包裹式垫片与电极连接头拧紧固定的包裹式垫片固定螺栓。
优选地，陶瓷支架上开设的电极连接头螺栓孔为直槽孔，电极连接头上开设的电极连接头螺栓孔为圆孔。
本实用新型的优点在于：1、包裹式垫片将U型端蒸发舟等包裹，在更换U型端蒸发舟时，只需拧开电极柱上的固定螺栓，取下包裹式垫片即可对U型端蒸发舟进行更换，不需与U型端蒸发舟直接接触，是对U型端蒸发舟的保护，延长U型端蒸发舟的使用时间；2、陶瓷支架下部的侧面断开、一体成型的凸台设计，可以防止物料蒸发后沉积在陶瓷支架表面形成的金属薄膜的连接，从而避免短路；3、U型端蒸发舟水平放置在电极连接头上，再通过包裹式垫片包裹固定，避免了在U型端蒸发舟上打孔固定，也无需将U型端蒸发舟放置在支撑物体与垫片间夹紧固定，避免了对U型端蒸发舟的损坏，增大了U型端蒸发舟与电极连接头的接触面，同时又能做到对U型端蒸发舟的平稳固定；4、温度探测孔的设置，便于安装测温装置，具有节能作用；5、直槽孔的设置可以减少热膨胀对陶瓷架的影响，对陶瓷支架以及电极连接头起到防护作用。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型陶瓷支架结构示意图。
图3为图2的反向剖视图。
图4为本实用新型电极连接头结构示意图。
图5为本实用新型陶瓷支架与电极连接头连接后的结构示意图。
图6为本实用新型U型端蒸发舟结构示意图。
图7为本实用新型陶瓷支架、电极连接头、U型端蒸发舟组装好后的结构示意图。
图8为本实用新型包裹式垫片结构示意图。
其中，图中各标号表示：1、陶瓷支架；1.1、凸台；1.2、U型结构；2.1、直槽孔式电极连接头螺栓孔；2.2、圆孔式电极连接头螺栓孔；3、温度探测孔；4、温度探头螺栓孔；5、温度探头固定螺栓；6、电极连接头；7、电极连接头固定螺栓；8、包裹式垫片螺栓孔；9、U型端蒸发舟；10、包裹式垫片；11、包裹式垫片固定螺栓。
具体实施方式
现结合附图，对本实用新型进行说明：
如图1-图8所示的一种防短路蒸发舟支架，包括陶瓷支架1、电极连接头6、U型端蒸发舟9、包裹式绝缘垫片10，陶瓷支架1整体为凹字型结构，陶瓷支架1的一端顶部开有一竖向的温度探测孔3，陶瓷支架1一端靠近底部处开有一垂直于温度探测孔3的温度探头螺栓孔4，温度探测孔3中***有温度探头并通过***温度探头螺栓孔4中的温度探头固定螺栓5将温度探头抵住固定，陶瓷支架1的凹槽中间位置设有一体成型的凸台1.1且凸台1.1的右侧面断开；陶瓷支架1的两端均设有一体成型的U型结构1.2，U型结构1.2的侧面上开有直槽孔式电极连接头螺栓孔2.1，两端的U型结构1.2上各卡设有一个电极连接头6；电极连接头6呈U型，在两个电极连接头6上与直槽孔式电极连接头螺栓孔2.1相对应的位置均开设有圆孔式电极连接头螺栓孔2.2，两个电极连接头6与陶瓷支架1通过***圆孔式电极连接头螺栓孔2.2、直槽孔式电极连接头螺栓孔2.1中的电极连接头固定螺栓7拧紧固定，在电极连接头6上还开设有包裹式垫片螺栓孔8；两个电极连接头6上水平放置有同一个U型端蒸发舟9，U型端蒸发舟9的中间位置开有凹槽，在U型端蒸发舟9的两端各包裹有一个包裹式垫片10；两个包裹式垫片10的整体均呈U型，每个包裹式垫片10将U型端蒸发舟9的一端、一个电极连接头6以及陶瓷支架1的一端进行包裹，在包裹式垫片10上与电极连接头6对应的位置也开有包裹式垫片螺栓孔8，包裹式垫片螺栓孔8中***有用于将包裹式垫片10与电极连接头6拧紧固定的包裹式垫片固定螺栓11。
使用时，将本实用新型放置在两个电极柱上，在两端各通过一根固定螺栓由上而下从包裹式垫片10的U型孔中垂直***电极柱中拧紧固定，然后在U型端蒸发舟9中放入待蒸发物料，向电极柱通电，即可开始工作。
其中，U型端蒸发舟所用材料指可采用但不限于钨、钼。
Claims (2)
1.一种防短路蒸发舟支架，包括陶瓷支架、电极连接头、U型端蒸发舟、包裹式绝缘垫片，其特征在于，陶瓷支架整体为凹字型结构，陶瓷支架上开有竖向的温度探测孔以及垂直于温度探测孔的温度探头螺栓孔，温度探测孔中***有温度探头并通过***温度探头螺栓孔中的温度探头固定螺栓将温度探头抵住固定，陶瓷支架的凹槽中间位置设有一体成型的凸台且凸台的右侧面断开，陶瓷支架的两端设有一体成型的U型结构，U型结构的侧面上开有电极连接头螺栓孔，两端的U型结构上各卡设有一个电极连接头；电极连接头呈U型，在两个电极连接头上与陶瓷支架对应的位置均开设有电极连接头螺栓孔，两个电极连接头与陶瓷支架通过***电极连接头螺栓孔中的电极连接头固定螺栓拧紧固定；两个电极连接头上水平放置有同一个U型端蒸发舟，U型端蒸发舟的中间位置开有凹槽，U型端蒸发舟的两端各包裹有一个包裹式垫片；两个包裹式垫片的整体均呈U型，每个包裹式垫片将U型端蒸发舟的一端、一个电极连接头以及陶瓷支架的一端进行包裹，在包裹式垫片上与电极连接头对应的位置开有包裹式垫片螺栓孔，包裹式垫片螺栓孔中***有用于将包裹式垫片与电极连接头拧紧固定的包裹式垫片固定螺栓。
2.根据权利要求1所述的一种防短路蒸发舟支架，其特征在于，陶瓷支架上开设的电极连接头螺栓孔为直槽孔，电极连接头上开设的电极连接头螺栓孔为圆孔。
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Cited By (1)
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| CN115523908A (zh) * | 2022-09-19 | 2022-12-27 | 青岛理工大学 | 一种实时矿山滑坡位移监测设备 |
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2017
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| CN115523908B (zh) * | 2022-09-19 | 2024-05-28 | 青岛理工大学 | 一种实时矿山滑坡位移监测设备 |
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