CN207159098U - 上部电极熔射辅助装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种上部电极熔射辅助装置,包括熔射过程中用于覆盖在上部电极表面的遮板,所述遮板对应上部电极上喷气孔的位置均设有圆柱形的熔射孔,所述熔射孔的孔径大于喷气孔的孔径,所述熔射孔贯穿遮板的上下表面,熔射孔两端端部均具有倒角。采用以上结构,通过遮板在原有的阳极氧化涂层表面追加形成绝缘层,提高了脆弱部位的绝缘性,从而可使喷气孔保持长久的稳定形态,提高在干刻过程中的喷气均匀性,提高产品良品率,并且对母材也没有损耗,确保了母材的反复使用性,延长了上部电极的使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型属于上部电极熔射技术领域,具体涉及一种上部电极熔射辅助装置。
背景技术
上部电极主要用于玻璃面板生产工序中,使玻璃面板表面形成小回路时的干刻工程的部件。其上沿其厚度方向具有上千个气体喷气孔,在干刻过程中,会与等离子电极相结合,使等离子气体在机舱内喷射均匀,是决定LCD干刻工程生产效率的消耗性核心部件。
传统的上部电极只是对气体喷气孔及表面进行了阳极氧化-单一的方式进行绝缘,喷气孔周围比较脆弱,按照传统的做法,喷气孔周围的绝缘性较弱,在后期通电使用过程中,阳极氧化层容易发生裂痕,从而使铝母材外露,发生母材燃烧的情况,缩短了上部电极的使用寿命,增加了生产成本,并且母材燃烧会带来大量粉尘,也对干刻工序有较大影响,降低了生产效率。
实用新型内容
为解决以上技术问题,本实用新型提供了一种上部电极熔射辅助装置,在保证喷气孔熔射均匀性前提下,提高上部电极的绝缘性能,从而延长上部电极的使用寿命,提供干刻工序的生产效率。
为实现上述目的,本实用新型技术方案如下:
一种上部电极熔射辅助装置,期关键在于:包括熔射过程中用于覆盖在上部电极表面的遮板,所述遮板对应上部电极上喷气孔的位置均设有圆柱形的熔射孔,所述熔射孔的孔径大于喷气孔的孔径,所述熔射孔贯穿遮板的上下表面,熔射孔两端端部均具有倒角。
采用以上方案,熔射时,通过遮板可以遮挡上部电极上不需要熔射的区域,确保形成合适区域大小的涂层,且采用上述结构的遮板所形成的涂层厚度均匀圆润,可大大提高喷气孔端部的绝缘性能,从而提高上部电极的后续使用寿命。
作为优选:还包括熔射过程中用于覆盖在遮板上的矫正块,所述矫正块的厚度大于遮板的厚度,所述矫正块在对应熔射孔的位置设有腰形孔,所述腰形孔的孔径大于熔射孔的孔径。采用以上结构,矫正块可以对熔射火焰进行隔热,阻挡高温对遮板或者上部电极持续作用,同时矫正块可以依靠自身重量压住遮板,抑制遮板受热变形,从而保证形成涂层的均匀性。
作为优选:熔射过程中所述遮板通过定位销固定在上部电极的表面。采用以上结构,方便遮板的拆装,且可以对遮板与上部电极的相对位置进行限位,确保熔射孔与喷气孔同轴对正,进一步提高熔射质量。
作为优选:所述定位销为四个,分别对应遮板的四角设置,所述遮板四角设有与定位销相配合的销孔。采用以上结构,从四角对遮板进行限位,可进一步减少遮板的偏移量,确保遮板与遮板的相对位置固定。
作为优选:所述定位销下端具有外螺纹段,上端呈圆台状结构。采用以上结构,使定位销下端方便与上部电极固定,同时定位销上端呈圆台状,方便遮板穿入,提高工作效率,同时也不会划伤遮板的表面和作业人员,确保工件和人员的安全系数。
作为优选:所述遮板、矫正块和定位销均采用不锈钢材质。采用以上结构,确保装置具有耐高温性能,可以重复使用,同时还具有良好的耐化学腐蚀和电化学腐蚀性能,确保装置不会受到高温熔射材料和熔射气氛的腐蚀,同时也避免了铁锈污染上部电极,从而有效保障熔射质量。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
采用本实用新型提供的上部电极熔射辅助装置,通过遮板在原有的阳极氧化涂层表面追加形成绝缘层,提高了脆弱部位的绝缘性,从而可使喷气孔保持长久的稳定形态,提高在干刻过程中的喷气均匀性,提高产品良品率,并且对母材也没有损耗,确保了母材的反复使用性,延长了上部电极的使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为图1所示实施例的安装结构示意图;
图3为图2中d处局部放大图;
图4为图2的所示实施例的俯视图;
图5本实用新型的熔射结构示意图;
图6位图5中c处熔射局部示意图;
图7为遮板受热形变结构示意图;
图8为图7中a处熔射局部示意图;
图9为熔射孔未倒角结构示意图;
图10为图9中b处熔射局部示意图。
具体实施方式
以下结合实施例和附图对本实用新型作进一步说明。
参考图1至图6所示的上部电极熔射辅助装置,其中图2位本实用新型的安装结构示意图,为了更好的贯穿其安装结构,将安装完成的一角进行剖切处理,主要包括均呈板状结构的遮板1和矫正块2,且矫正块2的厚度大于遮板1的厚度,同时矫正块2的重量远大于遮板1的重量。
遮板1和矫正块2的形状均参照待熔射的上部电极E进行设计,如本实施例中所针对待熔射上部电极E位举行板状结构,其上呈矩形阵列分布有很多喷气孔E0,那么遮板1的形状这与上部电极E的形状相适应,其大小基本保持一致,即熔射时遮板1覆盖于上部电极E上面,可以实现全覆盖,但是遮板1的厚度比上部电极E薄,相对减小遮板1的重量。
遮板1上设有贯穿其厚度方向上下表面的熔射孔10,熔射孔10的设置位置以及孔径大小也是根据上部电极E来设计,只需满足如下调节即可,当遮板1正对放置在上部电极E上时,熔射孔10与喷气孔E0能实现一一对应,且熔射孔10余喷气孔E0的轴线一致,其二者同轴设置;
且熔射孔10的孔径大于喷气孔E0的孔径,其具体相差多少则根据需要而定,如果需要较大的熔射涂层区域,则可相对增大孔径,反之则刻相对缩小,但最小不能小于喷气孔E0的孔径,通过遮板1这样设计,可以在熔射时遮住上部电极E不需要熔射的区域,同事能更好的控制柱状熔射涂层F的区域大小。
为了使形成的柱状熔射涂层光滑圆润,本实用新型中熔射孔10的上下两端均具有倒角100,参考图3、图5和图6,倒角100使熔射孔10的上下两端呈光滑过渡的喇叭状;
参考图9和图10,熔射孔10'的端部均没有经过倒角处理,位圆柱形,那么熔射过程中部分高温熔射材料碰到熔射孔10'的内壁后反弹,在靠近熔射孔10'底部侧壁的附近发生堆积,形成如图10中所示的形状,熔射涂层F''在靠近遮板1的熔射孔10'附近会出现毛刺,熔射涂层F''表现出四周高于中间的特征,完全不能满足上部电极E表面熔射涂层的要求。
而反之当熔射孔10的上下两端均有倒角100时,如图5和图6所示,高温熔射材料即使在发生碰撞后,因为有倒角100的存在,可以向周向进行微量扩展,从而能确保熔射涂层F的表面齐平,基本呈柱状结构,且光滑圆润。
因为遮板1通常设计较薄,在熔射高温火焰的作用下,容易发生受热膨胀发生变形,参考图7和图8,遮板1受热变形后使得其上下表面凹凸不平,遮板1与上部电极E之间出现空隙,同时熔射孔10'的孔径也可能不再均匀,从而严重影响熔射效果,如图8所示,熔射材料在遮板1与上部电极E的空隙出向外扩张,形成类似圆台状的熔射涂层F',不能满足既定的涂层区域要求以及厚度,从而难以达到熔射的需求,投入使用后,甚至会降低上部电极E的使用寿命或其喷气均匀性
故为防止遮板1出现上述的这种情况,本实用新型中,增加了矫正块2的结构,矫正块2的形状则对应遮板1的形状进行设计,本实施例中矫正块2也呈矩形板状结构,其尺寸比遮板1略小,则当矫正块2正对放置在遮板1上时,可以看到遮板1的外缘有突出于矫正块2的部分,为确保矫正块2能压住遮板1,矫正块2的重量要大于遮板1,且比遮板1的厚度厚,依靠大厚度可以有效阻挡熔射过程中熔射火焰的高温,从而起到一定的隔热作用,减少遮板1受热影响;
当矫正块2压住遮板1后,又不影响熔射过程,矫正块2上设有腰形孔20,腰形孔20对应熔射孔10进行设置,其孔径略大于熔射孔10的孔径,本实施例中一个腰形孔20对应三个熔射孔10设计,即一个腰形孔20下有三个熔射孔10,这样可以相对减少加工难度,同时有利于多孔同时熔射。
参考图1至图6,使用时,遮板1通过定位销3固定到上部电极E的表面,定位销3整体呈柱状结构,其一端加工有外螺纹段30,另一端则呈圆台状结构,上部电极E的四角均设有沉孔E1,其内设有内螺纹,则定位销3可以很方便的***沉孔E1中,遮板1在对应沉孔E1的位置均设有销孔11,则当定位销3固定好后,将遮板1的通孔正对定位销3的上端放入,即可快速实现遮板1余上部电极E的相对位置固定,且熔射孔10余喷气孔E0的轴线对正,且在熔射过程中也不易发生偏移,从而有效保证熔射质量;
然后将矫正块2放置到遮板1的上表面,并通过测量遮板1外缘突出长度,来确保矫正块2与遮板1的位置对正,即腰形孔20与熔射孔10对正,不影响熔射质量。
本实施例中遮板1、矫正块2和定位销3均采用不锈钢材质加工而成,因为熔射过程中,温度较高,而不锈钢材料具有耐高温的特点,可以确保遮板1和矫正块2以及定位销3的正常使用和反复多次使用,实用性和经济性很高,同时不锈钢材料还具有良好的耐化学腐蚀和电化学腐蚀性能,使得遮板1、矫正块2和定位销3不会受到高温熔射材料和熔射气氛的腐蚀,也能避免污染上部电极E,影响熔射质量
最后需要说明的是,上述描述仅仅为本实用新型的优选实施例,本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下,在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下,可以做出多种类似的表示,这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种上部电极熔射辅助装置,其特征在于:包括熔射过程中用于覆盖在上部电极(E)表面的遮板(1),所述遮板(1)对应上部电极(E)上喷气孔(E0)的位置均设有圆柱形的熔射孔(10),所述熔射孔(10)的孔径大于喷气孔(E0)的孔径,所述熔射孔(10)贯穿遮板(1)的上下表面,熔射孔(10)两端端部均具有倒角(100)。
2.根据权利要求1所述的上部电极熔射辅助装置,其特征在于:还包括熔射过程中用于覆盖在遮板(1)上的矫正块(2),所述矫正块(2)的厚度大于遮板(1)的厚度,所述矫正块(2)在对应熔射孔(10)的位置设有腰形孔(20),所述腰形孔(20)的孔径大于熔射孔(10)的孔径。
3.根据权利要求1或2所述的上部电极熔射辅助装置,其特征在于:熔射过程中所述遮板(1)通过定位销(3)固定在上部电极(E)的表面。
4.根据权利要求3所述的上部电极熔射辅助装置,其特征在于:所述定位销(3)为四个,分别对应遮板(1)的四角设置,所述遮板(1)四角设有与定位销(3)相配合的销孔(11)。
5.根据权利要求4所述的上部电极熔射辅助装置,其特征在于:所述定位销(3)下端具有外螺纹段(30),上端呈圆台状结构。
6.根据权利要求5所述的上部电极熔射辅助装置,其特征在于:所述遮板(1)、矫正块(2)和定位销(3)均采用不锈钢材质。
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CN111243933A (zh) * | 2020-02-18 | 2020-06-05 | 信利(仁寿)高端显示科技有限公司 | 一种干法刻蚀设备的上部电极及干法刻蚀设备 |
CN112133622A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-25 | 重庆臻宝实业有限公司 | 上部电极气孔修复工艺 |
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