CN207081944U - 一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置 - Google Patents
一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置 Download PDFInfo
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Abstract
一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转，本实用新型能够同时实现XYZθ方向的运动，且满足了高精度的对位生产需求，还提高了生产效率，减少了人工劳动强度。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械设备领域，具体涉及一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置。
背景技术
目前，用于高端曝光机的对位装置有很多种，例如，按移动轴数划分，其包括单轴对位装置和双轴对位装置，其中单轴对位装置仅仅能够实现一个方向上的位置变化，即XYZ三个方向中的某一个，结构比较简单，可实现的功能相对较少。双轴对位装置采用双模组结构，即XYZ中的两个方向的位移，双轴对位装置大多用于搬运等机械运动，但却无法满足高精度的对位需求。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术存在的上述问题，提供了一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，该三轴实时对位装置能够同时实现XYZθ方向的运动，从而满足了高精度的对位生产需求。
为实现上述目的，本实用新型提供了一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，所述Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，所述推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，所述旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，所述机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述Y轴模组上设有用于驱动X轴模组移动的第一电机，所述X轴模组上设有用于驱动推动气缸移动的第二电机。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述第一电机和第二电机均为步进电机。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述Y轴模组侧面设有与X轴模组相连的第一拖链，所述X轴模组侧面设有与推动气缸相连的第二拖链。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述第一拖链下方设有用于支撑第一拖链的第一拖链钣金，第二拖链下方设有用于支撑第二拖链的第二拖链钣金。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述机械手的手抓为吸盘。
作为本实用新型的进一步优选技术方案，所述X轴模组和所述Y轴模的有效行程的左右限位上均设有光电感应开关。
本实用新型的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置可以达到如下有益效果：
1）采用X轴和Y轴的双模组，并结合推动气缸与旋转电机，可实现机械手全方位的移动和旋转；
2）先通过视觉识别产品前后端，并通过选择气缸的方向旋转，机械手可将产品统一放置；
3）安装有光电感应开关，可保证推动气缸在安全行程内运行；
4）本实用新型装置结构设计紧密，逻辑感强，功能齐全，独特新颖。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型应用于高端曝光机的三轴实时对位装置提供的一实例的结构示意图。
图中：1、底板，2、Y轴模组，3、X轴模组，4、推动气缸，5、旋转电机，6、机械手，7、第二电机，8、第一电机，9、光电感应开关。
本实用新型目的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述。较佳实施例中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等用语，仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
图1为本实用新型应用于高端曝光机的三轴实时对位装置提供的一实例的结构示意图，如图1所示，应用于高端曝光机的三轴实时对位装置包括底板1、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组3、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组2、推动气缸4、旋转电机5和机械手6，所述Y轴模组2沿Y方向固定在底板1上，所述X轴模组3沿X方向设置，且X轴模组3的一端端部架设在Y轴模组2上方，以使得X轴模组3在Y轴模组2上可沿Y方向移动，所述推动气缸4设置在X轴模组3的侧面并可在X轴模组3上沿X方向移动，所述旋转电机5固定在推动气缸4下端并可在推动气缸4的带动下实现Z方向的移动，所述机械手6固定在旋转电机5下端的旋转轴上，以使得机械手6可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转。
具体实施中，所述Y轴模组2上设有用于驱动X轴模组3移动的第一电机8，所述X轴模组3上设有用于驱动推动气缸4移动的第二电机7，所述第一电机8和第二电机7均为步进电机。
具体实施中，所述Y轴模组2侧面设有与X轴模组3相连的第一拖链，所述X轴模组3侧面设有与推动气缸4相连的第二拖链。
具体实施中，所述第一拖链下方设有用于支撑第一拖链的第一拖链钣金，第二拖链下方设有用于支撑第二拖链的第二拖链钣金。
具体实施中，所述机械手6的手抓为吸盘。
具体实施中，所述X轴模组3和所述Y轴模的有效行程的左右限位上均设有光电感应开关9。
本实用新型应用于高端曝光机的三轴实时对位装置主要包含的四个部件的分别功能如下：
第一部件，Y轴模组2，其控制整个装置在Y方向上的移动；
第二部件，X轴模组3，其控制推动气缸4、旋转电机5和机械手6在X方向的位移；
第三部件，推动气缸4，其气缸推进可实现旋转电机5和机械手6在Z方向的位移；
第四部分，旋转气缸，其可带动机械手6可实现θ方向旋转，可机械手6放置产品前，可对产品前后端进行调整，以实现产品的统一放置。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式，但是本领域熟练技术人员应当理解，这些仅是举例说明，可以对本实施方式做出多种变更或修改，而不背离本实用新型的原理和实质，本实用新型的保护范围仅由所附权利要求书限定。
Claims (7)
1.一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，包括底板、用于提供X轴方向的滑轨的X轴模组、用于提供Y轴方向的滑轨的Y轴模组、推动气缸、旋转电机和机械手，所述Y轴模组沿Y方向固定在底板上，所述X轴模组沿X方向设置，且X轴模组的一端端部架设在Y轴模组上方，以使得X轴模组在Y轴模组上可沿Y方向移动，所述推动气缸设置在X轴模组的侧面并可在X轴模组上沿X方向移动，所述旋转电机固定在推动气缸下端并可在推动气缸的带动下实现Z方向的移动，所述机械手固定在旋转电机下端的旋转轴上，以使得机械手可实现XYZ方向的移动及θ方向的旋转。
2.按照权利要求1所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述Y轴模组上设有用于驱动X轴模组移动的第一电机，所述X轴模组上设有用于驱动推动气缸移动的第二电机。
3.按照权利要求2所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述第一电机和第二电机均为步进电机。
4.按照权利要求3所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述Y轴模组侧面设有与X轴模组相连的第一拖链，所述X轴模组侧面设有与推动气缸相连的第二拖链。
5.按照权利要求4所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述第一拖链下方设有用于支撑第一拖链的第一拖链钣金，第二拖链下方设有用于支撑第二拖链的第二拖链钣金。
6.按照权利要求1所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述机械手的手抓为吸盘。
7.按照权利要求1至6任一项所述的应用于高端曝光机的三轴实时对位装置，其特征在于，所述X轴模组和所述Y轴模的有效行程的左右限位上均设有光电感应开关。
Priority Applications (1)
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| CN201720812488.7U CN207081944U (zh) | 2017-07-06 | 2017-07-06 | 一种应用于高端曝光机的三轴实时对位装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109773772A (zh) * | 2019-04-01 | 2019-05-21 | 无锡丹尼克尔自动化科技有限公司 | 一种多轴机械手组件及多轴机械手 |
| CN110004770A (zh) * | 2019-05-24 | 2019-07-12 | 四川锐立文物保护科技有限公司 | 一种纸张脱酸用双轴机械手臂 |
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2017
- 2017-07-06 CN CN201720812488.7U patent/CN207081944U/zh not_active Expired - Fee Related
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