CN207031270U - 一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置 - Google Patents

Abstract

一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，包括机架、室体、溅射室、安装在传动机构上的工件架；还包括工作气体供给机构和电气及自动化装置；安装在溅射室内的磁控溅射靶在伺服电机的带动下自动调整溅射距离；传动机构能将工件架和装夹在工件架上的曲面玻璃，在磁导向机构的导向下进入溅射室；工件架上装卡曲面玻璃的卡具可以根据不同曲面玻璃的曲面度进行更换；电气及自动化装置中的控制***采用PLC编程控制，触摸屏调节参数，并设有自动模式和手动模式。本实用新型实现了曲面玻璃镀膜的先弯后镀，解决了镀膜均匀性，磁控溅射靶可以使用不同的材料同时溅射组成不同的膜系，满足产品的不同性能。

Description

一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及一种真空镀膜装置，具体得说涉及一种曲面玻璃的镀膜装置。

背景技术

随着技术的发展和对产品性能要求的提高，真空镀膜越来越受到人们的欢迎，曲面真空镀膜玻璃也成为未来发展的趋势。过去，曲面玻璃采用先镀膜后弯曲的方式，先镀膜后弯曲一般是在平板上镀膜，镀膜后高温弯曲，拉成所需形状，这样容易造成膜的划伤，渗透，重组，扩散等问题，从而影响最终曲面真空镀膜玻璃的质量。因此，提高产品质量，就要改进镀膜方式。普通的镀膜机在对曲面玻璃进行真空镀膜时，会产生镀膜不均、膜层发花等问题，造成产品质量不合格和无法避免的损失。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，它能够适应玻璃先弯后镀的工艺设置，并可减少镀后弯曲时高温对镀膜产生的损伤。

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，包括机架、室体、工作气体供给机构和真空抽气机构，其中，室体安装在机架上，室体与工作气体供给机构、真空抽气机构连接；构成中还包括一个溅射室，所述溅射室包括磁控溅射靶和传动机构，所述磁控溅射靶由第一伺服电机经第一减速机后驱动，磁控溅射靶上设有滑块，在室体上设有滑槽，滑块在滑槽内滑动；磁控溅射靶上装有旋转轴，旋转轴上装有齿轮，磁控溅射靶在第二伺服电机和第二减速机的传动下，通过齿条与旋转轴上装有的齿轮啮合。

上述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，所述控溅射靶的弯曲的面与曲面玻璃的弯曲的面相符。

上述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，所述传动机构中的同步带轮由另一个电动机驱动，工件架和装卡在工件架上的曲面玻璃，安装在托轮和磁导向机构之间。

上述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，所述室体、工作气体供给机构和真空抽气机构由电控装置控制，所述电控装置采用PLC。

本实用新型采用上述方案后，具有如下效果：本装置设计的磁控溅射靶机构能够准确地完成前后移动和自身旋转的动作，从而使曲面玻璃镀膜时能够实现膜层的均匀性，也解决了在平板玻璃上先镀膜后弯造成的膜损伤问题。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型的A-A剖面图。

图中各标号清单为：1、室体，2、磁导向机构，3、工件架，4、曲面玻璃，5、磁控溅射靶，6、溅射室，7、机架，8、传动机构，9、工作气体供给机构，10、传动轴，11、齿条，12、旋转轴，13、同步带轮，14、托轮，15、滑块，16、滑槽，17、第一减速机，18、第二减速机，D1、第一伺服电机，D2、第二伺服电机。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步详细的说明：

如图1-图2所示，本实用新型采用移动镀膜方式，磁控溅射靶5由第一伺服电机D1和第一减速机17的驱动，磁控溅射靶上的滑块15，在室体上滑槽16内滑动，实现磁控溅射靶的前后移动；磁控溅射靶在第二伺服电机D2和第二减速机18的传动下，通过齿条11带动旋转轴12旋转，保证了磁控溅射靶与曲面玻璃的溅射距离；在真空镀膜时，解决了镀膜不均、膜层发花等问题。

仍参看图1、图2，本实用新型设置的工件架3和装卡在工件架上的曲面玻璃4能够通过托轮14的传动，并在磁导向机构2的导引下进入溅射室6。磁控溅射靶在设计过程中综合考虑了磁场分布、磁路、导电、屏蔽、冷却、绝缘、密封等因素。

仍参看图1、图2，本实用新型设置的工件架3上装卡曲面玻璃4的卡具可以根据不同尺寸、不同的曲面玻璃进行更换，并可快速夹装。所述磁控溅射靶5形成的薄膜，可以使用不同的材料同时溅射组成不同的膜系，满足产品的不同性能；本实用新型具有的真空抽气机构采用了2X型真空泵+分子泵，减少真空腔体内的残余气体保证了薄膜的纯洁度。

Claims (4)

1.一种不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，包括机架(7)、室体(1)、工作气体供给机构(9)和真空抽气机构，其中，室体安装在机架上，室体与工作气体供给机构、真空抽气机构连接，其特征在于：构成中还包括一个溅射室(6)，所述溅射室包括磁控溅射靶(5)和传动机构(8)，所述磁控溅射靶由第一伺服电机(D1)经第一减速机(17)后驱动，磁控溅射靶上设有滑块(15)，在室体上设有滑槽(16)，滑块在滑槽内滑动；磁控溅射靶上装有旋转轴(12)，旋转轴上装有齿轮，磁控溅射靶在第二伺服电机(D2)和第二减速机(18)的传动下，通过齿条(11)与旋转轴上装有的齿轮啮合。

2.根据权利要求1所述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，其特征在于：所述磁控溅射靶(5)的弯曲的面与曲面玻璃(4)的弯曲的面相符。

3.根据权利要求2所述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，其特征在于：所述传动机构(8)中的同步带轮(13)由另一个电动机驱动，工件架(3)和装卡在工件架上的曲面玻璃(4)，安装在托轮(14)和磁导向机构(2)之间。

4.根据权利要求3所述不易划伤曲面玻璃镀层的镀膜装置，其特征在于：所述室体(1)、工作气体供给机构(9)和真空抽气机构由电控装置控制，所述电控装置采用PLC。