CN206847565U - 非接触测量深小孔径尺寸的测量装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开的一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，旨在提供了一种结构简单、测量效率高，利用合像瞄准技术进行绝对测量的非接触式测量装置，本实用新型通过下述技术方案予以实现：在底座的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台，底座的侧平面上设有控制移动工作台沿X轴移动的X轴移动伺服电机，按直角坐标系，微调工作台、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机和水平调整伺服电机在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头光轴，且水平调整伺服电机受控于计算机；CCD远心镜头通过底座弓形臂正对被测工件，瞄准深小孔，将合像光束伸入被测孔内表面进行测量，并设有一个刻有种基准圆的影像感应器。

Description

非接触测量深小孔径尺寸的测量装置

技术领域

本实用新型涉及一种高深宽比小孔内径的检测装置，尤其是机械加工中测量φ0.1mm～φ25mm内孔的非接触测量快速测量装置。

背景技术

长度测量是几何量测量中的一项重要内容，孔径测量又是长度测量中的关键技术和难点之一。随着科学技术的发展和尖端产品的日益精密化、集成化和微型化，微小孔越来越广泛地应用于汽车、电子、光纤通讯和流体控制等领域，这些应用对微小孔的加工也提出了更高的要求。例如精密仪器上的轴孔、量针等，不仅要求孔径大小准确，而且要求孔壁光滑。有关内外径的高精度测量都是关键的技术问题，内外径测量和检定校准问题，量值传递和溯源问题也是越来越重要。结构简单、量程较大和精度较高的检测方法，实现孔内径的在线检测，这对于深孔加工过程中的质量控制和提高装配效率具有重要的意义。对这一尺寸的控制将直接影响仪器或加工件的装配质量甚至性能，因此，在对小尺寸孔类零件提出精密加工要求的同时,也是对其检测精度提出了更高的要求。在高深宽比小孔检测的过程中,由于其检测操作不便,效率低,检测的难度较大。孔类零件和轴类零件相比,即便公差等级相同,前者的检测也要更加困难一些。由于很难保证在小孔表面和小孔径深处的尺寸相同,特别是对于高深宽比且孔内又是断续的内表面的这类特殊孔。由于很难保证在小孔表面和小孔径深处的尺寸相同，特别是对于高深宽比且孔内又是断续的内表面的这类特殊孔。在人工测量方法中无法判断出测得的值是否是作用于截面的直径。除此之外，精密类零件为满足高精度的配合问隙，其内工作表面的粗糙度也要求很高，即便是平常被人们认为测量精度很高的传感器，也可能因为测量力的存在造成测量误差并有可能划伤零件内孔壁。因此，深小孔类精密零件的高精度、高效、经济的测量就成为一个较难实现的问题。目前作为内径尺寸测量，主要是通过高精度测长机、高精度三坐标测量机进行测量。高精度测长机是接触式比较测量，而且Φ12mm以下孔径的精密的测量，通常采用电眼测量，测针测量，测针测量要探测到工件内部，测针有一定的体积而且有一定的测量力。高精度三坐标也是接触式间接测量的方式进行测量，因此，高精度测长机、高精度三坐标测量机进行小孔测量都属于接触测量，均会产生接触变形，产生测量误差。接触式测量方法的操作误差较大，对深孔的测量不便; 非接触法大多只能测量通孔，且受到小孔端面形貌的影响较大，不能获得小孔任意截面的信息;激光扫描 CCD成像方法国内还没有产品化，造价相对较高，不便于大批量的投入使用。现有技术小孔综合检测装置是由光学分度头、光学检验器等附件配合组成的。一般情况下,由于没有专用仪器和其它更好的测量方法,只能靠工艺来保证小孔尺寸,或者用针插法来测量孔径,但这都不太准确、可靠。对于孔深达4mm的微小孔，由于所测量的微小孔孔径较小，可控光源无法准确地深入孔内，故无法用光干涉原理的方法测量。若采用直接接触式测量方法，虽然探头直径比微小孔内径小，但与其连接的后续部分太大，使得探头无法深入微小孔内部进行直接测量。

发明内容

本实用新型目的是针对现有技术测量方法存在的不足之处，提供了一种结构简单、测量效率高，以高精度光栅尺为长度标准，利用合像瞄准技术，进行绝对测量的非接触式测量装置，以解决一直困扰长度测量的Φ0.1mm～Φ25mm以下的小孔精密测量难题的小孔测量装置。

本实用新型解决其问题所采用的技术方案是：一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，包括：放置工件的微调工作台8及其固定微调工作台8的底座5和通过计算机控制的CCD远心镜头1，其特征在于，首先是找直径最大处，CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，在影像感应器9上刻有一个基准圆弧15，同时在影像感应器9上产生一个基准圆弧15与被测工件2的圆弧边缘影像13相交的长度不一致的两个交点，其中，基准圆弧上交点16、基准圆弧下交点17，通过计算机找正基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点差值≤1μm，即基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点的差值≤1μm时找到了被测工件2直径最大处；然后，消除垂直度误差，由于被测工件2端面与微调工作台8存在不垂直误差,当被测工件2孔壁测量面靠近镜头光轴12时，部分光束因被测工件2中心与镜头光轴12不重合及被测工件2端面与微调工作台8存在不垂直度，光线被被测工件2的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面10反射，反射影像18和边缘影像13通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台8上的三维伺服电机，将反射的影像18和未反射的边缘影像13逐渐调整向光轴12靠近，直到距离22、距离23均等于0时，边缘影像13与反射影像18在光轴12处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点20，计算机控制软件将边缘合像点20作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据在基准点位置时精密光栅尺位置尺寸，得到被测工件2的孔径一个边点的尺寸。同理，被测工件2移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件2的尺寸。

本实用新型相比于现有技术具有如下有益效果。

结构简单。本实用新型采用Y轴移动伺服电机3，水平调整伺服电机4，仪器底座5，X轴移动伺服电机6，X轴向移动工作台7，微调工作台8和CCD远心镜头组成像测量深小孔类孔径的非接触测量装置，相比于现有技术高精度三坐标测量机、高精度测长机结构简单。工件的安装、测量变得非常直观、易于操作，仪器以直接测量方式工作，测量时不需要用标准件比对。采用合像瞄准方法结合CCD远心镜头1对图像采集，通过计算机软件控制，调整微调工作台8及各伺服电机，即可调整工件的X、Y方向的倾斜及工件的水平方向移动，提高了瞄准精度及测量效率，结构简单。实现低成本高回报、操作较简便的检测装置。

测量效率高。本实用新型采用CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，利用合像瞄准技术进行绝对测量的非接触测量的小孔，采用CCD远心镜头1配合Y轴移动伺服电机3，水平调整伺服电机4，微调工作台8，通过计算机控制CCD远心镜头1、水平调整伺服电机4、 X轴移动伺服电机6、X轴向移动工作台7及微调工作台8找正零件得出测量结果，运用CCD远心镜头1像方远心光路，将孔径光阑放置在光学***的物方焦平面上，像方主光线平行于光轴主光线的会聚中心位于物方无限远的像方远心光路,可以消除像方调焦不准引入的测量误差。通过观测被测截面成像的几何关系和调整工作台，保证了被测件处于正确的测量位置上。相比于现有技术接触式测头，光学测头不用找拐点，既减少了测量次数，提高了测量精度。测量内径的端点定位方式,采用合像瞄准。合像的像点20相当于接触式测头的探针，可以“伸到”被测孔内进行测量。将“像点”作为触头与被测面接触，不会产生测量力，更不会损害工件的被测面，可以在测量0～25mm的尺寸时不会产生接触变形，因而提高了测量精度。

测量精度高。本实用新型采用高精度光栅尺，测量范围是0～25mm，分度刻度为0.0005mm，重复精度≤1μm，CCD远心镜头基准圆弧15下基准圆弧下交点上基准圆弧上交点16分别形成相对于被测工件2的圆弧边缘影像13，当被测工件2孔壁测量面靠近镜头光轴12时，部分光束因为被测工件2中心与镜头光轴12不重合及测工件2端面与微调工作台8不垂直，光线因而被被测工件2的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面10反射，反射影像18和边缘影像13通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台8上的三维伺服电机，将反射的影像18逐渐调整向边缘影像13移动，靠近至边缘影像13，直到反射影像18与边缘影像13在光轴12处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点20，计算机控制软件将边缘合像点20作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据记录采集到的边缘像点20基准点位置尺寸，得到被测工件2的孔径一个边点的尺寸。同理，被测工件2移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件2的尺寸，融合了光纤非接触与接触式探头二者的优点,非接触式检测高深宽比小孔内径,并对***的误差进行了分析,

附图说明

图1是本实用新型非接触测量深小孔径尺寸的测量装置。

图2是未找到被测工件2直径最大处时示意图。

图3是图1的CCD远心镜头基准圆弧合像瞄准被测工件2孔后存在垂直度误差时，反射影像18与边缘影像13距离光轴12的示意图。

图4是图1的CCD远心镜头基准圆弧合像瞄准被测工件2后垂直已经消除光路示意图。

图5是图1的CCD远心镜头瞄准被测工件2后如何消除垂直度误差光路示意图。

图中：1CCD远心镜头，2被测工件，3Y轴移动伺服电机，4水平调整伺服电机，5底座，6X轴移动伺服电机，7 X轴向移动工作台，8微调工作台，9影像感应器，10被测工件孔壁面，11瞄准物镜，12镜头光轴，13被测工件2边缘影像，15基准圆弧，16基准圆弧上交点，17基准圆弧下交点，18反射影像，19CC中投影镜头，20边缘合像点，21光源，22反射影像18最高点到基准圆弧中心线距离， 23边缘影像13最高点到基准圆弧中心线距离，24垂直的误差。

具体实施方式

参照图1-图4。在以下描述的一个实例中，一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，包括：放置工件的微调工作台8及其固定微调工作台8的底座5和通过计算机控制的CCD远心镜头1，CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2。按直角坐标系，微调工作台8、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机3和水平调整伺服电机4在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头1光轴，且水平调整伺服电机4受控于计算机。在底座5的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台7，底座5的侧平面上设有控制移动工作台7沿X轴移动的X轴移动伺服电机6。

CCD远心镜头1通过底座5弓形臂正对被测工件2，瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，产生一个基准圆弧15的合像光束，同时产生一个在基准圆弧15的镜头光轴12一侧与基准圆弧相交的长度不一致的交点，基准圆弧通过位于被测工件2上方的弧瞄准物镜11分别形成相对于被测工件2的圆弧边缘影像13。当被测工件2孔壁测量面靠近镜头光轴12时，部分光束因为被测工件2中心与镜头光轴12不重合及测工件2端面与微调工作台8不垂直，光线因而被被测工件2的边缘遮盖，而另一部分光线被孔壁测量面10反射，反射影像18和边缘影像13通过计算机三维位置调整控制软件分别控制微调工作台8上的三维伺服电机，将反射影像18逐渐调整向边缘影像13移动，靠近至边缘影像13，直到反射影像18与边缘影像13圆弧图像在光轴12处相切合成为一个被测尺寸的边缘合像点20，计算机控制软件将边缘合像点20作为此时瞄准的一个长度基准点，并根据记录采集到的边缘像点20基准点位置尺寸，计算得到被测工件2的孔径一个边点的尺寸。同理，被测工件2移动到另一侧时，孔径另一个边点的尺寸也由此方法得到，通过计算得到两点尺寸，因而得到被测工件2的尺寸，在计算机显示屏上得到微小孔内表面的直观图像。

参阅图5。当被测工件2放置在微调工作台8上，非接触测量装置及计算机启动时，CCD远心镜头1通过影像感应器9，观察到被测工件2孔壁反射图像的边缘影像13与反射影像18，CCD远心镜头通过计算机控制软件找测工件2孔径的最大直径。当被测工件2的边缘影像13与CCD远心镜头1的基准圆弧15的基准圆弧上交点16与反射影像18的基准圆弧下交点17前后不一致而不相等时，通过计算机采集影像感应器9基准圆弧上中的基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点17的长度尺寸，通过控制软件控制微调工作台8移动，直到边缘影像13与基准圆弧15的基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点17前后不一致的差值在设定的误差范围内时，通过计算机控制X轴移动伺服电机6和移动工作台7的移动，找正基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点17差值≤1μm，当基准圆弧上交点16与基准圆弧下交点的差值≤1μm时，即找到了被测工件2直径最大处。

当找到了被测工件2直径最大处尺寸后，当被测工件2边缘最高点到达镜头光轴12，边缘影像13最高点到基准圆弧中心线距离23等于0，但是被测工件2端面与微调工作台8不垂直，反射影像18最高点到基准圆弧中心线距离22不等于0时，计算机又发出指令使微调工作台8逐渐旋转，控制微调工作台8，带动被测工件2向镜头光轴12逐渐移动。反射影像18最高点到基准圆弧中心线的距离22逐渐向镜头光轴12移动，在影像感应器9中反射影像18逐渐向光轴12移动，直至基准圆弧中心线距离22等于0，反射影像18与边缘影像13合像为一个点，反射影像18相切于边缘影像13，这时被测工件2端面不垂直度已经消除，计算机记录采集此时的光栅尺位置尺寸，此时计算机软件发出信号，移动被测工件2到另一侧，用同样方法瞄准被测零件的另一面，计算机也记录采集此时的光栅尺位置尺寸，测出两相切点位置尺寸，计算得到被测工件2的尺寸。

Claims (2)

1.一种非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，包括：放置工件的微调工作台（8）及其固定微调工作台（8）的底座（5）和通过计算机控制的CCD远心镜头（1），其特征在于，在底座（5）的上端平面上设有沿X轴方向滑移的移动工作台（7），底座（5）的侧平面上设有控制移动工作台（7）沿X轴移动的X轴移动伺服电机（6），按直角坐标系，微调工作台（8）、两个轴线互为垂直的Y轴移动伺服电机（3）和水平调整伺服电机（4）在水平方向它们的轴线相交于坐标原点，坐标原点Z向轴线重合于CCD远心镜头（1）光轴，且水平调整伺服电机（4）受控于计算机；CCD远心镜头（1）通过底座（5）弓形臂正对被测工件（2），瞄准深小孔，将合像光束“伸入”被测孔内表面进行测量，并设有一个刻有基准圆弧（15）的影像感应器（9），影像感应器（9）产生的基准圆弧（15）与被测工件（2）的圆弧边缘影像（13）相交的长度不一致的两个交点。

2.如权利要求1所述的非接触测量深小孔径尺寸的测量装置，其特征在于：CCD远心镜头（1）通过底座（5）弓形臂正对被测工件（2），瞄准深小孔，产生一个基准圆弧（15）的合像光束，同时产生一个在基准圆弧（15）的镜头光轴（12）一侧与基准圆弧相交的长度不一致的交点，基准圆弧（15）通过位于被测工件（2）上方的弧瞄准物镜（11），分别形成相对于被测工件（2）的圆弧边缘影像（13）。