CN206624840U - 一种多晶硅切割液回收再利用*** - Google Patents
一种多晶硅切割液回收再利用*** Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及水处理的技术领域,特别地涉及一种多晶硅切割液回收再利用***。一种多晶硅切割液回收再利用***,板框压滤机的板框压滤液出口与物料循环罐的进料口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口的管路上还设有循环泵,管式超滤膜的浓缩液出口与物料循环罐的进料口通过管道相连,管式超滤膜的透过液出口与清液罐通过管道相连,物料循环罐的出料口还通过管道与板框压滤机的板框压滤液进口相连。本实用新型提供了一种多晶硅切割液回收再利用***,解决了切割液无法实现零排放,其中的硅粉、冷却液无法进行百分百回收再利用的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及水处理领域,特别地涉及一种多晶硅切割液回收再利用***。
背景技术
多晶硅切割液主要成分是硅粉、纯水和少量的金刚石粉末、切割冷却剂(PEG)。现阶段的多晶硅切割液的主要处理方法分为两种:第一种方法,多晶硅切割液先通过板框压滤***将切割液中的硅粉、金刚粉及一些固体杂质压缩成块状回收,滤液直接排往污水站统一处理。第二种方法,多晶硅切割液先经过过滤,软化处理,然后经过微滤膜和超滤膜的过滤处理,得到的过滤液在经过蒸馏提纯,之后回收再利用。
第一种方法存在的问题,排掉的污水中仍含有少量的硅粉和金刚粉,其中还有很高价值的切割冷却液,而且排放的污水生化性较差,影响后续污水处理过程。第二种方法存在的问题,工艺流程复杂,建设、运行成本太高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是:为了解决现有的切割液通过板框压滤机过滤后滤液直接排往污水站,无法实现切割液零排放,切割液中的硅粉、冷却液无法进行百分百回收再利用的问题,本实用新型提供了一种多晶硅切割液回收再利用***,通过板框过滤压缩***的处理可以回收切割液中95%的硅粉,再通过管式超滤膜***将硅粉浓缩液回到板框过滤压缩***循环处理实现多晶硅切割液的零排放,硅粉和冷却液百分百回收,消除了污水后期再处理环节。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种多晶硅切割液回收再利用***,包括:板框压滤机、物料循环罐,循 环泵、管式超滤膜和用于回收冷却液的清液罐,板框压滤机的板框压滤液出口与物料循环罐的进料口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口的管路上还设有循环泵,管式超滤膜的浓缩液出口与物料循环罐的进料口通过管道相连,管式超滤膜的透过液出口与清液罐通过管道相连,物料循环罐的出料口还通过管道与板框压滤板框压滤机的板框压滤液进口相连。
作为优选,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口的管路上依次设有第一压力表、第一调节阀和温度表,管式超滤膜的浓缩液出口与物料循环罐的进料口的管路上依次设有第二流量计、第二压力表和第二调节阀,管式超滤膜的浓缩液出口与物料循环罐的进料口的管路上设有第一流量计。
作为优选,管式超滤膜的直径为8-12.5mm,长度为1000-3600mm。
作为优选,物料循环罐、清液罐的形状为圆柱体。
作为优选,物料循环罐、清液罐的大小为4m3-12m3。
作为优选,物料循环罐的进料口设有常开阀。
作为优选,物料循环罐的出料口设有换向阀。
本实用新型的优点如下:
通过建立板框过滤压缩***和管式超滤膜***,可以将多晶硅切割液中的硅粉和切割冷却液分离开来,硅粉和切割冷却液回收再利用。通过板框过滤压缩***和管式超滤膜***的处理,可以实现多晶硅切割液的零排放,消除了污水后期再处理环节,不但降低污水处理的成本,而且还能够减少环境污染,同时实现切割冷却液和硅粉的回收再利用,从而降低了多晶硅切割液的前期经济投入,为企业节约了生产成本,实现了经济价值和环境的保护的意义。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型一种多晶硅切割液回收再利用***的示意图;
图中:1.板框压滤机,11.第一进料口,12.第一出料口,2.物料循环罐,3.循环泵,4.第一压力表,5.第一调节阀,6.温度表,7.管式超滤膜,8.清液罐;9.第一流量计10.第二流量计;11.第二压力表,12.第二调节阀,13.常开阀,14.换向阀。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示,本实用新型提供了一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于包括:
板框压滤机1、物料循环罐2,循环泵3、管式超滤膜7和用于回收冷却液的清液罐8,板框压滤机1的板框压滤液出口与物料循环罐2的进料口通过管道相连,物料循环罐2的出料口与管式超滤膜7的原液进口通过管道相连,物料循环罐2的出料口与管式超滤膜7的原液进口的管路上还设有循环泵3,管式超滤膜7的浓缩液出口与物料循环罐2的进料口通过管道相连,管式超滤膜7的透过液出口与清液罐8通过管道相连,物料循环罐2的出料口还通过管道与板框压滤板框压滤机1的板框压滤液进口相连。
作为优选,从切线车间收集多晶硅切割液通入板框压滤机1的压缩液进口,通过板框压滤机1压缩将多晶硅切割液中95%以上的硅粉压缩成固体回收,压缩后的滤液从物料循环罐2的进料口进入物料循环罐2,待收集至一定量的时候,物料循环罐2的出料口的换向阀14开启,滤液从物料循环罐2的出料口流出, 循环泵3运行提供一定的压力,压缩后的滤液从管式超滤膜7的原液口进入管式超滤膜7,在一定压力的作用下,一些未能被压缩的硅粉等固体杂质被管式超滤膜7截留住浓缩到一定倍数后变成浓缩液,浓缩液从管式超滤膜7的浓缩口流出通过物料循环罐2的进料口返回至物料循环罐2,再流出物料循环罐2的出料口并通过板框压滤机1的压缩液进口进入板框压滤机1进行循环处理,再一次进行固体硅粉回收,从而实现零排放,压缩后的滤液中如切割冷却液等有效成分被管式超滤膜7分离通过管式超滤膜7的透过液出口流入清液罐8中回收,满足回用效果。
具体地,通过建立板框过滤机1和管式超滤膜7,可以将多晶硅切割液中的硅粉和切割冷却液分离开来,硅粉和切割冷却液回收再利用。通过板框过滤机1和管式超滤膜7的处理,可以实现多晶硅切割液的零排放,消除了污水后期再处理环节,不但降低污水处理的成本,而且还能够减少环境污染,同时实现切割冷却液和硅粉的回收再利用,从而降低了多晶硅切割液的前期经济投入,为企业节约了生产成本,实现了经济价值和环境的保护的意义。
在一种具体实施方式中,物料循环罐2的出料口与管式超滤膜7的原液进口的管路上依次设有第一压力表4、第一调节阀5和温度表6,管式超滤膜7的浓缩液出口与物料循环罐2的进料口的管路上依次设有第二流量计10、第二压力表11和第二调节阀12,管式超滤膜7的浓缩液出口与物料循环罐2的进料口的管路上设有第一流量计9。
具体地,第一压力表4和第二压力表11用于分别观察管式超滤膜7原液口和管式超滤膜7的浓缩口处压力大小,第一流量计9和第二流量计10用于分别观察管式超滤膜7的滤出液口处和管式超滤膜7的浓缩口处的流量,温度表6用于观察物料温度,第一调节阀5和第二调节阀12控制管式超滤膜7的原液口 处和管式超滤膜7的浓缩口处的压力。
在一种实施例中,管式超滤膜7的直径为8-12.5mm,长度为1000-3600mm。
具体地,管式超滤膜7的直径为12.5mm,长度为3600mm。
在一种实施例中,物料循环罐2、清液罐8的形状为圆柱体。
具体地,圆柱形的物料循环罐2和清液罐8四周受力均匀,比较耐用,便于清扫,且同样的材料可以做成更大的体积来盛放更多的物料。
在一种实施例中,物料循环罐2、清液罐8的大小为4m3-12m3。
具体地,物料循环罐2、清液罐8的大小为8m3,物料循环罐2、清液罐8的大小为8m3。
在一种实施例中,管式超滤膜7的操作压力为0.2MPa-0.6MPa。
具体地,管式超滤膜7的原液口的操作压力为0.5MPa,管式超滤膜7的浓缩口的操作压力为0.25MPa。
在一种实施例中,物料循环罐2的进料口设有常开阀13。
在一种实施例中,物料循环罐2的出料口设有换向阀14。
具体地,刚开始打开第一调节阀5,换向阀14通向管式超滤膜7的一边,使得压缩液经过管式超滤膜7后硅粉浓缩液被保留,等到一定浓度的时候,第二调节阀12打开,浓缩液流入物料循环罐2,换向阀14通向板框压滤机1的一边,使得浓缩液回到板框压滤机中重新处理。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (7)
1.一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于包括:
板框压滤机(1)、物料循环罐(2),循环泵(3)、管式超滤膜(7)和用于回收冷却液的清液罐(8),所述板框压滤机(1)的板框压滤液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口的管路上还设有循环泵(3),所述管式超滤膜(7)的浓缩液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述管式超滤膜(7)的透过液出口与清液罐(8)通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口还通过管道与板框压滤机(1)的板框压滤液进口相连。
2.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口的管路上依次设有第一压力表(4)、第一调节阀(5)和温度表(6),所述管式超滤膜(7)的浓缩液出口与物料循环罐(2)的进料口的管路上依次设有第二流量计(10)、第二压力表(11)和第二调节阀(12),所述管式超滤膜(7)的浓缩液出口与物料循环罐(2)的进料口的管路上设有第一流量计(9)。
3.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述管式超滤膜(7)的直径为8-12.5mm,长度为1000-3600mm。
4.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述物料循环罐(2)、清液罐(8)的形状为圆柱体。
5.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述物料循环罐(2)、清液罐(8)的大小为4m3-12m3。
6.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述物料循环罐(2)的进料口设有常开阀(13)。
7.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用***,其特征在于:所述物料循环罐(2)的出料口设有换向阀(14)。
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