CN206599606U - 一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机 - Google Patents
一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤指一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机;所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔和安装在镀膜机腔内的镀膜治具和导轨,所述的镀膜治具安装在导轨上方;所述的镀膜治具主要包括六个治具分体,通过公转连接件与镀膜机腔的旋转件连接后安装在镀膜机腔内,治具分体包括旋转横杆和产品安装支架,旋转横杆一端贯穿公转连接件的通孔安装在公转连接件上,另外一端安装有滚轮,滚轮放置在圆周形导轨上表面;本实用新型结构简单,利用镀膜治具同时进行公转和自转的转动方式,使得待镀膜产品在镀膜机上实现多方位的旋转,让待镀膜产品表面积有效接触蒸发源所发出的材质,实现边缘五面的镀膜,并保证镀膜的均匀性。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤指一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机。
背景技术
真空蒸发镀膜是在真空条件下,用蒸发器加热蒸发物质使之汽化,蒸发粒子流直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸镀是物理气相沉积(PVD)技 术中发展最早、应用较为广泛的镀膜技术,尽管后来发展起来的溅射镀和离子镀在许多方面比蒸镀优越,但真空蒸发镀膜技术仍有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,即可沉积非常纯净的膜层,又可制备具有特定结构和性质的膜层等,仍然是当今非常重发的镀膜技术;近年来,由于电子轰击蒸发、高频感应蒸发以及激光蒸 发等技术在蒸发镀膜技术中的广泛应用,使这一技术更趋完善;目前,除小型镀膜治具或特殊形状镀膜治具外,常用的大型镀膜治具为伞形,伞形比平面的镀膜治具面积更大,而分布在治具表面镀膜产品量相应增大,但是,伞形治具由于伞形具有一定倾斜度,镀膜产品在伞形治具表面的位置各不相同,因此所涂覆的膜层厚度也各不相同,影响膜层的均匀性,同时还会导致镀膜产品的边缘、棱角处无法完全沉积膜层,直接影响镀膜效果,比如一块面板用于镀膜,面板固定于伞具上,虽然镀膜中伞具有在旋转,但因为蒸发源所发出的材质类似于投影机发出的光,镀到产品的表面,而产品的边缘因为有些无法接触到蒸发源所发出的材质,所以镀膜完成后会出现产品边缘有些可镀到膜有些无法镀到膜的现象;为解决以上问题,中国专利号为201410488795.5的一种可自转公转的仿行星式镀膜治具及其使用方法,公开了一种真空镀膜机,但是该真空镀膜机在批量产品镀膜上优势不大,而且不能实现产品的各个表面和棱角边缘也能顺利涂覆上膜层。
发明内容
为了解决批量镀膜和各个面均匀镀膜的问题,本实用新型旨在提供一种蒸发镀膜机,尤指一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机。
本实用新型采用的技术方案是:一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔和安装在镀膜机腔内的镀膜治具和导轨,所述的镀膜治具安装在导轨上方。
所述的镀膜机腔横截面为椭圆形,顶部设置有旋转件;所述的导轨为圆周形导轨。
所述的镀膜治具主要包括六个治具分体,通过公转连接件与镀膜机腔的旋转件连接后安装在镀膜机腔内,公转连接件为圆柱体状,上部与旋转件连接,下部外侧面开设有六个均布的通孔,六个治具分体分别安装在公转连接件的通孔上;治具分体包括旋转横杆和产品安装支架,旋转横杆一端贯穿公转连接件的通孔安装在公转连接件上,另外一端安装有滚轮,滚轮放置在圆周形导轨上表面。
所述的产品安装支架主要包括旋转连接环、支杆和产品固定板,旋转连接环圆周外表面均设有通孔,旋转横杆贯穿连旋转接环后,一端安装在公转连接件上的通孔里,有滚轮一端放置在导轨上表面,支杆均布安装在旋转连接环的圆周外表面,产品固定板安装在支杆末端。
所述的产品安装支架分为小号支架、中号支架和大号支架。
所述的小号支架的连接环上均布有八个通孔,分别安装有八根支杆,八根支杆的末端分别安装有产品固定板。
所述的中号支架的连接环上均布有十二个通孔,分别安装有十二根支杆,十二根支杆的末端分别安装有产品固定板。
所述的大号支架的连接环上均布有十六个通孔,分别安装有十六根支杆,十六根支杆的末端分别安装有产品固定板。
所述的治具分体呈圆锥伞形,其中小号支架安装在旋转横杆左侧靠近公转连接件一端,中号支架安装在在旋转横杆中部,大号支架安装在旋转横杆右侧靠近滚轮一端。
所述的产品固定板上可设置有吸盘,通过吸盘固定安装待镀膜产品。
本实用新型的有益效果是:本实用新型结构简单,利用镀膜治具同时进行公转和自转的转动方式,使得待镀膜产品在镀膜机上实现多方位的旋转,让待镀膜产品表面积有效接触蒸发源所发出的材质,实现边缘五面的镀膜,并保证镀膜的均匀性,同时圆锥伞形的治具分体中的三个不同数量和尺寸的产品安装支架配合设置增大了伞具的表面积,实现了待镀膜产品的灵活放置性, 在一定程度上增加了每炉镀膜机产品的放置数量,提高了产能。
附图说明
图1是本实用新型的立体结构示意图。
图2是本实用新型的分解结构示意图。
图3是本实用新型中镀膜治具的俯视结构示意图。
图4是本实用新型在图3中A的局部放大结构示意图。
图5是本实用新型中镀膜治具中的立体结构示意图。
附图标注说明:1-镀膜机腔,2-镀膜治具,3-导轨,11-旋转件,4-治具分体,5-公转连接件,41-旋转横杆,42-产品安装支架,411-滚轮,421-连接环,422-支杆,423-产品固定板,424-小号支架,425-中号支架,426-大号支架,6-蒸发源,7-待镀膜产品。
具体实施方式
下面结合说明书附图详细说明本实用新型的具体实施方式:
一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔1和安装在镀膜机腔1内的镀膜治具2和导轨3,所述的镀膜治具2安装在导轨3上方。
所述的镀膜机腔1横截面为椭圆形,顶部设置有旋转件11;所述的导轨3为圆周形导轨3。
所述的镀膜治具2主要包括六个治具分体4,通过公转连接件5与镀膜机腔1的旋转件11连接后安装在镀膜机腔1内,公转连接件5为圆柱体状,上部与旋转件11连接,下部外侧面开设有六个均布的通孔,六个治具分体4分别安装在公转连接件5的通孔上;治具分体4包括旋转横杆41和产品安装支架42,旋转横杆41一端贯穿公转连接件5的通孔安装在公转连接件5上,另外一端安装有滚轮411,滚轮411放置在圆周形导轨3上表面。旋转件11驱动公转连接件5在竖直方向上转动,公转连接件5带动旋转横杆41的滚轮411在圆周形导轨3上做圆周运动,实现公转。
所述的产品安装支架42主要包括旋转连接环421、支杆422和产品固定板423,旋转连接环421圆周外表面均设有通孔,旋转横杆41贯穿连旋转接环后,一端安装在公转连接件5上的通孔里,有滚轮411一端放置在导轨3上表面,支杆422均布安装在旋转连接环421的圆周外表面,产品固定板423安装在支杆422末端;由于旋转横杆41的转动,带动旋转连接环421以旋转横杆41为转轴进行自转,旋转连接环421带动支杆422和产品固定板423以旋转横杆41为转轴进转动,实现自转。
所述的治具分体4呈圆锥伞形,其中小号支架424安装在旋转横杆41左侧靠近公转连接件5一端,中号支架425安装在在旋转横杆41中部,大号支架426安装在旋转横杆41右侧靠近滚轮411一端;小号支架424的连接环421上均布有八个通孔,分别安装有八根支杆422,八根支杆422的末端分别安装有产品固定板423,产品固定板423上可设置有吸盘,通过吸盘固定分别安装待镀膜产品7;中号支架425的连接环421上均布有十二个通孔,分别安装有十二根支杆422,十二根支杆422的末端分别安装有产品固定板423,产品固定板423上可设置有吸盘,通过吸盘固定分别安装待镀膜产品7;大号支架426的连接环421上均布有十六个通孔,分别安装有十六根支杆422,十六根支杆422的末端分别安装有产品固定板423,产品固定板423上可设置有吸盘,通过吸盘固定分别安装待镀膜产品7,所以每个治具分体4上可安装三十六片待镀膜产品7,整个镀膜治具2上可实现二百一十六片的大批量待镀膜产品7进行蒸发镀膜工艺。
将待镀膜产品7分别安装在产品固定板423上后,启动本实用新型,蒸发源6从下往上蒸发,旋转件11驱动公转连接件5在竖直方向上转动,公转连接件5带动旋转横杆41的滚轮411在圆周形导轨3上做圆周运动,使得治具分体4以公转连接件5为转轴实现待镀膜产品7的圆周式公转,同时,由于旋转横杆41的转动,带动旋转连接环421以旋转横杆41为转轴进行自转,旋转连接环421带动支杆422和产品固定板423以旋转横杆41为转轴进转动,即小号支架424、中号支架425和大号支架426分别带动待镀膜产品7实现以旋转横杆41为转轴的自转;本实用新型结构简单,利用镀膜治具2同时进行公转和自转的转动方式,使得待镀膜产品7在镀膜机上实现多方位的旋转,让待镀膜产品7表面积有效接触蒸发源6所发出的材质,实现边缘五面的镀膜,并保证镀膜的均匀性,同时圆锥伞形的治具分体4中的三个不同数量和尺寸的产品安装支架42配合设置增大了伞具的表面积,实现了待镀膜产品7的灵活放置性, 在一定程度上增加了每炉镀膜机产品的放置数量,提高了产能。
Claims (8)
1.一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,所述的镀膜机主要包括真空镀膜机腔和安装在镀膜机腔内的镀膜治具和导轨,所述的镀膜治具安装在导轨上方,其特征在于:
所述的镀膜机腔横截面为椭圆形,顶部设置有旋转件;所述的导轨为圆周形导轨;
所述的镀膜治具主要包括六个治具分体,通过公转连接件与镀膜机腔的旋转件连接后安装在镀膜机腔内,公转连接件为圆柱体状,上部与旋转件连接,下部外侧面开设有六个均布的通孔,六个治具分体分别安装在公转连接件的通孔上;治具分体包括旋转横杆和产品安装支架,旋转横杆一端贯穿公转连接件的通孔安装在公转连接件上,另外一端安装有滚轮,滚轮放置在圆周形导轨上表面。
2.根据权利要求1所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的产品安装支架主要包括旋转连接环、支杆和产品固定板,旋转连接环圆周外表面均设有通孔,旋转横杆贯穿连旋转接环后,一端安装在公转连接件上的通孔里,有滚轮一端放置在导轨上表面,支杆均布安装在旋转连接环的圆周外表面,产品固定板安装在支杆末端。
3.根据权利要求1所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的产品安装支架分为小号支架、中号支架和大号支架。
4.根据权利要求3所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的小号支架的连接环上均布有八个通孔,分别安装有八根支杆,八根支杆的末端分别安装有产品固定板。
5.根据权利要求3所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的中号支架的连接环上均布有十二个通孔,分别安装有十二根支杆,十二根支杆的末端分别安装有产品固定板。
6.根据权利要求3所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的大号支架的连接环上均布有十六个通孔,分别安装有十六根支杆,十六根支杆的末端分别安装有产品固定板。
7.根据权利要求1所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的治具分体呈圆锥伞形,其中小号支架安装在旋转横杆左侧靠近公转连接件一端,中号支架安装在在旋转横杆中部,大号支架安装在旋转横杆右侧靠近滚轮一端。
8.根据权利要求4-6任一项所述的一种实现五面镀膜的蒸发镀膜机,其特征在于:所述的产品固定板上可设置有吸盘,通过吸盘固定安装待镀膜产品。
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