CN206359658U - 一种高效型铸锭炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，具体涉及一种高效型铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨护罩侧边设有侧部加热器，所述石墨护罩底部设置有热交换平台，所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。本实用新型使得对硅液中心加热和散热效果好，坩埚内部的硅液水平方向上温差变小，加热更加均匀，提高了铸锭效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产设备领域，具体涉及一种高效型铸锭炉。
背景技术
目前，多晶硅铸锭工艺中，由于侧部加热器与石英坩埚相对不动，侧部加热器对石英坩埚一直处在加热状态，这样就使得石英坩埚内部中心处的硅液的温度低于坩埚侧部处温度，使得中心处硅液先于侧部凝固，从而得到的固液界面都是凸形，温度梯度差别较大，很难得到较为水平的固液界面。 得到的硅锭将会把上端杂质切除，凸形硅锭的成品切除率比较高，从而影响了铸锭的出成率。 同时，由于难以达到温度的横向均匀分布，所以很不利于晶体的均匀化生长。同时，在多晶铸锭炉中的坩埚底部设置有平板状的热交换台，这种热交换台，由于散热不均，长晶过程中会出现凸形晶面，并形成位错，沉积杂质，影响了多晶硅品质。
发明内容
本实用新型的目的是提供加热时坩埚内部水平方向温度较为均匀的铸锭炉，加热效果好，多晶硅品质高。
为解决上述技术问题，本实用新型的目的是这样实现的：
一种高效型铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨护罩侧边设有侧部加热器，所述石墨护罩底部设置有热交换平台，所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。
在上述方案的基础上并作为上述方案的优选方案：所述石墨护罩上设置有若干个分别与顶部加热器和侧部加热器相对应的通孔。
本实用新型的有益效果是：由于顶部加热器中部呈向下凸出状的凹型结构使得对硅液中心加热效果好，使其温度接近于硅液侧部温度，凸形固液界面逐渐趋于平整固液界面，提高了铸锭效率。同时石墨护罩上通孔的设计是使得加热效果更好，加热速度快。热交换平台中间厚四周薄的结构使得散热更加均匀，避免了长晶过程中出现凸形晶面，提高了生产的质量和生产效率。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型进一步说明。
如图1所示，一种高效型铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体1，炉体1上设置有抽气孔2，炉体内设置有保温罩3，保温罩内部设有坩埚4、对应所述坩埚的石墨护罩5，所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器6，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，顶部加热器的凹型结构使得对硅液中心加热效果好，使其温度接近于硅液侧部温度，凸形固液界面逐渐趋于平整固液界面，提高了铸锭效率。所述石墨护罩侧边设有侧部加热器7，所述石墨护罩上设置有若干个分别与顶部加热器和侧部加热器相对应的通孔10，加快热传递，提高加热的效率。所述石墨护罩底部设置有热交换平台8，所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背，热交换平台中间厚四周薄的结构使得散热更加均匀，避免了长晶过程中出现凸形晶面，提高了生产的质量；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱9支撑。
以上详细描述了本实用新型的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本实用新型的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本实用新型的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (2)
1.一种高效型铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体，炉体上设置有抽气孔，炉体内设置有保温罩，保温罩内部设有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩，其特征在于：所述石墨护罩顶部设置有顶部加热器，所述顶部加热器中部呈向下凸出状，所述石墨护罩侧边设有侧部加热器，所述石墨护罩底部设置有热交换平台，所述热交换平台呈凸型并且热交换平台凸起的一面与石墨护罩底部相背；所述保温罩以及热交换平台通过设置在炉体底部的石墨支柱支撑。
2.根据权利要求1所述的高效型铸锭炉，其特征在于：所述石墨护罩上设置有若干个分别与顶部加热器和侧部加热器相对应的通孔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201621287247.7U CN206359658U (zh) | 2016-11-28 | 2016-11-28 | 一种高效型铸锭炉 |
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| CN201621287247.7U CN206359658U (zh) | 2016-11-28 | 2016-11-28 | 一种高效型铸锭炉 |
Publications (1)
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| CN206359658U true CN206359658U (zh) | 2017-07-28 |
Family
ID=59372423
Family Applications (1)
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| CN201621287247.7U Expired - Fee Related CN206359658U (zh) | 2016-11-28 | 2016-11-28 | 一种高效型铸锭炉 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN206359658U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109371459A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-02-22 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种改善熔体温度梯度的阶梯状加热器 |
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2016
- 2016-11-28 CN CN201621287247.7U patent/CN206359658U/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN109371459A (zh) * | 2018-12-21 | 2019-02-22 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种改善熔体温度梯度的阶梯状加热器 |
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Legal Events
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Granted publication date: 20170728 Termination date: 20181128 |