CN206337308U - 靶材喷涂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新公开了一种靶材喷涂装置，它包括靶材转台、行走机构、喷***座、喷枪和PLC控制器，所述靶材转台装置在地面上，所述行走机构平行装置在靶材转台的一侧，行走机构顶部安装喷***座，所述喷枪安装在喷***座上，所述PLC控制器分别与靶材转台、行走机构和喷枪连接。本实用新型通过PLC控制器控制靶材转台的轴向及径向的旋转速度和移动速度、定位行走机构顶部喷***座的准确位置、确定喷枪的喷涂量，在PLC控制器的控制下，使工件轴向及径向移动速度、喷枪的喷涂量以及行走机构的位置均可以精确调控。

Description

靶材喷涂装置

技术领域

本实用新型涉及喷涂装置，尤其是一种靶材喷涂装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜***在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长激光与不同靶材相互作用时，会产生不同杀伤破坏效应。

现有的靶材喷涂装置，大多是喷枪固定于转台的机座上，喷枪和转台同属于一个设备。喷枪固定，待喷涂的工件在转台内旋转，以实现喷涂效果。此方法对于喷涂的位置有时出现定位不准问题，未能在需要喷涂的位置准确喷涂，导致非有效喷涂，成品合格率大大降低，浪费了大量的人力和物力。此外，传统的方法还常出现喷涂粉料的用量不精确，喷涂量时大时小，加工的工件往往出现喷涂不均匀，即使同一批次的加工工件，有的使用粉料多，图层厚，有的使用粉料少，图层薄，喷涂量存在较大差别，工件的加工效果大多不够理想。

实用新型内容

为了解决现有技术问题，本实用新公开了一种靶材喷涂装置，它包括靶材转台、行走机构、喷***座、喷枪和PLC控制器，所述靶材转台装置在地面上，所述行走机构平行装置在靶材转台的一侧，行走机构顶部安装喷***座，所述喷枪安装在喷***座上，所述PLC控制器分别与靶材转台、行走机构和喷枪连接。

进一步地，所述靶材转台包括工作台、第一伺服电机、轴支座、轴向三爪卡盘和安装座，所述安装座安装在工作台一端，所述第一伺服电机通过轴支座安装在安装座上，所述轴向三爪卡盘通过安装在轴支座上与第一伺服电机连接。

进一步地，所述第一伺服电机与PLC控制器连接。

进一步地，还包括导轨、第二伺服电机、径向三爪卡盘和滑动座，所述导轨纵向安装在工作台上，所述滑动座安装在导轨上，所述第二伺服电机安装在滑动座上，所述径向三爪卡盘安装在第二伺服电机上。

进一步地，所述第二伺服电机与PLC控制器连接。

进一步地，所述行走机构包括支架、轴承座、滑台丝杠、导轨、控制柜、电机和滑台底座，所述导轨安装在支架上，所述滑台底座安装在导轨上，且滑台底座上还穿装有滑台丝杠，所述滑台丝杠两端通过轴承座固定在支架上，并与导轨平行，所述电机安装在滑台丝杠的一端，所述控制柜安装在支架下部，并与电机连接。

进一步地，所述滑台底座上安装有喷***座。

进一步地，所述控制柜还与PLC控制器连接。

进一步地，所述喷枪通过气管与气源连接。

进一步地，所述喷枪通过送粉管与送粉器连接。

本实用新型的有益效果在于，PLC控制器控制靶材转台轴向及径向的旋转速度和移动速度、定位行走机构上喷***座的位置、确定喷枪的喷涂量。加工工件过程中需要精确定量、准确定位的部件均由PLC控制器管理与控制，使其喷涂的工件加工均匀、致密，喷涂质量提高，加工工艺更加精细，所喷涂的工件更能符合市场的需求，由于本实用新型的靶材喷涂装置相对于传统靶材喷涂装置的自动化程度更高，操作简便，更能解放劳动力，操作员只需在控制输入设定值，监控实时数值，即可完成操作。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型靶材转台结构示意图；

图3是本实用新型行走机构结构示意图；

图例：1.靶材转台；10.工作台；11.第一伺服电机；12.轴支座；13.轴向三爪卡盘；14.转台导轨；15.第二伺服电机；16.径向三爪卡盘；17.滑动座；18.安装座；19.转台丝杠；2.行走机构；20.支架；21.轴承座；22.滑台丝杠；23.滑台导轨；24.控制柜；25.电机；26.滑台底座；3.喷***座；4.喷枪；5.PLC控制器。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步说明，但不局限于说明书上的内容。

本实用新型公开了一种靶材喷涂装置。适用于冷喷涂，也用于热喷涂。

一种靶材喷涂装置，它包括靶材转台1、行走机构2、喷***座3、喷枪4和PLC控制器5，所述靶材转台1装置在地面上，所述行走机构2平行装置在靶材转台1的一侧，行走机构2顶部安装喷***座3，所述喷枪4安装在喷***座3上，喷枪4通过气管与气源连接，喷枪4还通过送粉管与送粉器连接，所述PLC控制器5分别与靶材转台1、行走机构2和喷枪4连接。

所述靶材转台1包括工作台10、第一伺服电机11、轴支座12、轴向三爪卡盘13、转台导轨14、第二伺服电机15、径向三爪卡盘16、滑动座17和安装座18，所述安装座18安装在工作台10一端，所述第一伺服电机11通过轴支座12安装在安装座18上，并与PLC控制器5连接，所述轴向三爪卡盘13通过安装在轴支座12上与第一伺服电机11连接，轴向三爪卡盘13将工件的顶端夹紧，PLC控制器5控制第一伺服电机11带动轴向三爪卡盘13转动，从而使加工工件轴向旋转；所述转台导轨14安装在安装座18与工作台10另一端之间，所述滑动座17安装在转台导轨14上，所述第二伺服电机15安装在滑动座17上，并与PLC控制器5连接，所述径向三爪卡盘16安装在第二伺服电机15上，径向三爪卡盘16将加工工件的尾端固定，PLC控制器5控制第二伺服电机15带动径向三爪卡盘16径向旋转，滑动座17还穿装有转台丝杠19，所述转台导轨14两端安装有限位器，用于防止滑动座17滑出转台丝杠19，起到保护作用。

所述行走机构2包括：支架20、轴承座21、滑台丝杠22、滑台导轨23、控制柜24、电机25和滑台底座26，所述滑台导轨23安装在支架20上，所述滑台底座26安装在滑台导轨23上，且滑台底座26上还穿装有滑台丝杠22，所述滑台丝杠22两端通过轴承座21固定在支架20上，并与导轨22平行，所述电机25安装在滑台丝杠22的一端，所述控制柜24安装在支架20下部，并分别连接PLC控制器5与电机25，所述滑台底座26上安装有喷***座3。

所述喷枪4安装在喷***座3上，喷枪安装有气管和送粉管。

本实用新型，克服目前传统的靶材喷涂装置定位不准，喷涂量不够精确的问题，可实现准确定位及精确喷涂量。

使用时，例如需要喷涂圆柱工件：首先，通过轴向三爪卡盘13夹紧圆柱工件的一端，使圆柱工件固定在工作区内，第一伺服电机11带动轴向三爪卡盘13轴向旋转，第二伺服电机15带动径向三爪卡盘16径向旋转，操作员根据工件尺寸选定工件转速，启动PLC控制器5，在PLC控制器5上设置转速，计算的匀速旋转速度确保喷涂均匀，在PLC控制器5上设置行走机构2上喷***座3的位置，启动置于喷***座上的喷枪4，在PLC控制器5上设置喷枪喷射粉料的使用量。

此外，本实用新型公开的一种靶材喷涂装置，还可以结合专有的喷涂间及除尘设备共同使用。喷涂间为一个封闭的操作环境，喷涂间吸尘口出口端与除尘设备连接。喷涂间包括：控制柜、触摸屏、空压机、储气罐、氮气集装格、冷干机、电力柜和汇流排支架。除尘设备包括：一级除尘和二级除尘；二级高精度过滤设备，采用直立滤筒式除尘机,一级初过滤设备，采用旋风除尘机,滤芯采用统一直径规格，长度自行设计,自动脉冲逆洗控制，离线延时反吹,采用美国进口DWYER压差显示表,粉尘排放量标准小于等于30mg/ m3，达到地方环保标准，同时达到国家、地方相关岗位粉尘法律规定（行业）标准,功率负荷较小，长久运转节省电力成本,复合材质滤材有较长使用寿命，减低运行成本,含粉位计检测及声光报警装置。

如果本实用新型能够结合密闭的喷涂间及除尘设备共同使用，还可改善操作环境，减少环境污染，有益于操作员的身体健康。

显然，本实用新型的上述实施方式仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还做出其它不同形式的变化或变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本实用新型的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之列。

Claims (10)

1.一种靶材喷涂装置，其特征在于：它包括靶材转台（1）、行走机构（2）、喷***座（3）、喷枪（4）和PLC控制器（5），所述靶材转台（1）装置在地面上，所述行走机构（2）平行装置在靶材转台（1）的一侧，行走机构（2）顶部安装喷***座（3），所述喷枪（4）安装在喷***座（3）上，所述PLC控制器（5）分别与靶材转台（1）、行走机构（2）和喷枪（4）连接。

2.根据权利要求1所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述靶材转台（1）包括工作台（10）、第一伺服电机（11）、轴支座（12）、轴向三爪卡盘（13）和安装座（18），所述安装座（18）安装在工作台（10）一端，所述第一伺服电机（11）通过轴支座（12）安装在安装座（18）上，所述轴向三爪卡盘（13）通过安装在轴支座（12）上与第一伺服电机（11）连接。

3.根据权利要求2所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述第一伺服电机（11）与PLC控制器（5）连接。

4.根据权利要求2所述的靶材喷涂装置，其特征在于：还包括导轨（14）、第二伺服电机（15）、径向三爪卡盘（16）和滑动座（17），所述导轨（14）纵向安装在工作台（10）上，所述滑动座（17）安装在导轨（14）上，所述第二伺服电机（15）安装在滑动座（17）上，所述径向三爪卡盘（16）安装在第二伺服电机（15）上。

5.根据权利要求4所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述第二伺服电机（15）与PLC控制器（5）连接。

6.根据权利要求1所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述行走机构（2）包括支架（20）、轴承座（21）、滑台丝杠（22）、导轨（23）、控制柜（24）、电机（25）和滑台底座（26），所述导轨（23）安装在支架（20）上，所述滑台底座（26）安装在导轨（23）上，且滑台底座（26）上还穿装有滑台丝杠（22），所述滑台丝杠（22）两端通过轴承座（21）固定在支架（20）上，并与导轨（23）平行，所述电机（25）安装在滑台丝杠（22）的一端，所述控制柜（24）安装在支架（20）下部，并与电机（25）连接。

7.根据权利要求6所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述滑台底座（26）上安装有喷***座（3）。

8.根据权利要求6所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述控制柜（24）还与PLC控制器（5）连接。

9.根据权利要求1所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述喷枪（4）通过气管与气源连接。

10.根据权利要求1所述的靶材喷涂装置，其特征在于：所述喷枪（4）通过送粉管与送粉器连接。