CN206140276U - 蓝宝石晶片四柱抛光机 - Google Patents
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Abstract
蓝宝石晶片四柱抛光机,其机架下方安装有磨盘,磨盘中心的转轴下端用皮带连接磨盘电机,磨盘的上导轨套装在磨盘座的磙针上方,磨盘的上表面安装有圆形磨片,在机架上方安装有固定架,固定架内侧设计有固定滑道,在固定滑道上安装有滑架,升降气缸下端安装在滑架的上端,滑架内固定安装有磨头电机,上磨头安装在磨头电机的转轴下端。上固定面和下固定面上安装的固定架和升降气缸有四个。采用本实用新型的技术方案,将磨头电机直接装在滑架上,磨头电机直接带动上磨头,减少了传动过程中的能量损失,消除了传动产生的震动,晶片的抛光质量大幅提高;由于采用四个上磨头设计,上磨头在磨盘上占用的面积增大,磨盘的利用更充分,机械工作效率提高。
Description
技术领域
本技术属于蓝宝石晶片加工设备技术领域,涉及一种蓝宝石晶片四柱抛光机。
背景技术
晶片从晶棒上沿晶棒的轴向成片切割下来后,切面比较粗糙,需要对切面进行打磨和抛光,现有技术中,晶片的抛光机为双立柱抛光机,其下磨盘通过下电机带动旋转,上磨头有两个,上磨头转轴上的侧齿在上电机的齿轮带动下旋转,上磨头在升降气缸的推动下向下运动,压在下磨盘上,固定盘上贴有的晶片下表面与下磨盘接触,下磨盘与上磨头在转动时,对晶片表面进行抛光。采用这种抛光机对晶片表面进行抛光,由于该抛光机的下磨盘与上磨头同时转动,其抛光的工作效率较高;但是,由上磨头靠侧齿驱动旋转,转动过程中能量损失多、震动大,晶片的抛光效果不好;另外由于上磨头仅设计有两个,磨盘上空余的面积较多,设计机构效率下降。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种蓝宝石晶片四柱抛光机,解决现有技术中,蓝宝石晶片双柱抛光机对晶片进行抛光时 ,存在的上磨头振动大,设备的能耗高、机械效率低的问题。
本实用新型的技术方案是:一种蓝宝石晶片四柱抛光机,该抛光机的机架下方设计有磨盘座,磨盘座的内圈上表面设计有圆形的下导轨,下导轨内安装有磙针,磨盘中心的转轴下端用皮带连接磨盘电机,磨盘下表面设计有上导轨,上导轨套装在磙针上方,磨盘的上表面安装有圆形磨片,圆形磨片上开有磨槽,上磨头安装在升降气缸下方,上磨头下表面安装有固定盘,固定盘的凹孔内安装晶片,在机架上方安装有上固定面和下固定面,在上固定面和下固定面上安装有固定架,固定架内侧设计有固定滑道,在固定滑道上安装有滑架,升降气缸下端安装在滑架的上端,滑架内固定安装有磨头电机,上磨头安装在磨头电机的转轴下端。
上固定面和下固定面上安装的固定架和升降气缸有四个,四个升降气缸、四个固定架以及固定架内安装的滑架、磨头电机和上磨头结构相同。
采用本实用新型的技术方案,将磨头电机直接装在滑架上,磨头电机直接带动上磨头,减少了传动过程中的能量损失,消除了传动产生的震动,晶片的抛光质量大幅提高;由于采用四个上磨头设计,上磨头在磨盘上占用的面积增大,磨盘的利用更充分,机械工作效率提高。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1中A—A剖面结构示意图。
具体实施方式
实施例:如图1和图2所示,一种蓝宝石晶片四柱抛光机,该抛光机的机架8下方设计有磨盘座12,磨盘座12的内圈上表面设计有圆形的下导轨15,下导轨15内安装有磙针16,磨盘18中心的转轴下端用皮带连接磨盘电机19,磨盘18下表面设计有上导轨17,上导轨17套装在磙针16上方,磨盘18的上表面安装有圆形磨片14,圆形磨片14上开有磨槽13,上磨头7安装在升降气缸1下方,上磨头7下表面安装有固定盘10,固定盘10的凹孔内安装晶片11,在机架8上方安装有上固定面4和下固定面6,在上固定面4和下固定面6上安装有固定架3,固定架3内侧设计有固定滑道2,在固定滑道2上安装有滑架5,升降气缸1下端安装在滑架5的上端,滑架5内固定安装有磨头电机9,上磨头7安装在磨头电机9的转轴下端,上固定面4和下固定面6上安装的固定架3和升降气缸1有四个,四个升降气缸1、四个固定架3以及固定架3内安装的滑架5、磨头电机9和上磨头7结构相同。
Claims (2)
1.蓝宝石晶片四柱抛光机,该抛光机的机架(8)下方设计有磨盘座(12),磨盘座(12)的内圈上表面设计有圆形的下导轨(15),下导轨(15)内安装有磙针(16),磨盘(18)中心的转轴下端用皮带连接磨盘电机(19),磨盘(18)下表面设计有上导轨(17),上导轨(17)套装有磙针(16)上方,磨盘(18)的上表面安装有圆形磨片(14),圆形磨片(14)上开有磨槽(13),上磨头(7)安装在升降气缸(1)下方,上磨头(7)下表面安装有固定盘(10),固定盘(10)的凹孔内安装晶片(11),其特征在于:在机架(8)上方安装有上固定面(4)和下固定面(6),在上固定面(4)和下固定面(6)上安装有固定架(3),固定架(3)内侧设计有固定滑道(2),在固定滑道(2)上安装有滑架(5),升降气缸(1)下端安装在滑架(5)的上端,滑架(5)内固定安装有磨头电机(9),上磨头(7)安装在磨头电机(9)的转轴下端。
2.如权利要求1所述的蓝宝石晶片四柱抛光机,其特征在于:上固定面(4)和下固定面(6)上安装的固定架(3)和升降气缸(1)有四个,四个升降气缸(1)、四个固定架(3)以及固定架(3)内安装的滑架(5)、磨头电机(9)和上磨头(7)结构相同。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201621150525.4U CN206140276U (zh) | 2016-10-30 | 2016-10-30 | 蓝宝石晶片四柱抛光机 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201621150525.4U CN206140276U (zh) | 2016-10-30 | 2016-10-30 | 蓝宝石晶片四柱抛光机 |
Publications (1)
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CN206140276U true CN206140276U (zh) | 2017-05-03 |
Family
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Family Applications (1)
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CN201621150525.4U Active CN206140276U (zh) | 2016-10-30 | 2016-10-30 | 蓝宝石晶片四柱抛光机 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107234543A (zh) * | 2017-07-20 | 2017-10-10 | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 | 一种研磨机或抛光机的上盘结构 |
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2016
- 2016-10-30 CN CN201621150525.4U patent/CN206140276U/zh active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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