CN206048549U - 一种金刚线硅锭开方机的切割室 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及多晶硅线切割加工辅助设备，旨在提供一种金刚线硅锭开方机的切割室。该种金刚线硅锭开方机的切割室包括切割张力调整轮装置、换向导轮装置、龙门架、顶部导轮拖动电机、同步带装置、外部张力装置、线偏检测装置、收放线装置、切割张力电机、拖动联轴器、丝杆、电机安装座、导轨、进给联轴器、减速机、进给电机、切割导轮装置、顶部切割导轮滑动板、上滑动板导向槽、切割导轮安装架、底部切割导轮滑动板、底部导轮安装架、丝杆螺母座、滑块、下滑动板导向槽，能利用金刚线切割硅锭。本实用新型在进行多晶硅锭切割时，采用竖直线网对晶锭进行切割，经过两次切割即可得到多晶硅块。

Description

一种金刚线硅锭开方机的切割室

技术领域

本实用新型是关于多晶硅线切割加工辅助设备领域，特别涉及一种金刚线硅锭开方机的切割室。

背景技术

金刚线切割技术是目前世界上较先进的半导体硬脆材料开方技术，它的原理是利用金刚线上固定的金刚石磨粒对待加工件进行摩擦切割，以切出方锭。金刚线经由导线轮引导，绕制成所需形状，通过金刚线往复运动实现切割，一般使用冷却水进行冷却。金刚线切割技术与传统刀锯片、砂浆线、内圆切割等相比具有效率高、环保、精度高等优点。

多晶硅铸锭成型后，需经过开方、截断、磨面倒角、切片等硅材料加工工艺，最终制成太阳能电池片。多晶硅开方是多晶硅锭加工的第一道工序。将巨大的方形硅锭切割成多块小型长方体型。

常见的多线开方设备采用十字线网组成的方形网格，由上往下将硅锭切成多块多硅块。此种切割方式虽然可一次切割成型，但是复杂的绕线方式及较慢的进刀速度，极大地影响了设备的切割效率且复杂的绕线方式也极大消耗了传导线轮及金刚线的使用寿命。一旦发生断线，设备重新装线难度大，辅助时间长。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种绕线简单、结构紧凑、金刚线损耗小且加工效率高的一种金刚线硅锭开方机的切割室。为解决上述技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种金刚线硅锭开方机的切割室，能利用金刚线切割硅锭，所述金刚线硅锭开方机的切割室包括切割张力调整轮装置、换向导轮装置、龙门架、顶部导轮拖动电机、同步带装置、外部张力装置、线偏检测装置、收放线装置、切割张力电机、拖动联轴器、丝杆、导轨、进给联轴器、减速机、进给电机、切割导轮装置、顶部切割导轮滑动板、上滑动板导向槽、切割导轮安装架、底部切割导轮滑动板、底部导轮安装架、丝杆螺母座、滑块、下滑动板导向槽；

所述收放线装置设置有两个，左右对称布置；收放线装置是进行金刚线收线及放线的装置，能存储金刚线，且能控制金刚线释放、回收的速度及位置；

所述龙门架设置在两个收放线装置的中间；所述上滑动板导向槽上设有缺口导向槽，上滑动板导向槽水平安装，并与龙门架的横向水平杆垂直安装；所述顶部切割导轮滑动板安装在上滑动板导向槽上，并能沿着上滑动板导向槽上的缺口导向槽左右滑动；

所述导轨设有两根，分别水平安装在龙门架正下方；每根导轨上布置有两个滑块，滑块能沿导轨长度方向往复滑动；所述底部导轮安装架的底部与滑块固定连接，底部导轮安装架能利用滑块在导轨上滑动；所述下滑动板导向槽安装在底部导轮安装架上，并与上滑动板导向槽对称设置，下滑动板导向槽上设有缺口导向槽；所述底部切割导轮滑动板安装在下滑动板导向槽上，并能沿着下滑动板导向槽上的缺口导向槽左右滑动；

所述丝杆螺母座与底部导轮安装架固定连接，所述丝杆穿过丝杆螺母座并与导轨平行安装，丝杆能驱动丝杆螺母座沿丝杆长度方向做直线运动；所述进给电机(利用电机安装座安装在设备机架上)连接有减速机，并通过进给联轴器与丝杆连接，用于驱动丝杆螺母座沿丝杆运动，进而带动底部导轮安装架沿导轨运动；

所述切割张力调整轮装置设置有两个，左右对称设置在龙门架上的两侧，且切割张力调整轮装置由切割张力电机连接拖动联轴器驱动；切割张力调整轮装置设有凹槽，该凹槽内用于布置金刚线；切割张力调整轮装置是用于控制金刚线切割张力的装置，能调整位于切割状态下的金刚线张力，使经过切割张力调整轮装置的金刚线两端张力不同；

所述换向导轮装置设有15个，其中6个换向导轮装置设置在龙门架的正面，其中4个换向导轮装置设置在底部导轮安装架，剩余5个换向导轮装置设置在龙门架的顶面，且这5个换向导轮装置由顶部导轮拖动电机通过同步带装置带动；换向导轮装置设置有凹槽，该凹槽内用于布置金刚线；换向导轮装置是金刚线处于未切割状态下的换向装置，换向导轮装置能沿垂直安装面方向旋转，用于对金刚线进行变向(经过换向导轮装置的金刚线两端不直接参与工件切割，需经过切割导轮装置再进入切割状态)；

所述同步带装置是同步带传动***，用于传递顶部导轮拖动电机转速及扭矩，从而带动5个设置于龙门架顶面的换向导轮装置沿着相同转向转动；

所述切割导轮装置设置有16个，分别利用切割导轮安装架安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上，即顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上各安装有8个，且切割导轮装置为上下对称垂直安装，使得绕制于其上对应切割槽的金刚线竖直向下；切割导轮装置设置有多道切割槽(设置多道切割槽，以增加导轮使用寿命)，切割槽内用于布置金刚线；切割导轮装置是直接传导处于切割位置金刚线两端的装置，切割导轮装置能沿垂直安装面方向旋转，用于传导金刚线及控制切割尺寸；

金刚线绕于切割张力调整轮装置、换向导轮装置的凹槽，及切割导轮装置的切割槽中，能形成金刚线网，且金刚线两端分别存储于收放线装置中，并能进行往复运动；所述金刚线网在切割位置呈竖直状态，即切割位置多道金刚线均与水平面垂直，且在切割状态时，当底部导轮安装架利用滑块沿导轨长度方向滑动，使得安装于底部导轮安装架的换向导轮装置沿导轨长度方向移动，能使切割位置的金刚线网与水平面成一定角度；

所述外部张力装置设置有两个，左右对称设置在龙门架上的两侧；外部张力装置是靠近收放线轮侧设置的张力控制装置，用于控制金刚线绕入收放线装置时的张力大小(通过减小卷入收放线装置金刚线的张力大小，能够有效减小金刚线在绕入收放线装置中产生的磨损消耗)；

所述线偏检测装置设置有两个，分别左右对称设置在龙门架上收放线装置的斜上方；线偏检测装置能对从收放线装置绕入换向导轮装置的金刚线，是否偏移进行检测(以保证金刚线以合适位置绕入换向导轮的凹槽内，从而避免金刚线脱出)。

作为进一步的改进，所述切割导轮安装架分为切割导轮两侧安装架和切割导轮中间安装架，切割导轮两侧安装架是指安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板两侧的切割导轮安装架，切割导轮中间安装架是指安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上，位于切割导轮两侧安装架中间的切割导轮安装架；切割导轮两侧安装架在进刀方向上的长度比切割导轮中间安装架在进刀方向上的长度长(即意味着此处切割位置的金刚线能够先接触到工件而进入加工状态，也即切割硅锭时在中间硅锭未完全断开时，先将硅锭两侧凹凸不平的边皮去除)。

作为进一步的改进，所述两根导轨均为直线导轨。

作为进一步的改进，所述顶部导轮拖动电机、进给电机都采用伺服电机。

作为进一步的改进，所述金刚线硅锭开方机的切割室还包括金刚线，用于绕于切割张力调整轮装置、换向导轮装置的凹槽，及切割导轮装置的切割槽中，形成金刚线网，且金刚线的两端分别存储于收放线装置中，并能进行往复运动。

在本实用新型中，顶部切割导轮滑动板与底部切割导轮滑动板可沿龙门架宽度方向水平移动，由于切割导轮装置与切割导轮滑动板及底部切割导轮滑动板为固定连接关系，从而带动切割导轮装置整体沿着该方向移动；由于金刚线绕线时需从换向导轮装置的凹槽再绕制于切割导轮装置的切割槽上，此时，需保证金刚线两端分别与换向导轮装置的凹槽及切割导轮装置的切割槽相切，否则高速运转下金刚线将会脱出；当切割导轮装置由于当前切割槽需更换时，可通过顶部切割导轮滑动板与底部切割导轮滑动板沿龙门架宽度方向水平移动而更换其它还未使用的切割槽；此时，因为切割导轮具备多道切割槽，只需移动切割槽即可。若只有一个切割槽，则需要更换导轮，从而节省了设备加工的辅助时间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型在进行多晶硅锭切割时，采用竖直线网对晶锭进行切割，经过两次切割即可得到多晶硅块。

2、本实用新型在切割时，能够对切割线网张力及切割角度进行调整，能够有效提高金刚线切割速度；且切割张力调整轮装置及外部张力装置能够控制切割时的张力与收放线的张力不同，可大大减小金刚线在非切割状态下的损耗。

3、本实用新型在金刚线开方设备使用中，能高效使用金刚线、有效提升切割效率。

附图说明

图1为本实用新型主视图。

图2为本实用新型左视图。

图3为本实用新型俯视图。

图4为图2中A向视图。

图5为本实用新型正面等轴侧视图。

图6为本实用新型背面等轴侧视图。

图7为本实用新型第一次进刀正视示意图。

图8为本实用新型第一次进刀俯视示意图。

图9为本实用新型第二次进刀正视示意图。

图10为本实用新型第二次进刀俯视示意图。

图11为本实用新型切割导轮局部示意图。

图中的附图标记为：1金刚线；2切割张力调整轮装置；3换向导轮装置；4龙门架；5顶部导轮拖动电机；6同步带装置；7外部张力装置；8线偏检测装置；9收放线装置；10切割张力电机；11拖动联轴器；12丝杆；13电机安装座；14导轨；15进给联轴器；16减速机；17进给电机；18切割导轮装置；19切割导轮中间安装架；20顶部切割导轮滑动板；21上滑动板导向槽；22切割导轮两侧安装架；23底部切割导轮滑动板；24底部导轮安装架；25丝杆螺母座；26滑块；27下滑动板导向槽。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：

如图1至图6所示的一种金刚线硅锭开方机的切割室包括切割张力调整轮装置2、换向导轮装置3、龙门架4、顶部导轮拖动电机5、同步带装置6、外部张力装置7、线偏检测装置8、收放线装置9、切割张力电机10、拖动联轴器11、丝杆12、电机安装座13、导轨14、进给联轴器15、减速机16、进给电机17、切割导轮装置18、顶部切割导轮滑动板20、上滑动板导向槽21、切割导轮安装架、底部切割导轮滑动板23、底部导轮安装架24、丝杆螺母座25、滑块26、下滑动板导向槽27和金刚线1，能利用金刚线1切割硅锭。

所述收放线装置9具体是指金刚线收线及放线装置，用于存储金刚线1，并且可以使金刚线1以合适速度及位置释放及回收。收放线装置9设置有两个，左右对称布置。

所述龙门架4设置在两个收放线装置9的中间。所述上滑动板导向槽21上设有缺口导向槽，上滑动板导向槽21水平安装，并与龙门架4的横向水平杆垂直安装。所述顶部切割导轮滑动板20安装在上滑动板导向槽21上，并能沿着上滑动板导向槽21上的缺口导向槽左右滑动。

所述导轨14设有两根，采用直线导轨，分别如何设置：所述导轨14水平安装在龙门架4正下方。每根导轨14上布置有两个滑块26，滑块26能沿导轨14长度方向往复滑动。所述底部导轮安装架24的底部与滑块26固定连接，能利用滑块26在导轨14上滑动。所述下滑动板导向槽27与上滑动板导向槽21对称安装在底部导轮安装架24上，下滑动板导向槽27上设有缺口导向槽。所述底部切割导轮滑动板23安装在下滑动板导向槽27上，并能沿着下滑动板导向槽27上的缺口导向槽左右滑动。

所述丝杆螺母座25与底部导轮安装架24固定连接，所述丝杆12穿过丝杆螺母座25与导轨14平行安装，能驱动丝杆螺母座25沿丝杆12长度方向做直线运动。所述进给电机17利用电机安装座13安装在设备机架上；进给电机17连接有减速机16，并通过进给联轴器15与丝杆12连接，用于驱动丝杆螺母座25沿丝杆12运动，进而带动底部导轮安装架24沿导轨14运动。

所述切割张力调整轮装置2具体是指控制金刚线1切割张力的装置，用于调整位于切割状态下金刚线1张力的装置，此装置设置有凹槽，金刚线1设置于凹槽内，可使经过该装置的金刚线1两端张力不同。切割张力调整轮装置2设置有两个，左右对称设置在龙门架4上的两侧，且切割张力调整轮装置2由切割张力电机10连接拖动联轴器11驱动。

所述换向导轮装置3具体是指金刚线1处于未切割状态下的换向装置，仅用作金刚线1变向，经过换向导轮装置3的金刚线1两端不直接参与工件切割，需经过切割导轮装置18再进入切割状态，换向导轮装置3设置有凹槽，金刚线1布置于凹槽内，换向导轮装置3能沿垂直安装面方向旋转。换向导轮装置3设有15个，其中6个换向导轮装置3设置在龙门架4的正面，其中4个换向导轮装置3设置在底部导轮安装架24，剩余5个换向导轮装置3设置在龙门架4的顶面，且这5个换向导轮装置3由顶部导轮拖动电机5通过同步带装置6带动，顶部导轮拖动电机5采用伺服电机。所述同步带装置6具体是指一种同步带传动***，用于传递顶部导轮拖动电机5转速及扭矩，从而带动5个设置于龙门架4顶面的换向导轮装置3沿着相同转向转动。

所述切割导轮装置18具体是指直接传导处于切割位置金刚线1两端的装置，用于传导金刚线1及控制切割尺寸，切割导轮装置18能沿垂直安装面方向旋转，切割导轮装置18设置有多道切割槽，以增加导轮使用寿命。切割导轮装置18设置有16个，分别利用切割导轮安装架安装在顶部切割导轮滑动板20、底部切割导轮滑动板23上，切割导轮装置18为上下对称垂直安装，使得绕制于其上对应切割槽的金刚线1竖直向下，顶部切割导轮滑动板20、底部切割导轮滑动板23上各安装有8个。

切割导轮安装架分为切割导轮两侧安装架22和切割导轮中间安装架19，切割导轮两侧安装架22是指安装在顶部切割导轮滑动板20、底部切割导轮滑动板23两侧的切割导轮安装架，切割导轮中间安装架19是指安装在顶部切割导轮滑动板20、底部切割导轮滑动板23上，位于切割导轮两侧安装架22中间的切割导轮安装架；切割导轮两侧安装架22在进刀方向上的长度比切割导轮中间安装架19在进刀方向上的长度长。

金刚线1绕于切割张力调整轮装置2、换向导轮装置3、切割导轮装置18的凹槽中，且两端分别存储于收放线装置9中，并能进行往复运动。金刚线网：所述金刚线1经过上述装置即形成金刚线网，安装完成时，金刚线网在切割位置时呈竖直状态，此时，切割位置多道金刚线1均与水平面垂直；当设备在切割状态时，底部导轮安装架24可通过滑块26沿导轨14长度方向的滑动，从而使得安装于底部导轮安装架24的换向导轮装置3沿导轨14长度方向，显然，此时切割位置的金刚线网与水平面成一定角度。

所述外部张力装置7具体是指靠近收放线轮侧的一种张力控制装置，用于控制金刚线1绕入收放线装置9中的张力大小，通过减小卷入收放线装置9金刚线1的张力大小，能够有效减小金刚线1在绕入收放线装置9中产生的磨损消耗；外部张力装置7设置有两个，左右对称设置在龙门架4上的两侧。

所述线偏检测装置8具体是指检测金刚线1是否偏移的装置，用于金刚线1从收放线装置9绕入换向导轮装置3的检测装置，保证金刚线1以合适位置绕入换向导轮的凹槽内，从而避免金刚线1脱出；线偏检测装置8设置有两个，分别左右对称设置在龙门架4上收放线装置9的斜上方。

所述顶部切割导轮滑动板20与底部切割导轮滑动板23可沿龙门架4宽度方向水平移动，由于切割导轮装置18与切割导轮滑动板及底部切割导轮滑动板23为固定连接关系，从而带动切割导轮装置18整体沿着该方向移动；由于金刚线1绕线时需从换向导轮装置3的凹槽再绕制于切割导轮装置18的切割槽上，此时，需保证金刚线1两端分别与换向导轮装置3的凹槽及切割导轮装置18的切割槽相切，否则高速运转下金刚线1将会脱出；当切割导轮装置18由于当前切割槽需更换时，可通过顶部切割导轮滑动板20与底部切割导轮滑动板23沿龙门架4宽度方向水平移动而更换其它还未使用的切割槽；此时，因为切割导轮具备多道切割槽，只需移动切割槽即可。若只有一个切割槽，则需要更换导轮，从而节省了设备加工的辅助时间。

使用时，金刚线1由一侧收放线装置9起始，经由换向导轮装置3、外部张力装置7、切割导轮装置18、切割张力调整轮装置2等装置绕回另一侧收放线装置9形成如图1所示绕线方式。如图7所示，第一次进刀时，多晶硅锭由图7左侧水平移动到右侧。此时，由于切割导轮两侧安装架22长度比切割导轮中间安装架19长，可实现中间部分多晶硅块不完全切断，而将两侧边皮切落。之后，硅锭按原进给方向返回，此时，硅锭形态如图7所示。之后，将如图8所示晶锭沿顺时针或逆时针方向转动90°，再在如图9所示沿左侧向右侧移动，直至完全切断。此时，晶锭已开方为多块小型长方体型。切割时，由于底部导轮安装架24可沿导轨14长度方向做往复运动，因此可使金刚线1切割时与晶锭切割面形成有利的切割角度，从而有效增进切割效率。另外，如图10所示切割导轮装置18具有多道切割槽，当切割槽损坏时，由于切割导轮装置18与顶部切割导轮滑动板20及底部切割导轮滑动板23成固定相连，只要移动顶部切割导轮滑动板20和底部切割导轮滑动板23即可实现更换切割导轮装置18切割槽，从而大大节省了更换切割导轮装置18的时间。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。

Claims (5)

1.一种金刚线硅锭开方机的切割室，能利用金刚线切割硅锭，其特征在于，所述金刚线硅锭开方机的切割室包括切割张力调整轮装置、换向导轮装置、龙门架、顶部导轮拖动电机、同步带装置、外部张力装置、线偏检测装置、收放线装置、切割张力电机、拖动联轴器、丝杆、导轨、进给联轴器、减速机、进给电机、切割导轮装置、顶部切割导轮滑动板、上滑动板导向槽、切割导轮安装架、底部切割导轮滑动板、底部导轮安装架、丝杆螺母座、滑块、下滑动板导向槽；

所述收放线装置设置有两个，左右对称布置；收放线装置是进行金刚线收线及放线的装置，能存储金刚线，且能控制金刚线释放、回收的速度及位置；

所述龙门架设置在两个收放线装置的中间；所述上滑动板导向槽上设有缺口导向槽，上滑动板导向槽水平安装，并与龙门架的横向水平杆垂直安装；所述顶部切割导轮滑动板安装在上滑动板导向槽上，并能沿着上滑动板导向槽上的缺口导向槽左右滑动；

所述导轨设有两根，分别水平安装在龙门架正下方；每根导轨上布置有两个滑块，滑块能沿导轨长度方向往复滑动；所述底部导轮安装架的底部与滑块固定连接，底部导轮安装架能利用滑块在导轨上滑动；所述下滑动板导向槽安装在底部导轮安装架上，并与上滑动板导向槽对称设置，下滑动板导向槽上设有缺口导向槽；所述底部切割导轮滑动板安装在下滑动板导向槽上，并能沿着下滑动板导向槽上的缺口导向槽左右滑动；

所述丝杆螺母座与底部导轮安装架固定连接，所述丝杆穿过丝杆螺母座并与导轨平行安装，丝杆能驱动丝杆螺母座沿丝杆长度方向做直线运动；所述进给电机连接有减速机，并通过进给联轴器与丝杆连接，用于驱动丝杆螺母座沿丝杆运动，进而带动底部导轮安装架沿导轨运动；

所述切割张力调整轮装置设置有两个，左右对称设置在龙门架上的两侧，且切割张力调整轮装置由切割张力电机连接拖动联轴器驱动；切割张力调整轮装置设有凹槽，该凹槽内用于布置金刚线；切割张力调整轮装置是用于控制金刚线切割张力的装置，能调整位于切割状态下的金刚线张力，使经过切割张力调整轮装置的金刚线两端张力不同；

所述换向导轮装置设有15个，其中6个换向导轮装置设置在龙门架的正面，其中4个换向导轮装置设置在底部导轮安装架，剩余5个换向导轮装置设置在龙门架的顶面，且这5个换向导轮装置由顶部导轮拖动电机通过同步带装置带动；换向导轮装置设置有凹槽，该凹槽内用于布置金刚线；换向导轮装置是金刚线处于未切割状态下的换向装置，换向导轮装置能沿垂直安装面方向旋转，用于对金刚线进行变向；

所述同步带装置是同步带传动***，用于传递顶部导轮拖动电机转速及扭矩，从而带动5个设置于龙门架顶面的换向导轮装置沿着相同转向转动；

所述切割导轮装置设置有16个，分别利用切割导轮安装架安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上，即顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上各安装有8个，且切割导轮装置为上下对称垂直安装，使得绕制于其上对应切割槽的金刚线竖直向下；切割导轮装置设置有多道切割槽，切割槽内用于布置金刚线；切割导轮装置是直接传导处于切割位置金刚线两端的装置，切割导轮装置能沿垂直安装面方向旋转，用于传导金刚线及控制切割尺寸；

金刚线绕于切割张力调整轮装置、换向导轮装置的凹槽，及切割导轮装置的切割槽中，能形成金刚线网，且金刚线两端分别存储于收放线装置中，并能进行往复运动；所述金刚线网在切割位置呈竖直状态，即切割位置多道金刚线均与水平面垂直，且在切割状态时，当底部导轮安装架利用滑块沿导轨长度方向滑动，使得安装于底部导轮安装架的换向导轮装置沿导轨长度方向移动，能使切割位置的金刚线网与水平面成一定角度；

所述外部张力装置设置有两个，左右对称设置在龙门架上的两侧；外部张力装置是靠近收放线轮侧设置的张力控制装置，用于控制金刚线绕入收放线装置时的张力大小；

所述线偏检测装置设置有两个，分别左右对称设置在龙门架上收放线装置的斜上方；线偏检测装置能对从收放线装置绕入换向导轮装置的金刚线，是否偏移进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种金刚线硅锭开方机的切割室，其特征在于，所述切割导轮安装架分为切割导轮两侧安装架和切割导轮中间安装架，切割导轮两侧安装架是指安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板两侧的切割导轮安装架，切割导轮中间安装架是指安装在顶部切割导轮滑动板、底部切割导轮滑动板上，位于切割导轮两侧安装架中间的切割导轮安装架；切割导轮两侧安装架在进刀方向上的长度比切割导轮中间安装架在进刀方向上的长度长。

3.根据权利要求1所述的一种金刚线硅锭开方机的切割室，其特征在于，所述两根导轨均为直线导轨。

4.根据权利要求1所述的一种金刚线硅锭开方机的切割室，其特征在于，所述顶部导轮拖动电机、进给电机都采用伺服电机。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种金刚线硅锭开方机的切割室，其特征在于，所述金刚线硅锭开方机的切割室还包括金刚线，用于绕于切割张力调整轮装置、换向导轮装置的凹槽，及切割导轮装置的切割槽中，形成金刚线网，且金刚线的两端分别存储于收放线装置中，并能进行往复运动。