CN205893381U - 一种用于溅射镀膜设备的夹具及溅射镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种夹具，包括夹头和安装壳，夹头固定在安装壳上，其中，安装可的支撑背板与夹头的安装背板相对设置，夹头还包括第一安装侧板，第一安装侧板固定在安装背板上，第一安装侧板的延伸方向与夹持板的凸出方向相反，安装壳还包括支撑侧板，支撑侧板设置在支撑背板上，且与第一安装侧板相对设置，第一安装侧板上形成有第一通孔，支撑侧板上设置有第二通孔，夹具还包括操作机构和连接杆，操作机构能够控制连接杆穿过第一通孔和第二通孔，以将夹头固定在安装壳上，并且操作机构还能够控制连接杆缩回安装壳内。本实用新型还提供一种溅射镀膜设备。在所述夹具中，可以方便地更换夹头。

Description

一种用于溅射镀膜设备的夹具及溅射镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及物理气相沉积真空镀膜领域，尤其涉及一种用于溅射镀膜设备的夹具和一种包括该用于溅射镀膜设备的夹具的溅射镀膜设备。

背景技术

目前，在电子显示领域中，薄膜晶体管的成膜方式主要有两种，化学成膜和物理成膜。物理气相沉积(PVD，Physical Vapor Deposition)真空镀膜是物理成膜方式，包括溅射镀膜、蒸发镀膜、离子镀膜等，其中溅射镀膜由于有着附着力强、断层覆盖性好、均匀性好，且成膜的组织容易控制，原材料来源广等优势，被广泛应用。

在溅射镀膜中，磁控溅射是当前广泛应用的镀膜技术，被普遍应用于微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中。磁控溅射镀膜时，所用的基片可以是玻璃、硅片、金属壳、亚克力、PET膜等。磁控溅射设备在真空状态下进行镀膜时，需要使用夹具将基片固定到操作台上面。

图1中所示的是一种现有技术中的夹具的结构分解示意图，如图1所示，现有的用于溅射镀膜设备的夹具结构包括夹头23和安装板20，夹头23和安装板20之间通过螺丝24进行固定，这样在每次需要更换夹头23时需要先将螺丝24拆卸下来，但是由于空间有限，在使用扳手拆卸螺丝时操作比较困难，如果操作不当还容易使得夹头23上的螺纹损坏。因此，使用现有的用于溅射镀膜设备的夹具更换夹头耗时耗力。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种夹具和一种包括该夹具的溅射镀膜设备，所述夹具的夹头拆卸方便，以解决现有技术中的问题。

为了实现上述目的，作为本实用新型的第一个方面，提供一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括夹头和安装壳，所述夹头固定在所述安装壳上，所述夹头包括夹持板和安装背板，所述夹持板形成在所述安装背板的一端，且所述夹持板朝向与所述安装背板成角度的方向凸出，所述安装壳包括支撑背板，其中，所述支撑背板与所述安装背板相对设置，所述夹头还包括第一安装侧板，所述第一安装侧板固定在所述安装背板上，所述第一安装侧板的延伸方向与所述夹持板的凸出方向相反，所述安装壳还包括支撑侧板，所述支撑侧板设置在所述支撑背板上，且与所述第一安装侧板相对设置，所述第一安装侧板上形成有第一通孔，所述支撑侧板上设置有第二通孔，所述夹具还包括操作机构和连接杆，所述操作机构能够控制所述连接杆穿过所述第一通孔和所述第二通孔，以将所述夹头固定在所述安装壳上，并且所述操作机构还能够控制所述连接杆缩回所述安装壳内。

优选地，所述支撑背板上形成有第三通孔，所述操作机构包括操作杆和连接件，所述操作杆包括操作部和杆部，所述杆部的一端穿过所述第三通孔，所述杆部的另一端与所述操作部固定连接，所述杆部的一端和所述操作部分别位于所述支撑背板的两侧，且所述杆部的一端朝向所述安装背板，所述连接件的一端与所述杆部相连，另一端与所述连接杆相连，且所述连接件能够跟随所述操作杆转动。

优选地，所述操作部的背离所述支撑背板的表面上形成有凹槽。

优选地，所述安装壳还包括辅助侧板，所述辅助侧板固定在所述支撑背板上，且与所述支撑侧板相对设置，所述夹具还包括弹性件，所述弹性件的一端固定在所述辅助侧板上，所述弹性件的另一端与所述连接杆相连，所述连接杆的穿过所述第一通孔的一端的横截面积小于所述连接杆的另一端的横截面积，当所述连接杆位于所述第一通孔中时，所述弹性件处于压缩状态。

优选地，所述第一安装侧板上形成有多个所述第一通孔，且多个所述第一通孔沿所述安装侧板的高度方向依次设置。

优选地，所述夹头包括第二安装侧板和两个限位板，所述第二安装侧板固定在所述安装背板上，且与所述第一安装侧板相对设置，两个所述限位板分别设置在所述第一安装侧板和所述第二安装侧板背离所述安装背板的侧板上，且两个所述限位板均平行于所述安装背板。

优选地，所述夹具还包括安装底座，所述安装底座包括承载部和凸出部，所述安装壳固定设置在所述承载部上，所述凸出部与所述夹持板的凸出方向一致。

优选地，所述安装底座还包括支撑座，所述支撑座包括支撑座本体、连接壁和连接轴，所述支撑座本体上形成有沿所述支撑座本体的厚度方向贯穿所述支撑座本体的第一贯穿孔，所述连接壁设置在所述支撑座本体上，且位于所述第一贯穿孔的周围，所述承载部的一部分与所述连接壁相对设置，所述连接壁上形成有沿所述连接壁的厚度方向贯穿所述连接壁的第一固定孔，所述承载部上设置有与所述第一固定孔同轴的第二固定孔，所述连接轴设置在所述第一固定孔和所述第二固定孔中。

优选地，所述夹具包括绝缘垫片，所述绝缘垫片设置在所述支撑座本体上。

优选地，所述绝缘垫片包括垫片本体和垫片侧壁，所述垫片本体覆盖所述支撑座本体的上表面，所述垫片侧壁覆盖所述支撑座本体的侧面。

优选地，所述支撑座本体的两侧超出所述承载部的两侧，且所述支撑座本体的超出所述承载部的部分上设置有贯穿所述支撑座本体的安装孔。

优选地，所述安装底座的承载部上且与所述凸出部的凸出方向相反的一面设置有固定件，所述固定件凸出设置在所述承载部上，且凸出方向与所述凸出部的凸出方向相反，所述固定件上且沿所述固定件的厚度方向设置有第三固定孔。

作为本实用新型的另一个方面，提供一种溅射镀膜设备，包括工艺腔和设置在所述工艺腔内的操作台和多个夹具，且多个所述夹具围绕所述操作台均匀设置，其中，所述夹具为本实用新型所提供的上述夹具，所述夹持板位于所述操作台的上方。

优选地，所述支撑座本体的两侧超出所述承载部的两侧时，所述溅射镀膜设备还包括第一安装紧固件，所述操作台的下表面上设置有第一安装螺纹孔，所述第一安装紧固件穿过所述安装孔与所述第一安装螺纹孔配合。

优选地，当所述夹具包括安装底座时，所述工艺腔包括侧壁，所述溅射镀膜设备还包括第二安装紧固件，所述侧壁上设置有第二安装螺纹孔，所述第二安装紧固件穿过所述第三固定孔与所述第二安装螺纹孔配合。

在本实用新型所提供的夹具中，当夹头安装在安装壳上后，支撑背板与安装背板相对设置，第一安装侧板和支撑侧板相对设置，第一安装侧板上设置的第一通孔和支撑侧板上设置的第二通孔相对应。在安装壳内还设置有操作机构和连接杆，操作机构能够控制连接杆贯穿对应设置的第一通孔和第二通孔，以将夹头固定在安装壳上。当需要更换夹头时，通过操作机构控制连接杆缩回到安装壳内即可将夹头与安装壳进行分离，很方便的实现对夹头的更换。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为现有技术中的夹具的结构分解示意图；

图2为本实用新型的安装壳与夹头安装结构示意图；

图3为本实用新型的夹头的结构示意图；

图4为本实用新型中的安装壳的结构示意图；

图5为本实用新型的安装壳与操作机构、连接杆的组装示意图，其中，拆除了操作机构中的操作杆；

图6为本实用新型的安装壳与操作机构、连接杆的组装示意图；

图7为本实用新型的操作杆的结构示意图；

图8为本实用新型的用于溅射镀膜设备的夹具的部分结构示意图；

图9为本实用新型的用于溅射镀膜设备的夹具的安装结构示意图，其中，所述夹具包括绝缘垫片；

图10为本实用新型的绝缘垫片的俯视图；

图11为本实用新型的用于溅射镀膜设备的夹具固定基片的结构示意图。

附图标记说明：10、支撑座；101、支撑座本体；102、连接壁；103、连接轴；12、绝缘垫片；121、垫片本体；122、垫片侧壁；123、孔；124、第二贯穿孔；13、第一贯穿孔；14、基片；15、操作台；16、第一固定孔；17、第二固定孔；20、安装板；21、安装底座；211、承载部；212、凸起部；22、安装壳；221、支撑侧板；222、辅助侧板；支撑背板223；23、夹头；231、安装背板；232、第一安装侧板；233、夹持板；234、第二安装侧板；235、限位板；24、螺丝；25、第三通孔；26、第一通孔；27、连接件；28、连接杆；29、弹性件；30、操作杆；301、操作部；3011、凹槽；302、杆部；31、第二通孔；32、固定件；321、第三固定孔。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。

作为本实用新型的第一个方面，提供一种用于溅射镀膜设备的夹具，如图2所示，包括夹头23和安装壳22，夹头23固定在安装壳22上，图3所示为夹头23的结构示意图，由图3可以看出，夹头23包括夹持板233和安装背板231，夹持板233形成在安装背板231的一端，且夹持板233朝向与安装背板231呈角度的方向凸出，图4所示为安装壳22的结构示意图，由图4所示，安装壳22包括支撑背板223，其中，支撑背板223与安装背板231相对设置，夹头23还包括第一安装侧板232，第一安装侧板232固定在安装背板231上，第一安装侧板232的延伸方向与夹持板233的凸出方向相反，安装壳22还包括支撑侧板221，支撑侧板221设置在支撑背板223上，且与第一安装侧板232相对设置，图2所示的第一安装侧板232上形成有第一通孔26，图4所示的支撑侧板221上设置有第二通孔31，所述夹具还包括操作机构32和连接杆28，操作机构32能够控制连接杆28穿过第一通孔26和第二通孔31，以将夹头23固定在安装壳22上，并且操作机构32还能够控制连接杆28缩回安装壳22内。

具体地，当夹头23安装在安装壳22上后，支撑背板223与安装背板231相对设置，第一安装侧板232和支撑侧板221相对设置，第一安装侧板232上设置的第一通孔26和支撑侧板221上设置的第二通孔31相对应。在安装壳22内还设置有操作机构32和连接杆28，操作机构32能够控制连接杆28贯穿对应设置的第一通孔26和第二通孔31，以将夹头23固定在安装壳22上。当需要更换夹头23时，通过操作机构32控制连接杆28缩回到安装壳22内即可将夹头23与安装壳22进行分离，很方便的实现对夹头23的更换。

本实用新型提供的用于溅射镀膜设备的夹具，对夹头进行了改进，并通过增加操作机构和连接杆将夹头固定在安装壳上，在对夹头进行更换时，可以方便的通过操作机构控制连接杆直接更换，不需要使用螺丝等，这样解决了现有技术中夹头通过螺丝固定在安装壳上造成的拆卸耗时耗力的问题，减少了操作时间，提高了工作效率。

优选地，以图2中所示的夹头23放置的位置为例，夹持板233设置在安装背板231的上端，可以理解的是，此处所述“上端”是图2所示的夹头23中夹持板233相对于安装背板231的位置，且夹持板233与安装背板231垂直设置，夹持板233在固定基片时，能够压紧基片的上表面。第一安装侧板232与安装背板231垂直设置，可以理解的是，夹持板233与第一安装侧板232分别设置在安装背板231的两侧。通过优选将夹持板与安装背板垂直设置可以更准确的实现对基片的固定，而通过将第一安装侧板与安装背板垂直设置，由于通常安装壳的边缘也是垂直设置，所以可以使得夹头在安装到安装壳上时能够与安装壳准确贴合。

为了能够方便灵活的实现操作机构32对连接杆28的控制，作为一种具体地实施方式，如图4所示，支撑背板223上形成有第三通孔25。图5和图6所示为安装壳与操作机构的组装示意图，其中，为了便于观察和说明，图5中拆除了操作杆30。如图中所示，操作机构32包括操作杆30和连接件27，如图7所示为操作杆30的结构示意图，操作杆30包括操作部301和杆部302，杆部302的一端穿过第三通孔25，杆部302的另一端与操作部301固定连接，杆部302的一端和操作部301分别位于支撑背板223的两侧，且杆部302的一端朝向安装背板231，连接件27的一端与杆部302相连，另一端与连接杆28相连，且连接件27能够跟随操作杆30转动。

需要说明的是，支撑背板223上形成的第三通孔25贯穿支撑背板223，操作机构32设置在安装壳22内。操作杆30贯穿所述第三通孔25，且为了方便的通过操作杆30控制连接件27，在操作杆30上设置了操作部301，且操作部301设置在操作杆30的一端。优选地，操作杆30可以是六角螺栓，螺杆即杆部302，头部即操作部301，可以通过六角扳手等工具夹紧头部旋转六角螺栓，进而实现对连接杆28的控制。操作杆30的这种结构实现了通过控制操作部301方便灵活的控制连接杆28的目的。

为了能够方便的通过操作部301的控制实现对杆部302的转动，进而通过带动连接件27实现对连接杆28的控制，优选地，操作部301的背离支撑背板223的表面上形成有凹槽3011。

具体地，操作部301背离支撑背板223的表面上形成有凹槽3011，可以通过借助外部的工具，例如一字螺丝刀等，插进凹槽3011内，通过一字螺丝刀旋转带动与操作部301连接的杆部302的旋转，杆部302的旋转拉动了连接件27，连接件27由于与连接杆28相连，所以可以控制连接杆28进出第二通孔31。可以理解的是，当使用一字螺丝刀将操作部301向一个方向旋转时，连接杆28处于缩回到安装壳22的状态，此时可以将夹头23与安装壳22分离，若当使用一字螺丝刀将操作部301向另一个方向旋转时，连接杆28则伸出安装壳22贯穿第一通孔26和第二通孔31将夹头23和安装壳22固定在一起。

为了使得连接杆28在贯穿第一通孔26和第二通孔31后能够稳定的将夹头23和安装壳22固定在一起，作为一种具体地实施方式，如图5和图6所示，安装壳22还包括辅助侧板222，辅助侧板222固定在支撑背板223上，且与支撑侧板221相对设置，所述夹具还包括弹性件29，弹性件29的一端固定在辅助侧板222上，弹性件29的另一端与连接杆28相连。连接杆28的穿过第一通孔26的一端的横截面积小于该连接杆28的另一端的横截面积，当连接杆28位于第一通孔26中时，弹性件29处于压缩状态。在本实用新型中，安装完毕后，弹性件29可以处于压缩状态，从而可以对连接杆28产生一个推力，使得操作杆稳定地固定在第一通孔26中。作为一种具体的实施方式，所述连接杆可以是锥台形的杆。

优选地，弹性件29可以为弹簧。当然，本实用新型并不限于此，例如，可以用具有弹性的橡胶材料制成弹性件29。

由于现有技术中当通过夹具实现对多种厚度的基片进行夹紧时，需要将夹头固定在安装壳的不同高度上，因此，在对夹头的固定时，需要根据基片的厚度在安装侧板上测量一个合适的高度来固定夹头。但是采用人工测量尺寸的方式误差比较大，且存在人员操作差异性等问题，所以为了解决现有技术中存在的人工测量问题，作为一种具体地实施方式，如图3所示，在安装侧板232上形成多个第一通孔26，且多个第一通孔26沿安装侧板232的高度方向依次设置。通过预先设置多个第一通孔26，可以在不需要人工测量高度的情况下实现对多种不同厚度的基片的夹紧固定。

需要说明的是，在第一安装侧板232上设置的第一通孔26可以有多个，如图3所示的夹头23，第一安装侧板232上设置有三个第一通孔26，可以选择不同的第一通孔26，实现夹紧不同厚度的基片，避免了通过在第一安装侧板232上进行人工测量确定夹头23需要安装的高度。根据常用的基片的厚度，通常夹头23的安装高度有1.25mm、1.5mm和1.75mm，每个第一通孔26之间间隔0.25mm的间距。实现夹头23的不同安装高度，只需要在将夹头23固定到安装壳22上时，通过操作机构32控制连接杆28将连接杆28贯穿第二通孔31以及所选择的第一通孔26即可，例如，选择1.5mm高度的安装高度，则需要通过操作机构32控制连接杆28将连接杆28贯穿第二通孔31以及1.5mm高度的第一通孔26中，将夹头23与安装壳22固定，不需要人工测量高度的工序，也不需要进行检查，节省了时间，提高了工作效率。

为了避免金属膜层沉积到安装壳22的支撑侧板221和辅助侧板222上，如图3所示，夹头23包括第二安装侧板234和两个限位板235，第二安装侧板234固定在安装背板231上，且与第一安装侧板232相对设置，两个限位板235分别设置在第一安装侧板232和第二安装侧板234背离安装背板231的侧板上，且两个限位板235均平行于安装背板231。通过设置限位板和安装侧板可以当夹头安装到安装壳上时，通过夹头将安装壳的安装背板、支撑侧板和辅助侧板全部覆盖，有效地避免了金属膜层的沉积而带来的工艺腔污染等问题。

具体地，在安装背板231上安装有两个相对设置的第一安装侧板232和第二安装侧板234，而在第一安装侧板232和第二安装侧板234上又分别设置了限位板235，两个限位板235与安装背板231平行，如图3所示，由安装背板231、第一安装侧板232、第二安装侧板234以及两个限位板235组成的夹头23在组装到安装壳22上时将安装壳22的支撑侧板221、辅助侧板222和支撑背板223全部包围住，夹头23的这种结构可以防止在镀膜时将膜层镀到安装壳22上，进而可以有效地解决现有技术中安装壳22上由于膜层沉积较厚脱落造成工艺腔的污染等问题。

为了使得安装壳22能够更方便地固定，且使得所述夹具能够更方便地固定到外部设备上，如固定到操作台上等，如图2所示，所述夹具还包括安装底座21，安装底座21包括承载部211和凸出部212，安装壳22固定设置在承载部211上，凸出部212与夹持板233的凸出方向一致。

可以理解的是，安装壳22在使用时需要固定到安装底座21上，进而通过安装底座21与外部设备进行固定，实现夹头23对基片的固定。安装底座21具体可以包括承载部211和凸出部212，承载部211能够承载安装壳22，凸出部212的凸出方向与夹持板233的凸出方向一致，可以在对基片进行固定时，基片设置在操作台上，而凸起部212可以固定在操作台下方，夹持板233固定在基片上方，凸起部212与夹持板233共同配合将基片固定在操作台上。

为了使得安装底座21能够起到承载作用，如图8所示，安装底座21还包括支撑座10，支撑座10包括支撑座本体101、连接壁102和连接轴103，支撑座本体101上形成有沿支撑座本体101的厚度方向贯穿支撑座本体101的第一贯穿孔13，连接壁102设置在支撑座本体101上，且位于第一贯穿孔13的周围，承载部211的一部分与连接壁102相对设置，连接壁102上形成有沿连接壁102的厚度方向贯穿连接壁102的第一固定孔16，承载部211上设置有与第一固定孔16同轴的第二固定孔17(如图2所示)，连接轴103设置在第一固定孔16和第二固定孔17中。

具体地，安装底座21包括支撑座10，支撑座本体101上形成的第一贯穿孔13可以将安装壳22以及安装底座21的承载部211贯穿过去，支撑座10与安装底座21的固定是通过支撑座本体101上的连接壁102上设置有第一固定孔16，承载部211上设置有与第一固定孔16同轴的第二固定孔17，连接轴103贯穿第一固定孔16和第二固定孔17，将支撑座10与安装底座21固定在一起。

为了避免由于长时间镀膜导致的膜层沉积到安装底座21上，如图9所示，所述夹具包括绝缘垫片12，绝缘垫片12设置在所述支撑座本体101上。

作为一种优选地实施方式，如图10所示，绝缘垫片12包括垫片本体121和垫片侧壁122，垫片本体121覆盖支撑座本体101的上表面，如图8所示，垫片侧壁122覆盖支撑座本体101的侧面。

可以理解的是，支撑座10是设置在承载基片的操作台下方的，支撑座10需要与操作台隔离设置，所以需要在支撑座10上设置绝缘垫片12，绝缘垫片12全部覆盖在支撑座本体101上，使得支撑座10与操作台等设备隔离，避免所述夹具与设备之间短路。长时间镀膜时，由于现有的绝缘垫片设计的是分体式的且只是覆盖在支撑座本体上，支撑座本体的侧面上并没有绝缘垫片覆盖，膜层积累到支撑座10上会导致支撑座10与真空镀膜腔体短路，使得基片上面产生回路，当电流流过膜层时会导致膜层异常，产生雪花放电，而将绝缘垫片12的垫片本体121设计成一体式，且绝缘垫片12上设置有垫片侧壁122，垫片侧壁122可以将支撑座本体101的侧面包围，防止膜层沉积到支撑座10上，绝缘垫片12的这种结构设计还可以保证支撑座10的清洁度。

需要说明的是，垫片侧壁122的高度以能够覆盖支撑座本体101的侧面即可。优选地，垫片侧壁122的高度与支撑座本体101的侧面高度相同时覆盖效果最好。可以理解的是，当垫片侧壁122的高度稍微低于支撑座本体101的侧面高度时也可以实现保证支撑座的清洁度的有益效果。

作为一种具体地实施方式，如图9所示，支撑座本体101的两侧超出承载部211的两侧，且支撑座本体101的超出承载部211的部分上设置有贯穿支撑座本体101的安装孔104。

具体地，在支撑座本体101的两侧设置有与第一贯穿孔13相同方向的安装孔104，通过安装孔104能够将支撑座10与工艺腔中的设备固定。可以理解的是，在与设备进行固定时，在安装孔104内部可以设置绝缘套，以实现支撑座10与操作台之间的隔离。如图8所示的支撑座本体101上设置有四个安装孔104，安装孔104的数量可以根据实际支撑座本体101的大小增加或减少。

还可以理解的是，如图10所示，由于支撑座本体101上设置有绝缘垫片12，因此绝缘垫片12上设置有与安装孔104同样大小的孔123，且绝缘垫片12上设置的孔123的数量与支撑座本体101上相同，由于支撑座本体101上还设置有第一贯穿孔13，所以垫片本体121上设置有与第一贯穿孔13相同的第二贯穿孔124。

为了方便夹具与设备的固定，如图2所示，在安装底座21的承载部211上且与凸出部212的凸出方向相反的一面上还设置有固定件32，固定件32凸出设置在承载部211的侧面上，且凸出方向与凸出部212的凸出方向相反，固定件32上且沿固定件32的厚度方向上设置有第三固定孔321。

所述夹具在包括前文所述的各部分结构时，各部分的组装过程具体可以理解为，首先是支撑座10的第一贯穿孔贯穿安装壳22，连接壁102上设置的第一固定孔16与安装底座21的承载部211上设置的与第一固定孔16同轴的第二固定孔17对准，通过连接轴103穿过第一固定孔16和第二固定孔17将支撑座10固定在安装底座21的承载部21处。然后将绝缘垫片12贯穿安装壳22，设置在支撑座10上，且将绝缘垫片12的垫片侧壁122包围支撑座10的侧面，将支撑座10上的安装孔104与绝缘垫片上的孔123位置对准，第一贯穿孔13和第二贯穿孔124位置对准，最后将夹头23组装到安装壳22上，夹头23组装后的效果图与图2所示的相同，所述夹具组装完成后的效果图如图9所示。

作为本实用新型的第二个方面，提供一种溅射镀膜设备，包括工艺腔和设置在所述工艺腔内的操作台以及多个夹具，且多个所述夹具围绕所述操作台均匀设置，其中所述夹具为前文所述的任意一种夹具，所述夹持板位于所述操作台的上方。

具体地，一种溅射镀膜设备包括工艺腔以及在工艺腔内进行镀膜所需要的一些设备，例如操作台，夹具等，如图11所示，为夹具夹紧操作台上的基片的结构示意图，操作台15上设置有待镀膜的基片14，在操作台周围设置有多个夹具，图11中仅示出一个夹具，可以理解的是，在操作台15周围均匀分布着多个夹具，通常在一种溅射镀膜设备中，针对一个操作台15需要10个夹具将基片14夹紧在操作台15上，所述夹具为前文中所述的任意一种夹具，所述夹具的夹持板在固定基片时位于所述操作台的上方，相应的，所述夹具的支撑座则位于所述操作台的下方。可以理解的是，所述工艺腔可以是真空镀膜机内的真空镀膜腔，在真空镀膜腔中有待镀膜的基片以及靶材，基片设置在操作台上，并通过夹具固定在操作台上。

本实用新型提供的溅射镀膜设备，所使用的夹具为前文中任意一项所述的夹具，由于前文中所述的夹具通过对夹头进行改进，使得夹头的更换简单方便，所以提高了镀膜时的工作效率，减少了操作时间。同时夹头的结构由于增加有辅助侧板、支撑侧板和限位板，使得安装壳被夹头全包围，在进行镀膜时避免了膜层沉积到安装壳上，降低了更换清洗的成本。另外，在夹头上设置了多个第一通孔，可以使得夹头固定时不需要对安装侧板的尺寸进行测量，提高了夹头安装的准确性。为了避免镀膜时膜层沉积到支撑座上，将绝缘垫片设计成为一体式结构且在绝缘垫片上设置垫片侧壁，有效地避免了膜层沉积到支撑座本体的侧面上，节约了清洁作业时间。

作为一种具体地实施方式，当所述支撑座本体的两侧超出所述承载部的两侧时，所述溅射镀膜设备还可以包括第一安装紧固件，所述操作台的下表面上形成有第一安装螺纹孔，所述第一安装紧固件穿过所述安装孔与所述第一安装螺纹孔配合。

具体地，如图11所示，支撑座10的支撑座本体的两侧超出所述承载部的两侧时，所述支撑座本体上设置有安装孔，所述溅射镀膜设备包括第一安装紧固件，由于所述支撑座本体设置在操作台15的下方，操作台15的下表面上形成有第一安装螺纹孔，所述第一安装紧固件穿过所述安装孔和所述第一安装螺纹口将所述支撑座本体与操作台15固定。通过使用第一安装紧固件可以方便的将支撑座与操作台固定。

可以理解的是，所述支撑座本体上设置有绝缘垫片，所述绝缘垫片上开有与安装孔对应的孔，所以在支撑座本体与操作台15的下表面之间还设有绝缘垫片，所述第一安装紧固件穿过所述安装孔、以及绝缘垫片上的孔和所述操作台上的第一安装螺纹孔将所述支撑座本体和所述绝缘垫片固定在操作台15的下表面。

作为另一种具体地实施方式，如图11所示，当所述夹具包括安装底座21时，所述工艺腔包括侧壁，所述溅射镀膜设备还包括第二安装紧固件，所述侧壁上设置有第二安装螺纹孔，所述第二安装紧固件穿过所述第三固定孔与所述第二安装螺纹孔配合，安装底座21通过所述第二安装紧固件固定在所述工艺腔的侧壁上。通过使用第二安装紧固件可以方便的将夹具固定在工艺腔的侧壁上。

具体地，当所述夹具包括安装底座21时，安装底座21的承载部的一部分与支撑座10通过连接轴连接，而支撑座10通过第一安装紧固件固定到操作台15的下表面，所以可以理解为安装底座21通过支撑座10固定到所述操作台15的下表面。所述安装底座的承载部的侧面设置有固定件32，固定件32用于将安装底座21固定到所述工艺腔的侧壁上。

进一步具体地，安装底座21的侧面通过所述固定件固定在所述工艺腔的侧壁上，安装底座21的承载部211上设置有固定件32，固定件32上设置有第三固定孔321，工艺腔的侧壁上设置有第二螺纹孔，且溅射镀膜设备还包括第二安装紧固件，所以第二安装紧固件穿过第二螺纹孔和第三固定孔321，将安装底座21固定在工艺腔的侧壁上，即所述夹具与所述工艺腔的侧壁固定。还可以理解的是，所述安装底座与支撑座10连接的一面通过支撑座10固定到操作台15的下表面，一面通过固定件32固定在所述工艺腔的侧壁上，安装底座21的底面处于悬空状态。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (15)

1.一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括夹头和安装壳，所述夹头固定在所述安装壳上，所述夹头包括夹持板和安装背板，所述夹持板形成在所述安装背板的一端，且所述夹持板朝向与所述安装背板成角度的方向凸出，所述安装壳包括支撑背板，其特征在于，所述支撑背板与所述安装背板相对设置，所述夹头还包括第一安装侧板，所述第一安装侧板固定在所述安装背板上，所述第一安装侧板的延伸方向与所述夹持板的凸出方向相反，所述安装壳还包括支撑侧板，所述支撑侧板设置在所述支撑背板上，且与所述第一安装侧板相对设置，所述第一安装侧板上形成有第一通孔，所述支撑侧板上设置有第二通孔，所述夹具还包括操作机构和连接杆，所述操作机构能够控制所述连接杆穿过所述第一通孔和所述第二通孔，以将所述夹头固定在所述安装壳上，并且所述操作机构还能够控制所述连接杆缩回所述安装壳内。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述支撑背板上形成有第三通孔，所述操作机构包括操作杆和连接件，所述操作杆包括操作部和杆部，所述杆部的一端穿过所述第三通孔，所述杆部的另一端与所述操作部固定连接，所述杆部的一端和所述操作部分别位于所述支撑背板的两侧，且所述杆部的一端朝向所述安装背板，所述连接件的一端与所述杆部相连，另一端与所述连接杆相连，且所述连接件能够跟随所述操作杆转动。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述操作部的背离所述支撑背板的表面上形成有凹槽。

4.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述安装壳还包括辅助侧板，所述辅助侧板固定在所述支撑背板上，且与所述支撑侧板相对设置，所述夹具还包括弹性件，所述弹性件的一端固定在所述 辅助侧板上，所述弹性件的另一端与所述连接杆相连，所述连接杆的穿过所述第一通孔的一端的横截面积小于所述连接杆的另一端的横截面积，当所述连接杆位于所述第一通孔中时，所述弹性件处于压缩状态。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的夹具，其特征在于，所述第一安装侧板上形成有多个所述第一通孔，且多个所述第一通孔沿所述安装侧板的高度方向依次设置。

6.根据权利要求1至4中任意一项所述的夹具，其特征在于，所述夹头包括第二安装侧板和两个限位板，所述第二安装侧板固定在所述安装背板上，且与所述第一安装侧板相对设置，两个所述限位板分别设置在所述第一安装侧板和所述第二安装侧板背离所述安装背板的侧板上，且两个所述限位板均平行于所述安装背板。

7.根据权利要求1至4中任意一项所述的夹具，其特征在于，所述夹具还包括安装底座，所述安装底座包括承载部和凸出部，所述安装壳固定设置在所述承载部上，所述凸出部与所述夹持板的凸出方向一致。

8.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，所述安装底座还包括支撑座，所述支撑座包括支撑座本体、连接壁和连接轴，所述支撑座本体上形成有沿所述支撑座本体的厚度方向贯穿所述支撑座本体的第一贯穿孔，所述连接壁设置在所述支撑座本体上，且位于所述第一贯穿孔的周围，所述承载部的一部分与所述连接壁相对设置，所述连接壁上形成有沿所述连接壁的厚度方向贯穿所述连接壁的第一固定孔，所述承载部上设置有与所述第一固定孔同轴的第二固定孔，所述连接轴设置在所述第一固定孔和所述第二固定孔中。

9.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述夹具包括绝 缘垫片，所述绝缘垫片设置在所述支撑座本体上。

10.根据权利要求9所述的夹具，其特征在于，所述绝缘垫片包括垫片本体和垫片侧壁，所述垫片本体覆盖所述支撑座本体的上表面，所述垫片侧壁覆盖所述支撑座本体的侧面。

11.根据权利要求8所述的夹具，其特征在于，所述支撑座本体的两侧超出所述承载部的两侧，且所述支撑座本体的超出所述承载部的部分上设置有贯穿所述支撑座本体的安装孔。

12.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，所述安装底座的承载部上且与所述凸出部的凸出方向相反的一面设置有固定件，所述固定件凸出设置在所述承载部上，且凸出方向与所述凸出部的凸出方向相反，所述固定件上且沿所述固定件的厚度方向设置有第三固定孔。

13.一种溅射镀膜设备，包括工艺腔和设置在所述工艺腔内的操作台和多个夹具，且多个所述夹具围绕所述操作台均匀设置，其特征在于，所述夹具为权利要求1至11中任意一项所述的夹具，所述夹持板位于所述操作台的上方。

14.根据权利要求13所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述夹具为权利要求11所述的夹具，所述溅射镀膜设备还包括第一安装紧固件，所述操作台的下表面上设置有第一安装螺纹孔，所述第一安装紧固件穿过所述安装孔与所述第一安装螺纹孔配合。

15.根据权利要求13或14所述的溅射镀膜设备，其特征在于，所述安装底座的承载部上且与所述凸出部的凸出方向相反的一面设置有固定件，所述固定件凸出设置在所述承载部上，且凸出方向与所述凸出部的凸出方向相反，所述固定件上且沿所述固定件的厚度方向设置有第三固定孔，所述工艺腔包括侧壁，所述溅射镀膜设备还包括第二安装紧固件，所述侧壁上设置有第二安装螺纹孔，所述第二安装紧固件穿过所述第三固定孔与所述第二安装螺纹孔配合。