CN205786426U - 一种用于半导体气敏传感器的老化装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于半导体气敏传感器的老化装置，包括供气装置和用于控制气体流量的阻尼管，所述的阻尼管一端为进气口，进气口与供气装置连接，另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口，通过调节阻尼管控制气体流量，而相比传统的由控制压力控制器、稳压阀和电子压力表组成的气体流量控制装置，所用的阻尼管结构简单、造价低，使用方便，解决了半导体气敏传感器老化装置中气体流量控制设备结构复杂、造价高的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体气敏传感器的老化装置领域，特别涉及一种用于半导体气敏传感器的老化装置。
背景技术
半导体气敏传感器寿命长，长期再现性较好，但使用初期再现性较差。半导体气敏传感器在经过冷置存放后，在开始通电的瞬间传感器的内阻会急剧下降，后逐渐变大至稳定，因此使用前一般需要经过老化处理，老化处理装置通常包括标气供气装置、载气供气装置，气流控制装置等，而目前采用的气体流量控制装置结构复杂、成本高，例如公告号为CN204203181U公告日为2012.03.11的中国实用新型专利公开了一种传感器老化装置，该传感器老化装置安装有压力控制器、稳压阀和电子压力表，通过三者之间的配合实现对气体流量的控制，这种气体流量控制装置结构复杂、造价高。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种用于半导体气敏传感器的老化装置，以解决目前的半导体气敏传感器老化装置的气体流量控制设备结构复杂、造价高的问题。
本实用新型的技术方案为：一种用于半导体气敏传感器的老化装置，包括供气装置，所述的用于半导体气敏传感器老化装置还包括用于控制气体流量的阻尼管，所述的阻尼管一端为进气口，进气口与供气装置连接，另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口。
所述的用于半导体气敏传感器的老化装置还包括用于与要处理的半导体气敏传感器连接的电路控制和信号采集模块。
所述的供气装置包括第一两通阀门、第二两通阀门、三通接头、高纯空气供给器及还原性气体供给器；所述的三通接头一端连接阻尼管的进气口，所述的第一两通阀门一端连接高纯空气供给器，另一端连接三通阀门，所述的第二两通阀门一端连接还原性气体供给器，另一端连接三通阀门。
所述的第一、二两通阀门为两通电磁阀。
所述的阻尼管为石英阻尼管。
本实用新型的有益效果为：本实用新型所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，包括供气装置，所述的用于半导体气敏传感器老化装置还包括用于控制气体流量的阻尼管，所述的阻尼管一端为进气口，进气口与供气装置连接，另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口，通过调节阻尼管控制气体流量，而相比传统的由控制压力控制器、稳压阀和电子压力表组成的气体流量控制装置，所用的阻尼管结构简单、造价低，使用方便。
更进一步的，本实用新型的供气装置设置有两个两通电磁阀，两个两通电磁阀分别连接高纯空气供给器和还原性气体供给器，并通过一个三通接头与阻尼管连接，实现了高纯空气和还原性气体的交替通入，装置简单、操作方便。
附图说明
图1是本实用新型的一种用于半导体气敏传感器的老化装置的具体实施例的原理示意图。
具体实施方式
本实用新型的一种用于半导体气敏传感器的老化装置的具体实施方式：如图1所示，本实用新型所述的用于半导体气敏传感器的老化装置包括供气装置、阻尼管6、电路控制和信号采集模块8，阻尼管6中间填充石英砂填料即阻尼管6为石英阻尼管，供气装置还包括两通电磁阀3、两通电磁阀4、三通接头5、高纯空气供给器及还原性气体供给器，高纯空气供给器和还原性气体供给器上设置有减压阀9，高纯空气供给器为高纯空气气体瓶1，还原性气体供给器为还原性气体瓶2；阻尼管6一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器7的出气口，另一端为进气口，进气口与三通接头连接，设置的阻尼管6使通过阻尼管6末端的气体流量与半导体气敏传感器7工作时的通过的气体流量一致，石英阻尼管结构简单、造价低、使用方便，利用石英阻尼管控制气体流量，解决了传统气体流量控制流量装置结构复杂造价高的问题；
两通电磁阀3一端与安装在高纯空气气体瓶上的减压阀9连接，另一端连接三通接头5，两通电磁阀4的一端连接安装在还原性气体上的减压阀9，另一端连接三通接头5，电路控制和信号采集模块8与要处理的半导体气敏传感器7连接，装置简单、操作方便。
本实用新型上述实施例的工作原理是：打开高纯空气气体瓶1、还原性气体气体瓶2的开关，使用各自带有的减压阀9调节压力后分别输出高纯空气、还原性气体，通过电路控制和信号采集模块8控制打开两通电磁阀3，使高纯空气通过阻尼管6后进入半导体气敏传感器7，直到电路控制和信号采集模块8显示高纯空气使半导体气敏传感器7氧化后关闭两通电磁阀3；打开两通电磁阀4，使还原性气体通过阻尼管6后进入半导体气敏传感器7，直到电路控制和信号采集模块8显示还原性气体使半导体气敏传感器7还原后关闭两通电磁阀4，同时打开两通电磁阀3，依此重复直到电路控制和信息采集模块8显示老化处理完毕。
在本实用新型的其他实施例中，上述实施例中的两通电磁阀还可以是普通的两通气阀门；阻尼管中的石英砂填料还可以为高分子材料，或者直接使用色谱柱仪代替石英阻尼管。
Claims (5)
1.一种用于半导体气敏传感器的老化装置，包括供气装置，其特征在于：所述的用于半导体气敏传感器老化装置还包括用于控制气体流量的阻尼管，所述的阻尼管一端为进气口，进气口与供气装置连接，另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口。
2.根据权利要求1所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的用于半导体气敏传感器的老化装置还包括用于与要处理的半导体气敏传感器连接的电路控制和信号采集模块。
3.根据权利要求1或2所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的供气装置包括第一两通阀门、第二两通阀门、三通接头、高纯空气供给器及还原性气体供给器；所述的三通接头一端连接阻尼管的进气口，所述的第一两通阀门一端连接高纯空气供给器，另一端连接三通阀门，所述的第二两通阀门一端连接还原性气体供给器，另一端连接三通阀门。
4.根据权利要求3所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的第一、二两通阀门为两通电磁阀。
5.根据权利要求1或2所述的用于半导体气敏传感器的老化装置，其特征在于：所述的阻尼管为石英阻尼管。
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Cited By (1)
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| CN109283281A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-01-29 | 兰州东立龙信息技术有限公司 | 一种色谱柱 |
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2016
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| CN109283281B (zh) * | 2018-10-15 | 2023-11-03 | 兰州东立龙信息技术有限公司 | 一种色谱柱 |
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