CN205616127U - 一种线切机上下料agv车 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种线切机上下料AGV车，包括车体，所述车体上端设置有沿所述车体长度方向延伸的平移导轨，所述平移导轨的轨道内设置有平移滑块，所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨的提升导轨，所述提升导轨的轨道内设置有提升滑块，所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨且沿车体前进方向延伸的上料导轨，所述上料导轨的轨道内设置有上料滑块，所述上料滑块上设置有料座。本实用新型所述的线切机上下料AGV车结构新颖，设计合理，可提升上料速度和线切机的稼动率，降低线切机上料的错误率，提升产品的良率，同时降低了人工作业强度和操作人员数量，增加了产值。

Description

一种线切机上下料AGV车

技术领域

本实用新型属于半导体设备技术领域，尤其是涉及一种线切机上下料AGV车。

背景技术

现有的半导体硅片线切机上料方式都是需要人工来操作的，由于硅单晶晶棒体积大，质量重，人工搬运费时、费力、易损坏晶体，搬运速度低，搬运操作人员劳动强度大，安全保障性低，这就需要一种用于搬运晶棒的上下料装置。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种线切机上下料AGV车，以解决现有人工搬运费时费力，搬运速度低，搬运操作人员劳动强度大的问题。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种线切机上下料AGV车，包括车体，所述车体前端设置有激光传感器，所述车体上端设置有沿所述车体长度方向延伸的平移导轨，所述平移导轨的轨道内设置有平移滑块，所述平移导轨一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机，所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨的提升导轨，所述提升导轨的轨道内设置有提升滑块，所述提升导轨上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机，所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨且沿车体前进方向延伸的上料导轨，所述上料导轨的轨道内设置有上料滑块，所述上料导轨一端设置有驱动所述上料滑块移动的上料电机，所述上料滑块上设置有料座。

进一步的，所述提升导轨的两相对侧面分别设置有加强筋。

进一步的，所述上料导轨上与设置轨道的面相对的另一面上设置有加强板。

相对于现有技术，本实用新型所述的线切机上下料AGV车具有以下优势：结构新颖，设计合理，可提升上料速度和线切机的稼动率，降低线切机上料的错误率，提升产品的良率，同时降低了人工作业强度和操作人员数量，增加了产值。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图。

附图标记说明：

1-车体；2-平移导轨；3-平移电机；4-提升导轨；5-提升电机；6-加强筋；7-上料导轨；8-上料电机；9-加强板；10-料座；11-硅棒。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1所示，一种线切机上下料AGV车，包括车体1，所述车体1前端设置有激光传感器，所述车体1上端设置有沿所述车体1长度方向延伸的平移导轨2，所述平移导轨2的轨道内设置有平移滑块，所述平移导轨2一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机3，所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨2的提升导轨4，所述提升导轨4的轨道内设置有提升滑块，所述提升导轨4上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机5，所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨4且沿车体1前进方向延伸的上料导轨7，所述上料导轨7的轨道内设置有上料滑块，所述上料导轨7一端设置有驱动所述上料滑块移动的上料电机8，所述上料滑块上设置有料座10；

进一步的，所述提升导轨4的两相对侧面分别设置有加强筋6，所述上料导轨7上与设置轨道的面相对的另一面上设置有加强板9；

本实例的工作过程：首先AGV车由储料区夹取硅棒11后运送到操作区，然后AGV车自动停止，然后通过车体1上安装的激光传感器寻找上料口的中心位置，通过平移电机3和提升电机5带动传动丝杠实现精确定位，再通过上料导轨7实现硅棒11的推送上料。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种线切机上下料AGV车，其特征在于：包括车体(1)，所述车体(1)前端设置有激光传感器，所述车体(1)上端设置有沿所述车体(1)长度方向延伸的平移导轨(2)，所述平移导轨(2)的轨道内设置有平移滑块，所述平移导轨(2)一端设置有驱动所述平移滑块沿平移导轨移动的平移电机(3)，所述平移滑块上端设置有垂直于所述平移导轨(2)的提升导轨(4)，所述提升导轨(4)的轨道内设置有提升滑块，所述提升导轨(4)上端设置有驱动所述提升滑块移动的提升电机(5)，所述提升滑块上连接有垂直于所述提升导轨(4)且沿车体(1)前进方向延伸的上料导轨(7)，所述上料导轨(7)的轨道内设置有上料滑块，所述上料导轨(7)一端设置有驱动所述上料滑块移动的上料电机(8)，所述上料滑块上设置有料座(10)。

2.根据权利要求1所述的线切机上下料AGV车，其特征在于：所述提升导轨(4)的两相对侧面分别设置有加强筋(6)。

3.根据权利要求1所述的线切机上下料AGV车，其特征在于：所述上料导轨(7)上与设置轨道的面相对的另一面上设置有加强板(9)。