CN205556849U - 一种用于单晶炉的称重*** - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种用于单晶炉的称重***，包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构，所述的称重传感器安装在导向筒内，所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座，所述的连接耳座上开设有通孔，所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构，所述的升降机构与连接耳座相连，所述的平移机构与升降机构相连。本设计通过一个称重传感器测量石英坩内的重量，从而测量出剩余硅料量，起到了节约硅料的作用。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶炉领域，特别是一种用于单晶炉的称重***。
背景技术
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。
在硅单晶拉制过程中，需要测量晶棒的重量，便于计算石英锅内剩余硅料的质量，所以需要一套单晶炉称重装置。现有的称重装置，都是采用复杂的机械动作来实现，比较费力，而且测量的精度不高，易造成硅料的浪费等现象。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于单晶炉的称重***，该称重装置通过一个称重传感器测量石英坩内的重量，从而测量出剩余硅料量，起到了节约硅料的作用。
为解决上述的技术问题，本实用新型的结构包括坩埚、称重传感器、导向筒、平移机构和升降机构，所述的称重传感器安装在导向筒内，所述坩埚的两侧各设置有一个连接耳座，所述的连接耳座上开设有通孔，所述坩埚的两侧各设置有一个升降机构，所述的升降机构与连接耳座相连，所述的平移机构与升降机构相连。
进一步：所述的平移机构包括气缸、U型推板、两条水平轨道和两个滑块，所述的两个滑块分别活动连接在两条水平轨道上，所述的气缸与U型推板相连，所述U型推板的两端分别连接在两个滑块上，所述的升降机构连接在滑块上。
又进一步：所述的升降机构包括设置在滑块上的竖直轨道、升降小车、升降板和定位柱，所述定位柱的尺寸与连接耳座上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小车滑动连接在竖直轨道上，所述的升降板水平固定连接在升降小车上，所述的定位柱安装在升降板上。
采用上述结构后，本实用新型通过一个称重传感器测量石英坩内的重量，从而测量出剩余硅料量，起到了节约硅料的作用；而且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为升降机构的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示的一种用于单晶炉的称重***，包括坩埚3、称重传感器10、导向筒9、平移机构和升降机构，所述的称重传感器10安装在导向筒9内，所述坩埚3的两侧各设置有一个连接耳座6，所述的连接耳座6上开设有通孔，所述坩埚3的两侧各设置有一个升降机构，所述的升降机构与连接耳座6相连，所述的平移机构与升降机构相连。工作时，当一批晶棒制备完成后，启动平移机构把坩埚3运送到导向筒9内称重传感器10的正上方，然后启动升降机构使其带着坩埚3向下降，使坩埚3沿着导向筒9掉落在称重传感器10上，当坩埚3掉落在称重传感器10上后，继续启动升降机构使升降机构与坩埚3进行分离，此时通过称重传感器10测量出坩埚3内的剩余硅料量。当测量完毕后反向启动升降机构使坩埚3从导向筒9升出，最后启动平移机构把坩埚3输送回原位。
如图1所示的平移机构包括气缸6、U型推板4、两条水平轨道1和两个滑块2，所述的两个滑块2分别活动连接在两条水平轨道1上，所述的气缸6与U型推板4相连，所述U型推板4的两端分别连接在两个滑块2上，所述的升降机构连接在滑块2上。工作时，启动气缸6使其6推着U型推板4进行水平移动，两个滑块2在U型推板4的作用下会带着坩埚3沿着两条水平轨道进行水平移动，从而把坩埚3输送到称重传感器10的正上方。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
如图2所示的升降机构包括设置在滑块2上的竖直轨道13、升降小车13、升降板15和定位柱8，所述定位柱8的尺寸与连接耳座6上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小车13滑动连接在竖直轨道13上，所述的升降板15水平固定连接在升降小车1上，所述的定位柱8安装在升降板15上。当坩埚运送到称重传感器10的正上方时，启动升降小车13使其通过升降板15带着坩埚3向下运动，把坩埚3运送到称重传感器10上，然后继续启动升降小车13使与连接耳座6相分离，此时利用称重传感器10来测量坩埚3内剩余的硅料量。当测量完毕后方向启动升降小车1使升降板15与连接耳座6相接触，从而利用升降板15把坩埚3从导向筒9升出。本设计通过定位柱8和连接耳座6上通孔的设计来防止坩埚3在运输的过程中发生掉落，从而起到了减少不必要损失的作用。
Claims (3)
1.一种用于单晶炉的称重***，其特征在于：包括坩埚(3)、称重传感器(10)、导向筒(9)、平移机构和升降机构，所述的称重传感器(10)安装在导向筒(9)内，所述坩埚(3)的两侧各设置有一个连接耳座(6)，所述的连接耳座(6)上开设有通孔，所述坩埚(3)的两侧各设置有一个升降机构，所述的升降机构与连接耳座(6)相连，所述的平移机构与升降机构相连。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的称重***，其特征在于：所述的平移机构包括气缸(6)、U型推板(4)、两条水平轨道(1)和两个滑块(2)，所述的两个滑块分别活动连接在两条水平轨道(1)上，所述的气缸(6)与U型推板(4)相连，所述U型推板(4)的两端分别连接在两个滑块(2)上，所述的升降机构连接在滑块(2)上。
3.根据权利要求2述的一种用于单晶炉的称重***，其特征在于：所述的升降机构包括设置在滑块(2)上的竖直轨道(13)、升降小车(13)、升降板(15)和定位柱(8)，所述定位柱(8)的尺寸与连接耳座(6)上通孔的尺寸相匹配，所述的升降小车(13)滑动连接在竖直轨道(13)上，所述的升降板(15)水平固定连接在升降小车(1)上，所述的定位柱(8)安装在升降板(15)上。
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| CN112831830A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-25 | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 | 用于晶体生长设备的坩埚升降机构和晶体生长设备 |
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