CN205406949U - 激光器及其气体控制单元 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种激光器及其气体控制单元。上述激光器的气体控制单元，用于控制输入激光器本体的工作气体，包括谐振器、第一气瓶、第二气瓶、第一检测组件以及第二检测组件。第一气瓶用于盛装第一气体；第二气瓶用于盛装第二气体；第一检测组件的第一端通过气管与第一气瓶连接，第一检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔；第二检测组件的第一端通过气管与第二气瓶连接，第二检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔。上述的激光器的气体控制单元，在第二气瓶中盛装第二气体，气体控制单元所用的元器件的数量较少，气管与元器件的连接点及气管与气管之间的连接点均较少，从而避免气体控制单元在使用过程中气路***容易漏气和堵塞问题。

Description

激光器及其气体控制单元

技术领域

本实用新型涉及激光器的技术领域，特别是涉及一种激光器及其气体控制单元。

背景技术

传统的气体激光器的气体控制单元的气路***用到减压阀、压力开关、节流阀、单向阀、接头和电磁阀等元器件，其中需要多个接头以实现气路的连接。整个气路***所用的元器件的数量多且种类多，因此，需要连接的地方也较多。

上述的气体控制单元在使用过程中气路***容易漏气和堵塞的问题，从而直接影响到气体激光器的激光功率的大小和放电的稳定性。

实用新型内容

基于此，有必要针对气体控制单元在使用过程中气路***容易漏气和堵塞的问题，提供一种激光器及其气体控制单元。

一种激光器的气体控制单元，用于控制输入激光器本体的工作气体，其特征在于，包括：谐振器，开设有谐振腔；

第一气瓶，用于盛装第一气体；

第二气瓶，用于盛装第二气体；

第一检测组件，所述第一检测组件的第一端通过气管与所述第一气瓶连接，所述第一检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔；以及

第二检测组件，所述第二检测组件的第一端通过气管与所述第二气瓶连接，所述第二检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔。

上述的激光器的气体控制单元，在第二气瓶中盛装第二气体，气体控制单元将第二气瓶中的第二气体输入谐振器使激光器本体正常工作；当激光器本体停止工作后，第一气体充入气体控制单元的管道，以防外部空气进入，影响激光器的性能和电极的寿命；第一检测组件的两端分别通过气管将第一气瓶和谐振器连接，第二检测组件的两端分别通过气管将第二气瓶和谐振器连接，整个气体控制单元所用的元器件的数量较少，且气管与元器件之间的连接点及气管与气管之间的连接点均较少，从而可以避免气体控制单元在使用过程中气路***容易漏气和堵塞问题。

在其中一个实施例中，所述第一检测组件包括第一压力开关和第一报警器，所述第一压力开关与所述第一报警器通信连接，所述第一压力开关的一端通过气管与所述第一气瓶连接，所述第一压力开关的另一端通过气管连通至所述谐振腔，通过在第一气瓶与谐振器之间设置第一压力开关，由于第一压力开关和第一报警器通信连接，所以当第一压力开关检测到第一气体小于设置值时，第一报警器开始报警，以提醒使用者更换。

在其中一个实施例中，所述第一检测组件还包括第一减压阀，所述第一减压阀设置在所述第一压力开关和所述谐振器之间的气管上，在第一压力开关与谐振器之间设置第一减压阀，可以自动调节管道中的气体压力的大小以符合要求。

在其中一个实施例中，所述第一检测组件还包括电磁阀，所述电磁阀设置在所述第一减压阀和所述谐振器之间的气管上。

在其中一个实施例中，所述第一检测组件还包括节流阀，所述节流阀设置在所述电磁阀和所述谐振器之间的气管上，在电磁阀与谐振器之间设置节流阀，可以使管道中第一气体的流量符合要求。

在其中一个实施例中，所述第二检测组件包括第二压力开关和第二报警器，所述第二压力开关和所述第二报警器通信连接，所述第二压力开关的一端通过气管与所述第二气瓶连接，所述第二压力开关的另一端通过气管连通至所述谐振腔，通过在第二气瓶与谐振器之间设置第二压力开关，由于第二压力开关和第二报警器通信连接，所以当第二压力开关检测到第二气体小于设置值时，第二报警器开始报警，以提醒使用者更换。

在其中一个实施例中，所述第二检测组件还包括第二减压阀，所述第二减压阀设置在所述第二压力开关和所述谐振器之间的气管上，可以自动调节管道中的气体压力的大小以符合要求。

在其中一个实施例中，所述第二检测组件还包括比例阀，所述比例阀设置在所述第二减压阀和所述谐振器之间的气管上，比例阀根据控制信号自动调节阀门开口的大小，以控制气流的流量大小，从而可以避免输入激光器本体的工作气体的比例改变的问题。

在其中一个实施例中，激光器的气体控制单元还包括真空过滤器和接头，所述真空过滤器的一端通过气管与所述接头一端连接，所述真空过滤器的另一端通过气管连通至所述谐振腔，所述接头的另一端通过气管分别与所述第一检测组件和所述第二检测组件连接，在谐振器与接头之间设置真空过滤器，可以对第一气体或第二气体中的杂质进行过滤，提高激光器的气体控制单元的使用寿命。

一种激光器，包括激光器本体和上述的激光器的气体控制单元，所述激光器本体与所述气体控制单元连接。

附图说明

图1为一实施例激光器的控制单元的示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对激光器及其气体控制单元进行更全面的描述。附图中给出了激光器及其气体控制单元的首选实施例。但是，激光器及其气体控制单元可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对激光器及其气体控制单元的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在激光器及其气体控制单元的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，一实施例中的激光器(图中未示出)包括激光器本体(图中未示出)和激光器的气体控制单元1，激光器本体与气体控制单元1连接。激光器的气体控制单元1用于控制输入激光器本体的工作气体。激光器的气体控制单元1包括谐振器10、第一气瓶20、第二气瓶30、第一检测组件40以及第二检测组件50。谐振器10开设有谐振腔(图中未示出)。第一气瓶20用于盛装第一气体。第二气瓶30用于盛装第二气体。第一检测组件40的第一端通过气管与第一气瓶20连接，第一检测组件40的第二端通过气管连通至谐振腔。第二检测组件50的第一端通过气管与第二气瓶30连接，第二检测组件50的第二端通过气管连通至谐振腔。在本实施例中，第一气体为氮气，优选高纯度的氮气。在其他实施例中，第一气体还可以是其他对激光器的气体控制单元1具有保护作用的气体。在本实施例中，第二气体为二氧化碳、氦气和氮气的混合气体，第二气体用于激光器正常工作的气体，在其他实施例中，第二气体还可以为其他用于激光器正常工作的气体。

本实施例的激光器的气体控制单元1，在第二气瓶30中盛装第二气体，气体控制单元将第二气瓶30中的第二气体输入谐振器10使激光器本体正常工作；当激光器本体停止工作后，第一气体充入气体控制单元1的管道，以防外部空气进入，影响激光器的性能和电极的寿命；第一检测组件40的两端分别通过气管将第一气瓶20和谐振器10连接，第二检测组件50的两端分别通过气管将第二气瓶30和谐振器10连接，整个激光器的气体控制单元1所用的元器件的数量较少，且气管与元器件之间的连接点及气管与气管之间的连接点均较少，从而可以避免气体控制单元在使用过程中气路***容易漏气和堵塞问题，同时可以降低气体控制单元的成本和提高激光器的稳定性。

在其中一个实施例中，第一检测组件40包括第一压力开关42和第一报警器(图中未示出)，第一压力开关42与第一报警器通信连接，第一压力开关42的一端通过气管与第一气瓶20连接，第一压力开关42的另一端通过气管连通至谐振腔，通过在第一气瓶20与谐振器10之间设置第一压力开关42，由于第一压力开关42和第一报警器通信连接，所以，当第一压力开关42检测到第一气体小于设置值时，第一报警器开始报警，以提醒使用者更换。

在其中一个实施例中，第一检测组件40还包括第一减压阀44，第一减压阀44设置在第一压力开关42和谐振器10之间的气管上，在第一压力开关42与谐振器10之间设置第一减压阀44，可以自动调节管道中的气体压力的大小以符合要求。

在其中一个实施例中，第一检测组件40还包括电磁阀46，电磁阀46设置在第一减压阀44和谐振器10之间的气管上。在本实施例中，第一减压阀44和电磁阀46之间还设置有第一压力表47，通过第一压力表47的数值可以得知管道的气体压力值大小。在其中一个实施例中，第一检测组件40还包括节流阀48，节流阀48设置在电磁阀46和谐振器10之间的气管上，在电磁阀46与谐振器10之间设置节流阀48，可以使管道中第一气体的流量符合要求。在本实施例中，电磁阀46为直通阀。

在其中一个实施例中，第二检测组件50包括第二压力开关52和第二报警器(图中未示出)，第二压力开关52和第二报警器通信连接，第二压力开关52的一端通过气管与第二气瓶30连接，第二压力开关52的另一端通过气管连通至谐振腔，通过在第二气瓶30与谐振器10之间设置第二压力开关52，由于第二压力开关52和第二报警器通信连接，所以当第二压力开关52检测到第二气体小于设置值时，第二报警器开始报警，以提醒使用者更换。在其中一个实施例中，第二检测组件50还包括第二减压阀54，第二减压阀54设置在第二压力开关52和谐振器10之间的气管上，可以自动调节管道中的气体压力的大小以符合要求。

在其中一个实施例中，第二检测组件50还包括比例阀56，比例阀56设置在第二减压阀54和谐振器10之间的气管上，比例阀56根据控制信号自动调节阀门开口的大小，以控制气流的流量大小，从而可以避免输入激光器本体的工作气体的比例改变的问题。在本实施例中，电磁阀46和比例阀56均与激光器的气体控制单元1的控制***(图中未示出)连接，当控制***检测到电磁阀46的第一气体的流量值时，从而根据工作气体的比例要求控制比例阀56的阀门开度，从而避免了输入激光器本体的工作气体的比例改变的问题。在其中一个实施例中，第二减压阀54和比例阀56之间还设置有第二压力表58，通过第二压力表58的数值可以得知管道的气体压力值大小。

在其中一个实施例中，激光器的气体控制单元1还包括真空过滤器60和接头(图中未示出)，真空过滤器60的一端通过气管与接头一端连接，真空过滤器60的另一端通过气管连通至谐振腔，接头的另一端通过气管分别与第一检测组件40和第二检测组件50连接，在谐振器10与接头之间设置真空过滤器60，可以对第一气体或第二气体中的杂质进行过滤，提高激光器的气体控制单元1的使用寿命。在本实施例中，接头为二合一的接头。

在其中一个实施例中，激光器的气体控制单元1还包括两个第三减压阀70，两个第三减压阀70分别设置于第一气瓶20与第一检测组件40之间和第二气瓶30与第二检测组件50之间。在本实施例中，第三减压阀70的恒定压力为0.5MPa。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种激光器的气体控制单元，用于控制输入激光器本体的工作气体，其特征在于，包括：谐振器，开设有谐振腔；

第一气瓶，用于盛装第一气体；

第二气瓶，用于盛装第二气体；

第一检测组件，所述第一检测组件的第一端通过气管与所述第一气瓶连接，所述第一检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔；以及

第二检测组件，所述第二检测组件的第一端通过气管与所述第二气瓶连接，所述第二检测组件的第二端通过气管连通至所述谐振腔。

2.根据权利要求1所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第一检测组件包括第一压力开关和第一报警器，所述第一压力开关与所述第一报警器通信连接，所述第一压力开关的一端通过气管与所述第一气瓶连接，所述第一压力开关的另一端通过气管连通至所述谐振腔。

3.根据权利要求2所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第一检测组件还包括第一减压阀，所述第一减压阀设置在所述第一压力开关和所述谐振器之间的气管上。

4.根据权利要求3所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第一检测组件还包括电磁阀，所述电磁阀设置在所述第一减压阀和所述谐振器之间的气管上。

5.根据权利要求4所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第一检测组件还包括节流阀，所述节流阀设置在所述电磁阀和所述谐振器之间的气管上。

6.根据权利要求1所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第二检测组件包括第二压力开关和第二报警器，所述第二压力开关和所述第二报警器通信连接，所述第二压力开关的一端通过气管与所述第二气瓶连接，所述第二压力开关的另一端通过气管连通至所述谐振腔。

7.根据权利要求6所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第二检测组件还包括第二减压阀，所述第二减压阀设置在所述第二压力开关和所述谐振器之间的气管上。

8.根据权利要求7所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，所述第二检测组件还包括比例阀，所述比例阀设置在所述第二减压阀和所述谐振器之间的气管上。

9.根据权利要求1所述的激光器的气体控制单元，其特征在于，还包括真空过滤器和接头，所述真空过滤器的一端通过气管与所述接头一端连接，所述真空过滤器的另一端通过气管连通至所述谐振腔，所述接头的另一端通过气管分别与所述第一检测组件和所述第二检测组件连接。

10.一种激光器，其特征在于，包括激光器本体和权利要求1至9任一项所述的激光器的气体控制单元，所述激光器本体与所述气体控制单元连接。