CN205317138U - 一种晶棒圆度校准仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出一种晶棒圆度校准仪，能够快速调整百分表位置，它包括设于同一平台上的立柱和托盘，百分表通过表架安装在立柱上，立柱的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽，表架上适于与限位滑槽滑动配合的配合部的形状与限位滑槽的形状相匹配，限位滑槽两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽；还包括适于将表架锁定在立柱上合适位置的锁定装置；锁定装置包括两交叉设置的锁杆、将两锁杆铰接安装在配合部上的定位销、以及为两锁杆提供锁定弹力的弹簧，各锁杆的一端为锁定端，其上设有适于与定位齿槽配合的定位凸齿，各锁杆另一端为解锁端，其上设有解锁按钮。

Description

一种晶棒圆度校准仪

技术领域

本实用新型涉及硅片制造技术领域，具体讲是一种晶棒圆度校准仪。

背景技术

在对晶棒进行开方之前，需要将晶棒切成段并将其粘接到晶托上，并通过校准装置检测晶棒是否垂直与水平面且晶棒截面的圆心是否在晶托正中央，对不符合粘接要求的晶棒，必须将其粘接的位置进行调整，以确保后续晶片切割的合格率。为了方便对粘接后晶棒的位置进行调整，在晶棒粘接之前需要对晶棒和晶托进行加热，已减缓粘接胶水的固化速度，为了确保晶棒垂直与水平面且晶棒截面的圆心在晶托正中央，必须在晶棒不同的部位进行多次检测，现有的校准装置大都采用在底座上设置一个用于旋转的托盘和与托盘配合使用的立柱，并在立柱上设置能够上下移动的百分表的结构，百分表和立柱通过紧固螺母固定在一起，当需要调整百分表上下位置时，必须先将紧固螺母松开，再对其的位置进行调整，调整结束后再拧紧，由于对晶棒粘接位置的检测和校准必须在粘接浇水固化之前完成，上述的操作过程就显得极为复杂了，并且在实际操作过程中经常会出现晶棒的准工序未完成，粘接胶水就已经固化的现象，这样就必须先将粘接胶水融化，然后再次对晶棒进行粘接，这样不仅增加了操作人员的劳动强度，而且降低了生产效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术中的缺陷，提供一种快速调整百分表位置的晶棒圆度校准仪。

为解决上述技术问题，本实用新型提出一种晶棒圆度校准仪，包括设于同一平台上的立柱和托盘，所述托盘受驱动装置驱动绕自身轴线转动，所述立柱垂直固定在所述平台上，百分表通过表架安装在所述立柱上，立柱的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽，所述限位滑槽的横截面形状为T字形，所述表架上适于与所述限位滑槽滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽的形状相匹配，所述限位滑槽两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽；

还包括适于将所述表架锁定在所述立柱上合适位置的锁定装置；所述锁定装置包括两交叉设置的锁杆、将两锁杆铰接安装在所述配合部上的定位销、以及为两锁杆提供锁定弹力的弹簧，所述各锁杆的一端为锁定端，其上设有适于与所述定位齿槽配合的定位凸齿，所述各锁杆另一端为解锁端，其上设有解锁按钮，在常态下，所述弹簧为所述两锁杆提供向外的锁定弹力，以使所述锁定端的定位凸齿与所述定位齿槽配合形成锁定。

采用上述结构后，与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：当需要将百分表在立柱上进行高度调节时，向内按压两解锁按钮，两锁杆的锁定端夹角变小，并将锁定弹簧压缩，从而使定位凸齿与定位齿槽分离实现解锁，然后将表架移动至合适高度位置后撤去施加在解锁按钮上的压力，在所述锁定弹簧复位弹力的作用下，两锁杆锁定端夹角变大，从而定位凸齿与相应位置的定位齿槽形成锁定配合，即完成表架的锁定定位，采用本实用新型中的结构能够方便调节表架高度，无需像现有技术中多次松紧螺丝，有效缩短了调节表架所需时间，提高了工作效率；其中，通过设置表架上与限位滑槽滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽的形状相匹配，限位滑槽的横截面形状为T字形，这样设置可实现表架的周向限位，并能够使表架在立柱高度方向上自由移动，确保两部件间连接的可靠性。

作为改进，配合部由底座和上盖连接构成，并在两者之间形成适于安装所述锁定装置的安装空间，这样，便于锁定装置的安装，且结构紧凑合理，能够对锁定装置起到防护作用。

作为改进，表架上用于安装百分表的连接杆为伸缩杆，这样在实践操作中可根据不同晶棒的尺寸将百分表测量针与晶棒之间的横向距离进行调节，满足使用需要。

作为改进，伸缩杆包括第一连接杆和活动插装在所述第一连接杆内的第二连接杆，所述第一连接杆的固定端与所述配合部固定连接，所述百分表固定在所述第二连接杆的自由端，所述第一连接杆与所述第二连接杆中的一个上设有周向限位凸台，所述第一连接杆和所述第二连接杆中的另一个上设有适于与所述周向限位凸台配合的周向限位槽，在所述第一连接杆上设有锁定螺丝，这样，可方便的将伸缩杆进行伸缩调节，保证百分表的测量针能够处于测量位置上。

附图说明

图1为本实用新型中晶棒圆度校准仪的结构示意图。

图2为本实用新型中表架的俯视图。

图3为本实用新型中图1中A区的局部放大图。

图中所示，1、立柱，2、托盘，3、百分表，5、表架，6、限位滑槽，7、定位齿槽，8、锁杆，9、定位销，10、弹簧，11、锁定端，12、定位凸齿，13、解锁端，14、第一连接杆，15、第二连接杆，16、锁定螺丝，17、周向限位凸台，18、周向限位槽，19、解锁按钮。

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步详细的说明：

本实用新型提出一种晶棒圆度校准仪，包括设于同一平台上的立柱1和托盘2，所述托盘2受驱动装置驱动绕自身轴线转动，所述立柱1垂直固定在所述平台上，百分表3通过表架5安装在所述立柱1上，立柱1的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽6，所述限位滑槽6的横截面形状为T字形，所述表架5上适于与所述限位滑槽6滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽6的形状相匹配，所述限位滑槽6两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽7；还包括适于将所述表架5锁定在所述立柱1上合适位置的锁定装置；所述锁定装置包括两交叉设置的锁杆8、将两锁杆8铰接安装在所述配合部上的定位销9、以及为两锁杆8提供锁定弹力的弹簧10，所述各锁杆8的一端为锁定端11，其上设有适于与所述定位齿槽7配合的定位凸齿12，所述各锁杆8另一端为解锁端13，其上设有解锁按钮19，在常态下，所述弹簧10为所述两锁杆8提供向外的锁定弹力，以使所述锁定端11的定位凸齿12与所述定位齿槽7配合形成锁定。本实用新型在实践操作中，当需要将百分表3在立柱1上进行高度调节时，向内按压两解锁按钮19，两锁杆8的锁定端11夹角变小，并将锁定弹簧10压缩，从而使定位凸齿12与定位齿槽7分离实现解锁，然后将表架5移动至合适高度位置后撤去施加在解锁按钮19上的压力，在所述锁定弹簧10复位弹力的作用下，两锁杆8锁定端11夹角变大，从而定位凸齿12与相应位置的定位齿槽7形成锁定配合，即完成表架5的锁定定位，采用本实用新型中的结构能够方便调节表架5高度，无需像现有技术中多次松紧螺丝，有效缩短了调节表架5所需时间，提高了工作效率；其中，通过设置表架5上与限位滑槽6滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽6的形状相匹配，限位滑槽6的横截面形状为T字形，这样设置可实现表架5的周向限位，并能够使表架5在立柱1高度方向上自由移动，确保两部件间连接的可靠性。

进一步，配合部由底座和上盖连接构成，并在两者之间形成适于安装所述锁定装置的安装空间，便于锁定装置的安装，且结构紧凑合理，能够对锁定装置起到防护作用。

进一步，表架5上用于安装百分表3的连接杆为伸缩杆，这样在实践操作中就可根据不同晶棒的尺寸将百分表3测量针与晶棒之间的横向距离进行调节，以满足使用需要。

再进一步，伸缩杆包括第一连接杆14和活动插装在所述第一连接杆14内的第二连接杆15，所述第一连接杆14的固定端与所述配合部固定连接，所述百分表3固定在所述第二连接杆15的自由端，所述第一连接杆14与所述第二连接杆15中的一个上设有周向限位凸台17，所述第一连接杆14和所述第二连接杆15中的另一个上设有适于与所述周向限位凸台17配合的周向限位槽18，在所述第一连接杆14上设有锁定螺丝16，可方便的将伸缩杆进行伸缩调节，保证百分表3的测量针能够处于测量位置上。

本实用新型中，弹簧10所设置的位置可在解锁端13，也可在锁定端11，亦或者是两端都设置。

以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。

Claims (4)

1.一种晶棒圆度校准仪，包括设于同一平台上的立柱(1)和托盘(2)，所述托盘(2)受驱动装置驱动绕自身轴线转动，所述立柱(1)垂直固定在所述平台上，百分表(3)通过表架(5)安装在所述立柱(1)上，其特征在于，所述立柱(1)的侧壁上设有沿高度方向设置的限位滑槽(6)，所述限位滑槽(6)的横截面形状为T字形，所述表架(5)上适于与所述限位滑槽(6)滑动配合的配合部的形状与所述限位滑槽(6)的形状相匹配，所述限位滑槽(6)两相对侧壁上沿其高度方向间隔设置有多个定位齿槽(7)；

还包括适于将所述表架(5)锁定在所述立柱(1)上合适位置的锁定装置；所述锁定装置包括两交叉设置的锁杆(8)、将两锁杆(8)铰接安装在所述配合部上的定位销(9)、以及为两锁杆(8)提供锁定弹力的弹簧(10)，所述各锁杆(8)的一端为锁定端(11)，其上设有适于与所述定位齿槽(7)配合的定位凸齿(12)，所述各锁杆(8)另一端为解锁端(13)，其上设有解锁按钮(19)，在常态下，所述弹簧(10)为所述两锁杆(8)提供向外的锁定弹力，以使所述锁定端(11)的定位凸齿(12)与所述定位齿槽(7)配合形成锁定。

2.根据权利要求1所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述配合部由底座和上盖连接构成，并在两者之间形成适于安装所述锁定装置的安装空间。

3.根据权利要求2所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述表架(5)上用于安装百分表(3)的连接杆为伸缩杆。

4.根据权利要求3所述的晶棒圆度校准仪，其特征在于，所述伸缩杆包括第一连接杆(14)和活动插装在所述第一连接杆(14)内的第二连接杆(15)，所述第一连接杆(14)的固定端与所述配合部固定连接，所述百分表(3)固定在所述第二连接杆(15)的自由端，所述第一连接杆(14)与所述第二连接杆(15)中的一个上设有周向限位凸台(17)，所述第一连接杆(14)和所述第二连接杆(15)中的另一个上设有适于与所述周向限位凸台(17)配合的周向限位槽(18)，在所述第一连接杆(14)上设有锁定螺丝(16)。