CN205229668U - 曝光机的uv能量调整装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种曝光机的UV能量调整装置,包含UV能量传感器及移动机构,移动机构驱动UV能量传感器移动,UV能量传感器感测曝光机的平面光源的UV-LED的照射能量,UV-LED用以照射曝光对象;UV能量调整部,连接UV-LED、UV能量传感器及移动机构以调整UV-LED的照射能量为相同。因此,本实用新型可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种曝光机的UV能量调整装置,尤其涉及一种可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率的装置。
背景技术
现今的印刷电路板多利用曝光机制成,然而一般的曝光机的光源在经常使用后,常会造成各个光源彼此照射的能量不一致,以致所有光源的照射能量不均匀,进而造成曝光不良,降低印刷电路板制成的合格率。
为此,中国台湾第M346791号新型专利揭露一种辉度检测装置,其主要是在平面发光体的上方布设多个辉度传感器,以感测平面发光体上多个位置的辉度。然而,由于第M346791号新型专利需在平面发光体的上方布设多个辉度传感器,因此第M346791号新型专利的感测结构复杂且成本高;另外,由于第M346791号新型专利需使用多个辉度传感器,而各个辉度传感器的质量并不一定会均一,因此各个辉度传感器所感测的辉度的基础并不一定会一致;再者,由于平面发光体的上方布设辉度传感器的空间有限,因此第M346791号新型专利并无法在平面发光体的上方布设对应平面发光体光源数量的辉度传感器,以确实感测平面发光体的各个光源的辉度;再者,第M346791号新型专利并未揭露若平面发光体的各个光源的辉度不同时要如何使各个光源的辉度相同。
另外,中国台湾第M409455号新型专利揭露一种曝光能量调整***,其主要是在平面发光体的照射方向上布设多个光能量传感器,以感测平面发光体上多个光源的曝光能量。然而,由于第M409455号新型专利需在平面发光体的照射方向上布设多个光能量传感器,因此第M409455号新型专利的感测结构复杂且成本高;另外,由于第M409455号新型专利需使用多个光能量传感器,而各个光能量传感器的质量并不一定会均一,因此各个光能量传感器所感测的曝光能量的基础并不一定会一致;再者,由于平面发光体的照射方向上布设光能量传感器的空间有限,因此第M409455号新型专利并无法于平面发光体的照射方向上布设对应平面发光体光源数量的光能量传感器,以确实感测平面发光体的各个光源的曝光能量;再者,当平面发光体的各个光源的曝光能量不同时,第M409455号新型专利是以调整各个光源的位置改善曝光能量的均匀性,其调整的方式实为烦琐。
再者,中国台湾第M506995号新型专利揭露一种曝光机的校验装置,其主要是在曝光机内建的上曝光平台及下曝光平台上分别设置有上光传感器及下光传感器,之后再利用曝光机内建的上移载机构及下移载机构相对于上曝光平台及下曝光平台的移动而使各个光传感器感测上照射部及下照射部的各个光源的照射能量。然而,由于第M506995号新型专利的光传感器是设置于曝光机内建的曝光平台上,因此第M506995号新型专利的校验装置仅能适用于特定机型的曝光机,而不能泛用于各式机型的曝光机。
因此,如何创作出一种曝光机的UV能量调整装置,以使其可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率,将是本实用新型所欲积极揭露之处。
实用新型内容
有鉴于上述现有技术的缺憾,发明人有感其未臻于完善,于是竭其心智悉心研究克服,进而研发出一种曝光机的UV能量调整装置,以期达到可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率的目的。
为达上述目的及其他目的,本实用新型提供一种曝光机的UV能量调整装置,其包含:UV能量感测部,其具有UV能量传感器及至少一个移动机构,该移动机构驱动该UV能量传感器移动,该UV能量传感器用以感测该曝光机的一平面光源的多个UV-LED的照射能量,上述UV-LED用以照射曝光对象;以及UV能量调整部,其连接上述UV-LED、该UV能量传感器及该移动机构,以调整上述UV-LED的照射能量为相同。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,该UV能量传感器通过该移动机构相对于该平面光源移动以感测上述UV-LED的照射能量,上述UV-LED的照射能量传送至该UV能量调整部,该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为上述UV-LED的照射能量中的最低者,或该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为指定的照射能量。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,该平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两个,其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动,另一个移动机构驱动该移动机构移动,该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互垂直。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,该平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分,该移动机构的数量为一个,该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动,该平面光源的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,该UV能量调整部为计算处理器。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED平面排列成方形或矩形。
上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED成矩阵排列或错位排列。
因此,本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可调整各式机型的曝光机的UV-LED的照射能量为均匀以提升制程的合格率。
附图说明
图1为本实用新型较佳具体实施例的示意图;
图2为本实用新型较佳具体实施例UV-LED成矩阵排列的示意图;
图3为本实用新型较佳具体实施例UV-LED成错位排列的示意图;
图4为本实用新型另一较佳具体实施例的示意图一;
图5为本实用新型另一较佳具体实施例UV-LED成矩阵排列的示意图;
图6为本实用新型另一较佳具体实施例UV-LED成错位排列的示意图;
图7为本实用新型另一较佳具体实施例的示意图二。
【符号说明】
1平面光源
11UV-LED
2UV能量感测部
21UV能量传感器
22移动机构
23第一方向
24第二方向
3UV能量调整部
4平面光源
41UV-LED
42移动机构
6底片
7欲曝光的印刷电路板基材
具体实施方式
为充分了解本实用新型的目的、特征及功效,现通过下述具体的实施例,并配合附图,对本实用新型做进一步详细说明,说明如下:
请参考图1至图6,如图所示,本实用新型提供一种曝光机的UV(紫外光)能量调整装置,其包含UV能量感测部2及UV能量调整部3。其中,该UV能量感测部2具有UV能量传感器21及至少一个移动机构22,该移动机构22可为传动轨道、传动皮带或传动链条…等,该移动机构22驱动该UV能量传感器21于第一方向(如y轴方向)移动或上述移动机构22驱动该UV能量传感器21于第一方向(如y轴方向)及第二方向(如x轴方向)移动,该UV能量传感器21用以感测该曝光机的一平面光源1的多个UV-LED11(紫外光-发光二极管)的照射能量,上述UV-LED11为平面排列,上述UV-LED11用以照射一曝光对象,该曝光对象设置于该曝光机中且可为欲曝光的印刷电路板基材7,该平面光源1通过设置于该曝光机中的底片6照射该欲曝光的印刷电路板基材7,进而使该欲曝光的印刷电路板基材7曝光,该底片6具有欲曝光的电路图像(图中未示);该UV能量调整部3连接上述UV-LED11、该UV能量传感器21及该移动机构22(或上述移动机构22),以调整上述UV-LED11的照射能量为相同,该UV能量调整部3可为计算处理器。
如上所述,当该曝光机不进行制程时,该UV能量传感器21可通过该移动机构22或上述移动机构22相对于该平面光源1移动以感测各个位置的UV-LED11的照射能量,并将各个位置的UV-LED11的照射能量传送至该UV能量调整部3,之后该UV能量调整部3便可调整所有UV-LED11的照射能量为相同,进而使该平面光源1的照射能量均匀,提升印刷电路板制程的合格率。另外,由于本实用新型的UV能量感测部2及UV能量调整部3可外加于该曝光机,因此本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可适用于各式机型的曝光机。
请再参考图1至图6,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,该UV能量传感器21可通过该移动机构22或上述移动机构22相对于该平面光源1移动以感测上述UV-LED11的照射能量,之后上述UV-LED11的照射能量可传送至该UV能量调整部3,例如,上述UV-LED11的照射能量讯号或照射能量强度可通过有线方式或蓝牙、红外线、WiFi或云端等无线方式传送至该UV能量调整部3,接着该UV能量调整部3便可调整上述UV-LED11的照射能量为上述UV-LED11的照射能量中的最低者,或可调整上述UV-LED11的照射能量为指定的照射能量,进而使上述UV-LED11的照射能量为相同。因此,本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可使该平面光源1的照射能量均匀,以提升印刷电路板制程的合格率。
请再参考图1至图3,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,当该平面光源1为固定式时,该平面光源1用以照射该曝光对象的全部,此时,该UV能量感测部2的移动机构22的数量为两个,其中一个移动机构22可驱动该UV能量传感器21于第二方向(如x轴方向)移动,另一个移动机构22则可驱动该移动机构22于第一方向(如y轴方向)移动,该UV能量传感器21的移动方向与该移动机构22的移动方向相互垂直。因此,当该曝光机不进行制程时,该UV能量传感器21可通过上述移动机构22相对于该平面光源1平面移动(例如该UV能量传感器21行移动完换列再行移动,或该UV能量传感器21列移动完换行再列移动)以感测各个位置的UV-LED11的照射能量,并将各个位置的UV-LED11的照射能量传送至该UV能量调整部3,例如,将上述UV-LED41的照射能量讯号或照射能量强度通过有线方式或蓝牙、红外线、WiFi或云端等无线方式传送至该UV能量调整部3,之后该UV能量调整部3便可调整所有UV-LED11的照射能量为相同(例如将所有的UV-LED11的照射能量调整为所有的UV-LED11的照射能量中的最低者,或将所有的UV-LED41的照射能量调整为指定的照射能量),进而使该平面光源1的照射能量均匀,提升印刷电路板制程的合格率。另外,由于本实用新型的UV能量感测部2及UV能量调整部3可外加于该曝光机,因此本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可适用于各式具有固定式的平面光源1的曝光机。
请再参考图2及图3,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED11可平面排列成方形(或矩形)以符合不同曝光机的需要。
请再参考图2及图3,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED11可成矩阵排列(如图2所示)或错位排列(如图3所示)以符合不同曝光机的需要。
请再参考图4至图6,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,当该平面光源4为移动式时,该平面光源4用以照射该曝光对象的部分,此时,该平面光源4可具有移动机构42,而该UV能量感测部2的移动机构22的数量为一个,该移动机构42可为传动轨道、传动皮带或传动链条…等,该UV能量调整部3连接该平面光源4的移动机构42以控制该平面光源4于第一方向(如y轴方向)移动,该移动机构22驱动该UV能量传感器21于第二方向(如x轴方向)移动,该平面光源4的移动方向与该UV能量传感器21的移动方向相互垂直。因此,当该曝光机不进行制程时,该平面光源4及该UV能量传感器21可分别通过该移动机构42及该移动机构22相对垂直移动(例如该平面光源4行移动完换该UV能量传感器21换列再换该平面光源4行移动,或该平面光源4列移动完换该UV能量传感器21换行再换该平面光源4列移动)以感测各个位置的UV-LED41的照射能量,并将各个位置的UV-LED41的照射能量传送至该UV能量调整部3,例如,将上述UV-LED41的照射能量讯号或照射能量强度通过有线方式或蓝牙、红外线、WiFi或云端等无线方式传送至该UV能量调整部3,之后该UV能量调整部3便可调整所有UV-LED41的照射能量为相同(例如将所有的UV-LED41的照射能量调整为所有的UV-LED41的照射能量中的最低者,或将所有的UV-LED41的照射能量调整为指定的照射能量),进而使该平面光源4的照射能量均匀,提升印刷电路板制程的合格率。另外,由于本实用新型的UV能量感测部2及UV能量调整部3可外加于该曝光机,因此本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可适用于各式具有移动式的平面光源4的曝光机。综合上述图1的曝光机的UV能量调整装置,本实用新型的曝光机的UV能量调整装置可泛用于各式机型的曝光机。
请再参考图5及图6,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED41可平面排列成矩形(或方形)以符合不同曝光机的需要。
请再参考图5及图6,如图所示,上述的曝光机的UV能量调整装置中,上述UV-LED41可成矩阵排列(如图5所示)或错位排列(如图6所示)以符合不同曝光机的需要。
请参考图7,如图所示,图7的曝光机的UV能量调整装置与图4的曝光机的UV能量调整装置的运作原理相同,差异仅在于图7的该移动机构42驱动该平面光源4于该第二方向24(如x轴方向)移动,该移动机构22驱动该UV能量传感器21于该第一方向23(如y轴方向)移动。
本实用新型在上文中已通过较佳实施例揭露,然而熟习本领域技术人员应理解的是,该实施例仅用于描绘本实用新型,而不应解读为限制本实用新型的范围。应注意的是,凡是与该实施例等效的变化与置换,均应设为涵盖于本实用新型的范畴内。因此,本实用新型的保护范围应当以权利要求书所界定的范围为准。
Claims (11)
1.一种曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,包含:
UV能量感测部,其具有UV能量传感器及至少一个移动机构,该移动机构驱动该UV能量传感器移动,该UV能量传感器用以感测该曝光机的平面光源的多个UV-LED的照射能量,上述UV-LED用以照射曝光对象;以及
UV能量调整部,其连接上述UV-LED、该UV能量传感器及该移动机构,以调整上述UV-LED的照射能量为相同。
2.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该UV能量传感器通过该移动机构相对于该平面光源移动以感测上述UV-LED的照射能量,上述UV-LED的照射能量传送至该UV能量调整部,该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为上述UV-LED的照射能量中的最低者,或该UV能量调整部调整上述UV-LED的照射能量为指定的照射能量。
3.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两个,其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动,另一个移动机构驱动该移动机构移动,该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互垂直。
4.如权利要求2所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该平面光源为固定式且用以照射该曝光对象的全部,该移动机构的数量为两个,其中一个移动机构驱动该UV能量传感器移动,另一个移动机构驱动该移动机构移动,该UV能量传感器的移动方向与该移动机构的移动方向相互垂直。
5.如权利要求1所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分,该移动机构的数量为一个,该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动,该平面光源的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。
6.如权利要求2所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该平面光源为移动式且用以照射该曝光对象的部分,该移动机构的数量为一个,该UV能量调整部连接该平面光源以控制该平面光源移动,该平面光源的移动方向与该UV能量传感器的移动方向相互垂直。
7.如权利要求1至6中任一项所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,该UV能量调整部为计算处理器。
8.如权利要求1至6中任一项所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,上述UV-LED平面排列成方形或矩形。
9.如权利要求7所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,上述UV-LED平面排列成方形或矩形。
10.如权利要求8所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,上述UV-LED成矩阵排列或错位排列。
11.如权利要求9所述的曝光机的UV能量调整装置,其特征在于,上述UV-LED成矩阵排列或错位排列。
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CN107589636A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-16 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 一种紫外曝光机的led曝光装置及其紫外曝光机 |
CN112985595A (zh) * | 2021-03-25 | 2021-06-18 | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 | 一种用于纳米压印设备的uv灯监测装置及其监测方法 |
JP2022184872A (ja) * | 2020-05-21 | 2022-12-13 | フェニックス電機株式会社 | 光照射装置、およびこれを備える露光装置 |
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