CN205175475U - 气量测定*** - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种气量测定***，属于真空泵气体体积测量技术领域，包括节流组件、真空泵，至少两组节流组件并联至汇流总管，汇流总管连接真空泵入口，节流组件包括孔板节流装置、调节阀，调节阀设置在孔板节流装置与汇流总管的连接管路上，孔板节流装置上设有差压计。本实用新型一次安装，多次测量，减少辅助时间，提高测量效率。

Description

气量测定***

技术领域

本实用新型涉及一种气量测定***，属于真空泵气体体积测量技术领域。

背景技术

在现有的测量技术标准中，真空泵(真空***)的气量测量是按气量范围，选择一至数个孔板节流装置，从大到小依次更换。

现有的测量技术标准的缺陷：

1、单个的孔板节流装置测量范围有限，在测量范围的最大值与最小值附近误差较大。当在不同的测量点测量时，经常会需要更换另一种孔板节流装置，从而需要多次吊装孔板节流装置，增加辅助时间，达不到安全、高效的目的。

2、孔板节流装置需要停机更换，占用时间长，测量效率较低。

3、同一地点校准时，需要停机。

实用新型内容

根据以上现有技术的不足，本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种气量测定***，一次安装，多次测量，减少辅助时间，提高测量效率。

本实用新型所述的气量测定***，包括节流组件、真空泵，至少两组节流组件并联至汇流总管，汇流总管连接真空泵入口，节流组件包括孔板节流装置、调节阀，调节阀设置在孔板节流装置与汇流总管的连接管路上，孔板节流装置上设有差压计。

通过并联多组节流组件，弥补现有常用的单个的孔板节流装置气体体积流量装置的不足，大幅拓展测量范围，在不停机更换孔板节流装置的情况下，实现一台真空泵的全工作范围测量。

所述的节流组件包括第一节流组件、第二节流组件，第一节流组件包括第一孔板节流装置、第一调节阀、第一差压计，第一孔板节流装置连接第一调节阀，第一调节阀连接汇流总管；第二节流组件包括第二孔板节流装置、第二调节阀、第二差压计，第二孔板节流装置连接第二调节阀，第二调节阀连接汇流总管。

所述的节流组件还包括第三节流组件，第三节流组件包括第三孔板节流装置、第三调节阀、第三差压计，第三孔板节流装置连接第三调节阀，第三调节阀连接汇流总管。

所述的孔板节流装置包括依次相接的前直管、前环室、后环室及后直管，孔板设置在前环室、后环室之间，前环室与前直管之间、后环室与后直管之间设置垫片，前直管、后直管通过螺栓、螺母锁紧。

所述的汇流总管与真空泵之间设有连接软管及真空计。

所述的调节阀为电控阀门。

测量所用气体为环境空气，气体的入口压力为环境压力，汇流总管气体的出口压力为真空泵的入口压力，通过孔板节流装置的气体密度是环境空气的密度，用差压计测出流经该孔板节流装置的气体产生的压差，得出相应的气体体积Q1、Q2……Qn，通过真空泵(真空***)入口的气体体积流量是流经汇总管(起稳流、稳压作用)的气体体积之和Q(即Q＝Q1+Q2+……+Qn)，再按标准规定换算获得。

与现有技术相比，本实用新型具有的有益效果是：

1、本气量测定***通过一次安装，可测量多个工艺工况点，避免频繁更换孔板节流装置，减少辅助时间，提高测量效率，减少不安全因数。

2、通过并联多组节流组件，拓展***的测量范围，避开单一孔板节流装置的上下限位置，使测量更加准确，能够得到真实测量数据。

3、在不停机更换孔板节流装置的情况下，实现一台真空泵的全工作范围测量。

4、对不同的孔板节流装置，在同一工作点能在不停机的情况下，进行相互的校准工作。

5、汇流总管能起到稳流、稳压作用，能够减小测量误差，提高测量准确度。

6、孔板节流装置通过电控阀门调节，通过微机辅助测试***，使测量方便、减小随机、人为误差，提高测量的精确度与准确度。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是孔板节流装置结构示意图。

图中：1、第一孔板节流装置；2、第一差压计；3、第一调节阀；4、汇流总管；5、真空计；6、连接软管；7、真空泵；8、第二孔板节流装置；9、第二差压计；10、第二调节阀；11、第三孔板节流装置；12、第三差压计；13、第三调节阀；14、前直管；15、垫片；16、前环室；17、孔板；18、后环室；19、后直管；20、螺栓；21、螺母。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施例做进一步说明。

实施例一

如图1所示，本气量测定***包括节流组件、真空泵7，至少两组节流组件并联至汇流总管4，本实施例中设置第一节流组件、第二节流组件，第一节流组件包括第一孔板节流装置1、第一调节阀3、第一差压计2，第一孔板节流装置1通过管路连接第一调节阀3，第一调节阀3通过管路连接汇流总管4，第一孔板节流装置1连接第一差压计2。第二节流组件包括第二孔板节流装置8、第二调节阀10、第二差压计9，第二孔板节流装置8通过管路连接第二调节阀10，第二调节阀10通过管路连接汇流总管4，第二孔板节流装置8连接第二差压计9。第一调节阀3、第二调节阀10均为电控阀门，电控阀门调整更加准确。

汇流总管4通过管路连接真空泵7入口，汇流总管4与真空泵7之间设有连接软管6及真空计5。

如图2所示，所述的第一孔板节流装置1包括依次相接的前直管14、前环室16、后环室18及后直管19，孔板17设置在前环室16、后环室18之间，前环室16与前直管14之间、后环室18与后直管19之间设置垫片15，前直管14、后直管19通过螺栓20、螺母21锁紧。第二孔板节流装置8与第一孔板节流装置1结构相同。

实施例二

本实施例中还设置第三节流组件，第三节流组件包括第三孔板节流装置11、第三调节阀13、第三差压计12，第三孔板节流装置11连接第三调节阀13，第三调节阀13连接汇流总管4。第三孔板节流装置11与第一孔板节流装置1、第二孔板节流装置8结构相同。第三调节阀13为电控阀门。

工作时，通过控制第一调节阀3、第二调节阀10、第三调节阀13的不同开度，来模拟不同的真空工艺工况。气流经第一节流组件、第二节流组件及第三节流组件进入汇流总管4，通过不同的孔板节流装置采取数据。气流由汇流总管4进入真空泵7，汇流总管4起到稳流、稳压作用，进一步减小测量误差。

Claims (6)

1.一种气量测定***，包括节流组件、真空泵(7)，其特征在于：至少两组节流组件并联至汇流总管(4)，汇流总管(4)连接真空泵(7)入口，节流组件包括孔板节流装置、调节阀，调节阀设置在孔板节流装置与汇流总管(4)的连接管路上，孔板节流装置上设有差压计。

2.根据权利要求1所述的气量测定***，其特征在于：所述的节流组件包括第一节流组件、第二节流组件，第一节流组件包括第一孔板节流装置(1)、第一调节阀(3)、第一差压计(2)，第一孔板节流装置(1)连接第一调节阀(3)，第一调节阀(3)连接汇流总管(4)；第二节流组件包括第二孔板节流装置(8)、第二调节阀(10)、第二差压计(9)，第二孔板节流装置(8)连接第二调节阀(10)，第二调节阀(10)连接汇流总管(4)。

3.根据权利要求1所述的气量测定***，其特征在于：所述的节流组件还包括第三节流组件，第三节流组件包括第三孔板节流装置(11)、第三调节阀(13)、第三差压计(12)，第三孔板节流装置(11)连接第三调节阀(13)，第三调节阀(13)连接汇流总管(4)。

4.根据权利要求1所述的气量测定***，其特征在于：所述的孔板节流装置包括依次相接的前直管(14)、前环室(16)、后环室(18)及后直管(19)，孔板(17)设置在前环室(16)、后环室(18)之间，前环室(16)与前直管(14)之间、后环室(18)与后直管(19)之间设置垫片(15)，前直管(14)、后直管(19)通过螺栓(20)、螺母(21)锁紧。

5.根据权利要求1所述的气量测定***，其特征在于：所述的汇流总管(4)与真空泵(7)之间设有连接软管(6)及真空计(5)。

6.根据权利要求1所述的气量测定***，其特征在于：所述的调节阀为电控阀门。