CN204874822U - 多晶硅铸锭炉高效率加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻，四个石墨电阻的首尾通过连接板固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面和位于所述折弯面两侧的连接面，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。本实用新型能够有效拓展加热器围成的内部空间，增加多晶硅锭的产量，且可以增加侧部加热器的抗折断能力，还可以调节热场。

Description

多晶硅铸锭炉高效率加热器

技术领域

本实用新型涉及一种为多晶硅铸锭炉提供热场的加热器，具体是涉及一种多晶硅铸锭炉高效率加热器。

背景技术

多晶硅铸锭炉主要包括坩埚、加热器、隔热笼、炉腔壳体，炉腔壳体内设置坩埚，坩埚置于石墨冷却块上，坩锅的上方设置有罩住坩埚上面和侧面的加热器，加热器为坩埚内硅材料提供加热源，形成炉腔壳体内的加热场。现有技术中，加热器通常包括位于坩埚上方的第一加热器组件和位于坩埚四周的第二加热器组件，第一加热器组件由多块呈N型和U型的电阻拼接而成，第二加热器组件由四块呈波浪型的电阻依次首尾相连而成，第一加热器组件通过多个连接件与第二加热器组件连接为一体。由于加热器周侧及顶部围成的空间决定了多晶硅铸锭用坩埚的大小，也就决定了多晶硅锭的产量，因此，现在技术中这种结构限制了坩埚的大小，进而限制了多晶硅锭的产量。此外，用于第二加热器组件首尾相连的连接板通常为直角结构，在加热器冷热交替过程中，容易产生折断，造成加热器损坏。

发明内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提出一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，能够有效拓展加热器围成的内部空间，增加多晶硅锭的产量，且可以增加侧部加热器的抗折断能力，还可以调节热场。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻，四个石墨电阻的首尾通过连接板固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面和位于所述折弯面两侧的连接面，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。

作为本实用新型的进一步改进，还包括设于铸锭炉的坩埚顶部可升降调节的顶部加热器。

作为本实用新型的进一步改进，设有若干滑杆，每个滑杆可升降穿设定位于所述铸锭炉的炉腔壳体顶部，若干所述滑杆的底端与所述顶部加热器固定连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，相对现有技术中90度直角两面连接的连接板结构，本实用新型中折弯面和其两侧的两个连接面形成一种三个面桥梁式过渡连接的连接板结构，可有效拓展侧部加热器围成的空间，从而能够设置较大的坩埚，进而增加多晶硅锭的产量，且这种三个面桥梁式过渡连接的连接板结构能够增加其抗折断能力，避免在频繁加热冷却过程中造成连接板折断，导致加热器损坏。较佳的，还设有顶部加热器，顶部加热器与侧部加热器配合，形成一个包围坩埚顶部和侧部的罩状结构，可为坩埚提供一个稳定可靠高效的热场。通过顶部加热器的可升降调节，可调节顶部加热器与坩埚顶部的距离，从而可根据实际需要调节热场。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

结合附图，作以下说明：

1——侧部加热器11——石墨电阻

12——连接板121——折弯面

122——连接面2——顶部加热器

具体实施方式

为使本实用新型能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

如图1所示，一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器1，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻11，四个石墨电阻的首尾通过连接板12固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面121和位于所述折弯面两侧的连接面122，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。相对现有技术中90度直角两面连接的连接板结构，本实用新型中折弯面和其两侧的两个连接面形成一种三个面桥梁式过渡连接的连接板结构，可有效拓展侧部加热器围成的空间，从而能够设置较大的坩埚，进而增加多晶硅锭的产量，且这种三个面桥梁式过渡连接的连接板结构能够增加其抗折断能力，避免在频繁加热冷却过程中造成连接板折断，导致加热器损坏。

优选的，还包括设于铸锭炉的坩埚顶部可升降调节的顶部加热器2。这样，顶部加热器与侧部加热器配合，形成一个包围坩埚顶部和侧部的罩状结构，可为坩埚提供一个稳定可靠高效的热场，顶部加热器和侧部加热器均通过石墨电极通电加热。由于顶部加热器可升降调节，因此可调节顶部加热器与坩埚顶部的距离，从而可根据实际需要调节热场。

优选的，设有若干滑杆，每个滑杆可升降穿设定位于所述铸锭炉的炉腔壳体顶部，若干所述滑杆的底端与所述顶部加热器固定连接。作为一种优选实施例，顶部加热器通过可上下移动滑动并定位的滑杆实现其升降功能。

以上实施例是参照附图，对本实用新型的优选实施例进行详细说明。本领域的技术人员通过对上述实施例进行各种形式上的修改或变更，但不背离本实用新型的实质的情况下，都落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种多晶硅铸锭炉高效率加热器，其特征在于：包括设于铸锭炉的坩埚四周的侧部加热器(1)，所述侧部加热器包括四块呈波浪形的石墨电阻(11)，四个石墨电阻的首尾通过连接板(12)固定连接，形成一方形环，所述连接板包括折弯面(121)和位于所述折弯面两侧的连接面(122)，所述折弯面及两个连接面一体折弯成型，两个连接面通过碳碳螺栓分别与相邻的两个石墨电阻固定连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉高效率加热器，其特征在于：还包括设于铸锭炉的坩埚顶部可升降调节的顶部加热器(2)。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉高效率加热器，其特征在于：设有若干滑杆，每个滑杆可升降穿设定位于所述铸锭炉的炉腔壳体顶部，若干所述滑杆的底端与所述顶部加热器固定连接。