CN204874722U - 一种磁控溅射大型镀膜真空腔 - Google Patents
一种磁控溅射大型镀膜真空腔 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204874722U CN204874722U CN201520395011.4U CN201520395011U CN204874722U CN 204874722 U CN204874722 U CN 204874722U CN 201520395011 U CN201520395011 U CN 201520395011U CN 204874722 U CN204874722 U CN 204874722U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- circular
- cavity
- ring cylinder
- base plate
- bottom plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种磁控溅射大型镀膜真空腔，包括腔室，顶板和底板，所述腔室主体为圆环柱体，设有上顶板和底板与圆环柱体密封固定；所述底板上设有与圆环柱体的圆同心的二个圆形槽，所述顶板上设有与底板上二个圆槽相同直径的两个圆形固定槽，两个圆形固定槽中间设有圆形沟槽；圆形沟槽上支承1-5个在圆形沟槽电动滑轮，每个电动滑轮均设有一个靶材固定点。本实用新型的优点在于：可以将两张面积较大的待镀基板卷绕在圆环柱体内两个圆形固定槽中，实现同时镀两张大面积膜的目的。圆环柱体空腔相较现有的圆柱体空腔和平面空腔更容易实现真空密封状态，且密封持久性强。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种镀大型板用磁控溅射镀膜真空腔室。
背景技术
传统的磁控溅射镀膜腔室采用平面腔体或者圆柱形腔体，对于大面积待镀基板来说，大型平面和大型圆柱体的镀膜真空腔的密封不易保持，对真空设备的要求较高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：将提供一种可以同时镀两张大面积待镀基板磁控溅射镀膜真空腔室。
为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案是：磁控溅射大型镀膜真空腔，包括：腔室，顶板和底板，所述腔室主体为圆环柱体，设有上顶板和底板与圆环柱体密封固定；所述底板上设有与圆环柱体的圆同心的二个圆形槽，所述顶板上设有与底板上二个圆槽相同直径的两个圆形固定槽，两个圆形固定槽中间设有圆形沟槽；圆形沟槽上支承1-5个在圆形沟槽电动滑轮，每个电动滑轮均设有一个靶材固定点。
本实用新型的优点在于：通过采用圆环柱体的真空腔，降低腔体抽真空的难度，使腔体的密封持久性更好；通过采用两个基板固定沟槽和一个带滑轮靶材固定槽，可将大面积待镀基板卷绕在圆柱环体腔室中，达到同时镀两张膜的效果；顶板上的滑轮装置便于调整靶材位置，使镀膜更加均匀。
附图说明
图1是本实用新型所述圆环柱体空腔的整体构造图，
图2是本实用新型所述空腔顶板的俯视图。
图3是本实用新型所述空腔底板的俯视图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作更进一步的说明。
如图1所示，一种磁控溅射大型镀膜真空腔，包括：腔室(10)，顶板(1)和底板(11)，所述腔室(10)主体为圆环柱体，设有上顶板(1)和底板(11)与圆环柱体密封固定；所述底板(11)上设有与圆环柱体的圆同心的二个圆形槽(7)(8)，所述顶板(1)上设有与底板(11)上二个圆槽(7)(8)相同直径的两个圆形固定槽(2)(3)，两个圆形固定槽中间设有圆形沟槽(4)；圆形沟槽上支承1-5个电动滑轮(5)，每个电动滑轮均设有一个靶材固定点(6)。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (1)
1.一种磁控溅射大型镀膜真空腔，由腔室(10)，顶板（1）和底板（11）组成，其特征在于：所述腔室（10）主体为圆环柱体，设有上顶板（1）和底板（11）与圆环柱体密封固定；所述底板（11）上设有与圆环柱体的圆同心的二个圆形槽(7)(8)，所述顶板（1）上设有与底板（11）上二个圆槽(7)(8)相同直径的两个圆形固定槽(2)(3)，两个圆形固定槽中间设有圆形沟槽（4）；圆形沟槽上支承1-5个电动滑轮(5)，每个电动滑轮均设有一个靶材固定点(6)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520395011.4U CN204874722U (zh) | 2015-06-09 | 2015-06-09 | 一种磁控溅射大型镀膜真空腔 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520395011.4U CN204874722U (zh) | 2015-06-09 | 2015-06-09 | 一种磁控溅射大型镀膜真空腔 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204874722U true CN204874722U (zh) | 2015-12-16 |
Family
ID=54819118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520395011.4U Expired - Fee Related CN204874722U (zh) | 2015-06-09 | 2015-06-09 | 一种磁控溅射大型镀膜真空腔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204874722U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629181A (zh) * | 2019-10-20 | 2019-12-31 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 大型磁控溅射镀膜机的真空室结构 |
-
2015
- 2015-06-09 CN CN201520395011.4U patent/CN204874722U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629181A (zh) * | 2019-10-20 | 2019-12-31 | 湖南玉丰真空科学技术有限公司 | 大型磁控溅射镀膜机的真空室结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200734450A (en) | Chemical solution | |
| CN204874722U (zh) | 一种磁控溅射大型镀膜真空腔 | |
| WO2017180062A8 (en) | Porous polymer and production methods thereof | |
| WO2015196216A3 (en) | High altitude balloon and method and apparatus for its manufacture | |
| CN103560104A (zh) | 真空吸附传送装置和基板传送方法 | |
| WO2016153299A3 (ko) | 유체 분리막을 포함하는 유체 분리 장치 및 유체 분리막 모듈 | |
| CN204342871U (zh) | 一种眼镜片镀膜夹具 | |
| CN202705535U (zh) | 一种线路板电镀镀铜装置 | |
| CN210016836U (zh) | 一种夹持取放吸嘴结构 | |
| CN104278244A (zh) | 一种旋转磁场平面阴极 | |
| CN103633005B (zh) | 大面积异形晶片匀胶均匀性控制装置 | |
| CN201999231U (zh) | 一种硅胶膜 | |
| WO2019157136A3 (en) | Gas mixer and pressurizer apparatus | |
| CN203863380U (zh) | 轮毂加工支撑定位装置 | |
| CN203929487U (zh) | 一种超声波氮吹仪 | |
| CN204159343U (zh) | 一种塔节填料的支撑结构 | |
| CN209836292U (zh) | 一种tft旋转钼靶绑定装置 | |
| CN207692639U (zh) | 一种吊装式海藻移植用移动平台 | |
| CN203862516U (zh) | 轮毂涂装夹持装置 | |
| CN104607363A (zh) | 一种点接触式真空吸盘 | |
| CN204254382U (zh) | 一种声控灯 | |
| CN102259458A (zh) | 一种硅胶膜 | |
| CN203680132U (zh) | 一种晶体镀膜夹具 | |
| CN204642665U (zh) | 可释放负离子的纸箱 | |
| CN204587650U (zh) | 成盘水松纸存放架 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151216 Termination date: 20200609 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |