CN204735494U - 自动化清洗站 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种自动化清洗站，其机体具有一供轨道与高架起重搬运器通过的清洗空间，该机体于该清洗空间的内壁区域安装着至少一吸风盘、至少一风刀及至少一离子释放棒；至少一吸气接头安装在该机体上并由内部的吸气管路与该吸风盘相接；至少一供气接头安装在该机体上并由内部的供气管路与该风刀相接；至少一离子云产生器，安装在该机体内上并由内部线路与该离子释放棒相接；借此自动化物料搬运***(AMHS)中的高架起重搬运器(OHT)能经该轨道进入自动化清洗站，由该自动化清洗站经消除静电、吹风除尘、吸气集尘等程序，有效率地去除该轨道及该高架起重搬运器顶部与机身上附着的粉屑颗粒(Particle)。
Description
技术领域
本实用新型是一种用于晶圆厂的自动化清洗站的技术领域，特别是一种针对分布于无尘室高空中的自动化物料搬运***(AMHS)，所设计能有效率地去除粉尘的设备。
背景技术
半导体12吋(300mm)晶圆厂，因为生产高科技芯片，对于芯片生产环境的要求非常严格，目前业界已知因素中粉尘与震动对芯片良率的影响不容忽视。此类晶圆厂中是采用自动化物料搬运***(Automated Material Handling System,简称AMHS)，利用高电压产生磁浮力驱动各式搬运车的运行，其磁场所产生大量静电让环境中飞扬的微小粉尘容易沾附于搬运车上，且搬运车***行驶速度高，因轨道环绕无尘室运行而有许多接缝与转弯处，也容易使搬运车产生较大的震动，搬运车经年累月运转，其本身零组件与运行轨道摩擦，产生大量的粉尘(particle)，这些粉尘将随着搬运车运行和震动而散布于无尘室中，这对于芯片生产的良率会造成严重的影响。其中因为高架起重搬运器(Overhead Hoist Transports,简称OHT)直接将装载芯片(Wafer)的前开式晶圆运载盒(Front Opening Unified Pod,简称FOUP)，运送至芯片生产机台的前开式接口机械标准(Front-Opening Interface Mechanical Standard，简称FIMS)***，所以最容易将搬运车上的粉尘震落并沾附于FOUP上，当生产机台开启FOUP门的时候，因机台内为真空状态(负压)，会将FOUP上与环境中的粉尘吸入生产机台内，造成粉尘散落在芯片上因而造成芯片的严重缺陷。
理想的解决办法是定期去除附着在高架起重搬运器(OHT)上及分布于轨道上的粉尘，尤其是囤积在高架起重搬运器(OHT)上的粉屑颗粒(Particle)。但是高架起重搬运器(OHT)运行在分布于晶圆厂内的高空轨道上，以人工清洗除安全疑虑外也不方便及实际，耗时又会降低产能，且去除过程中若造成粉 尘飘散，更会造成厂房环境遭受污染，有鉴于此，本实用新型创作人设计了此一自动化清洗站。
实用新型内容
本实用新型主要目的在于提供一种自动化清洗站，运用于晶圆厂的无尘室内，针对自动化物料搬运***(AMHS)中的易囤积粉屑颗粒(Particle)的高架起重搬运器(OHT)顶面和机身以及轨道，使用消除静电、吹风除尘等程序加以清洗，之后吸气同时将粉屑颗粒(Particle)吸入管内而被收集，有效率地去除粉屑颗粒(Particle)，减少晶圆生产中有可能影响良率的潜在危害因素。
为达上述的目的，本实用新型提供一种自动化清洗站，其结构包括：一机体，具有供轨道和高架起重搬运器通过的一清洗空间，该机体于该清洗空间的内壁区域安装着至少一吸风盘、至少一风刀与至少一离子释放棒；至少一吸气接头，安装在该机体上，由该机体内的吸气管路与该吸风盘相接；至少一供气接头，安装在该机体上，由该机体内的供气管路与该风刀相接；以及至少一离子云产生器，安装于该机体上，由该机体内线路与该离子释放棒相接。
其中，该清洗空间由上而下分为第一空间及第二空间，尺寸是由第一空间渐渐向第二空间扩大，该第一空间能供该轨道通过，该第二空间能供该高架起重搬运器通过。
其中，该风刀与该离子释放棒安装在该机体内的位置邻近于该第一空间与该第二空间相接区域的侧壁，该侧壁具有一狭长的送风口，该风刀所产生的喷射风流以及该离子释放棒所产生的正、负离子皆经该送风口进入该清洗空间内。
其中，该风刀与该离子释放棒具有两组，分别安装于两个位置相对的该第一空间与该第二空间相接区域，即在该轨道及该高架起重搬运器经过路径的两侧位置。
其中，该风刀的出风口是面对该高架起重搬运器的顶面位置。
其中，该吸风盘安装在该机体的位置是在该第二空间所在区域的内壁。
其中，该第二空间所在区域的内壁剖面呈U字型，其中该吸风盘具有三组，并分布于两垂直面及底面位置。
其中，上述自动化清洗站进一步包括有至少一喷气装置，该喷气装置安装 于该机体内，每一喷气装置包括一旋转机构及一喷气管，该喷气管与该供气管路相接并由该旋转机构带动旋转，该喷气管的喷气口经由该旋转机构动作能位于该轨道内。
其中，该喷气装置数目为四个，位置是在该机体内四角隅且邻近于第一空间与第二空间相接区域的侧壁，该侧壁具有至少一通道口，当该旋转机构动作时，能带动该喷气管经该通道口在该机体内部或该清洗空间移动。
其中，该喷气装置安装在一往复移载装置上，在该喷气装置喷气过程中由该往复移载装置产生往复移动，使气体产生扰流现象。
本实用新型的有益效果如下：
当一高架起重搬运器(OHT)经该轨道进入自动化清洗站，该自动化清洗站经消除静电、吹风除尘、吸气集尘等程序，能有效率地去除该轨道及该高架起重搬运器上的粉屑颗粒(Particle)；
自动化清洗站的运作模式是由该离子云产生器产生大量的正负离子，以消除静电，并由该风刀产生的高压气体吹离附着于物体表面的粉屑颗粒(Particle)，再由大面积的该吸风盘吸取飘浮于清洗空间内的粉屑颗粒(Particle)，最后收集排出。
再者，为了有效去除粉屑颗粒(Particle)，本实用新型进一步包括有至少一喷气装置，该喷气装置安装在该机体顶部内四角隅位置，包括一旋转机构及一喷气管，该喷气管并与该供气管路相接是由该旋转机构带动旋转的，该喷气管的喷气口会经由该旋转机构动作而移动至该轨道内。另外该喷气装置能安装在一往复移载装置上，该往复移动装置为一气压缸。在该喷气装置喷气过程中由该往复移载装置产生往复移动，使气体产生扰流现象。如此有助于进一步清除轨道内的囤积粉屑颗粒(Particle)。
以下配合图式及组件符号对本实用新型的实施方式做更详细的说明，使熟习该项技艺者在研读本说明书后能据以实施。
附图说明
图1为本实用新型自动化清洗站安装自动化物料搬运***(AMHS)的轨道处的示意图；
图2为本实用新型的立体图；
图3为本实用新型的去除机体外壳后的内部结构示意图；
图4为本实用新型的侧视图；
图5为本实用新型运作时，该高架起重搬运器尚未进入该机体中间位置的示意图；
图6为本实用新型运作时,该高架起重搬运器已进入机体中间位置，欲开始进行清洗作业的示意图。
附图标记说明：
A自动化清洗站，1机体，11清洗空间，111第一空间，112第二空间，13侧壁，131送风口，132通道口，14内壁，15供气接头，151供气管路，16吸气接头，161吸气管路，2吸风盘，3风刀，4离子释放棒，41离子云产生器，5喷气装置，51旋转机构，52喷气管，6往复移载装置，8轨道，81内导轨，9高架起重搬运器，91导轮。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型自动化清洗站A是安装于晶圆厂的无尘室中，于自动化物料搬运***(AMHS)的轨道8经过位置，能清洗于该轨道8运行的高架起重搬运器9(OHT)。详细运作方式在后面段落再作描述。
首先就本实用新型的结构作一详细的说明，如图1及图3所示，为本实用新型的立体图及内容结构的示意图。本实用新型自动化清洗站A的机体1具有开口朝上、供轨道8通过的一清洗空间11，该清洗空间11由上而下分为第一空间111及第二空间112，尺寸是由第一空间111渐渐向第二空间112扩大，该第一空间111宽度是对应该轨道8尺寸，该第二空间112则对应该高架起重搬运器9(OHT)尺寸，该清洗空间11的横向长度是大于该高架起重搬运器9，主要的除尘作业区于中间区段。
该机体1于该清洗空间11的内壁区域安装着至少一吸风盘2、至少一风刀3与至少一离子释放棒4，其中该风刀3与该离子释放棒4安装于该机体1内，位置邻近于该第一空间111与该第二空间112相接区域的侧壁13。该侧壁13具有一狭长的送风口131，该风刀3所产生的喷射风流以及该离子释放 棒4所产生的正、负离子皆经该送风口131进入该清洗空间11内。该风刀3的出风口是面对该高架起重搬运器9的顶面位置。该吸风盘2是安装于该第二空间112所在区域的内壁14，该内壁14纵向剖面形状呈U字型，在本实施例中该吸风盘2具有三组，分布于两垂直面及底面位置。
该机体1内具有至少一离子云产生器41，经线路与该离子释放棒4相接，由该离子释放棒4产生大量正、负离子，通过离子云达到消除静电的效果，使粉屑颗粒(Particle)不会黏附在物体上。该风刀3是能将无尘空气压缩，达到喷气压力加大，在前述静电消除状态下，将粉屑颗粒(Particle)从物体表面吹落。在本实施例中，该离子云产生器41、风刀3设有两组，分处该清洗空间11两侧。该机体1外壳安装着至少一供气接头15，该吸气接头15是由该机体1内的供气管路151与该风刀3相接，由外部供给高压气体。另外该机体1外壳也安装有至少一吸气接头16，该吸气接头16是由该机体1内的吸气管路161与该吸风盘2相接。其中各供气管路151与吸气管路161皆具有开关阀门(图中未画)，以适时控制管路的开闭时机。由于本实用新型自动化清洗站A是安装于该晶圆厂的无尘室内，该无尘室内分布着各式专用管线，其中包括供气管线及吸气管线，本实用新型利用该机体1的供气接头15、吸气接头16与相关管线相接，就能在设备运作时，由无尘室厂区适时供给高压气体，吸气后将粉屑颗粒(Particle)收集输送至厂房端的过滤***而排出。
在上述实施例中，该风刀3主要是用以去除高架起重搬运器9(OHT)顶面与机身附着的粉屑颗粒(Particle)，但供高架起重搬运器9(OHT)运行的轨道8内也容易囤积粉屑颗粒(Particle)。因此本实用新型进一步包括有至少一喷气装置5，该喷气装置5用以吹气至该轨道8内，以去除轨道8内附着的粉屑颗粒(Particle)。在本实施例中该喷气装置5具有四组，分别安装于该机体1顶部内四角隅，位置邻近该侧壁13，包括一旋转机构51及一喷气管52。该喷气管52呈一立体弯曲的L型，与该供气管路151相接，由该旋转机构51带动旋转。该侧壁13具有至少一通道口132。当该旋转机构51动作时，能带动该喷气管52经该通道口132于该机体1内部或该清洗空间11两处作切换。在图3中，图面右侧的两喷气管52所在位置是相对在该机体1内部，而左侧的两喷气管52所在位置则是在对准轨道的状态，此状态下该喷气管52的喷气 口是位于该轨道8的所在处。
另外为了使上述喷气产生扰动的气流，以利粉屑颗粒(Particle)被吹落，每一该喷气装置5是安装于一往复移载装置6上，在本实施例中该往复移动装置6为一气压缸，并与该供气管路151相连接。在该喷气装置5喷气过程中，由该往复移载装置6产生往复移动，在该清洗空间11内部气体产生扰流现象，有助于粉屑颗粒(Particle)被吹落。
接着就本实用新型的运作方式作一清楚的描述：如图1及图4所示，分别为本实用新型结构运作的示意图及侧视图。本实用新型自动化清洗站A是安装于该自动化物料搬运***(AMHS)的轨道8经过的路径上，也固定于无尘室的厂房内，厂房内另具有供气管线、吸气管线(此部份省略未划出)与机体1外壳的供气接头15及吸气接头16相接，提供本实用新型设备运作时所需的高压无尘气体及吸力。该轨道8剖面呈似ㄇ字型，该高架起重搬运器9虽利用高电压产生磁浮力于轨道8运行，但顶部另具有导轮91与轨道8内的内导轨81轻微接触。本实用新型自动化清洗站A主要是用以去除高架起重搬运器9顶面与机身及经导轮91移动而囤积于内导轨81的粉屑颗粒(Particle)。
如图5所示，当高架起重搬运器9尚未移动至该机体1内的中间区域时，该喷气装置5的喷气管52是位于该机体1内部。如图6所示，待高架起重搬运器9移动正确位置后，前后的该喷气管52经旋转机构51动作而移动至该清洗空间11的第一空间111内，该喷气管52出口面对该内导轨81。清洗作业流程为：首先该离子释放棒4经离子产生器41作动而产生大量的正、负离子，经预定时间后，大量正、负离子会分布于该清洗空间11，通过离子云达到消除静电的效果，使粉屑颗粒(Particle)不会黏附高架起重搬运器9及轨道8表面。接着该风刀3及喷气装置5同时动作，将粉屑颗粒(Particle)吹离该高架起重搬运器9及轨道8表面。该往复移载装置6也同步动作，使该喷气装置5产生前后来回小幅移动，让气体达到扰流效果，进一步将导轮91与内导轨81接触间的粉屑颗粒(Particle)吹下。此过程中，分布于该第二空间112内大面积的该吸风盘2持续吸气，吸收由该第一空间11被吹落的粉屑颗粒，再经无尘室内的吸气管线排出，送至厂房端的过滤***。清洗过程中该风刀3会优先停止，接着再由该喷气装置5停止。而该离子产生器41则是在高架起 重搬运器9离开机体1后才会停止，避免粉屑颗粒(Particle)在吸气管线中因静电再度产生而吸附于管壁。当清洗过程结束后，该喷气管52会经旋转机构51动作旋转而再次进入该机体1内部，以利于该高架起重搬运器9移出该自动化清洗站A。另外该机体1可于该轨道8通过的前后位置另安装一自动门及相关感应机构(图中未画出)，以利于清洗作业过程中，让该高架起重搬运器9完全被该机体1所包围，避免少部分的粉屑颗粒(Particle)飘落。
综合以上所述，本实用新型自动化清洗站是利用消除静电、吹风除尘、吸气集尘等程序，达到清除该高架起重搬运器9及轨道8上的粉屑颗粒(Particle)的目的。由该离子产生器41于清洗空间11内布满正负离子，达到消除静电的效果，使粉屑颗粒(Particle)无法附着于物体表面；接着使用风刀3及喷气装置5吹掉落于该起重搬运器9及轨道8上的粉屑颗粒(Particle)，再由大面积的吹风盘2吸气集尘。因此运用本实用新型的设计，就能达到吸尘、清理、集尘的效果，有效保持自动化物料搬运***(AMHS)的清洁。
Claims (10)
1.一种自动化清洗站，其特征在于，包括:
一机体，具有供轨道与高架起重搬运器通过的一清洗空间，该机体于该清洗空间的内壁区域安装着至少一吸风盘、至少一风刀与至少一离子释放棒；
至少一吸气接头，安装在该机体上，由该机体内的吸气管路与该吸风盘相接；
至少一供气接头，安装在该机体上，由该机体内的供气管路与该风刀相接；
至少一离子云产生器，安装在该机体上，由该机体内线路与该离子释放棒相接。
2.根据权利要求1所述的自动化清洗站，其特征在于，该清洗空间由上而下分为第一空间及第二空间，尺寸是由第一空间渐渐向第二空间扩大，该第一空间能供该轨道通过，该第二空间能供该高架起重搬运器通过。
3.根据权利要求2所述的自动化清洗站，其特征在于，该风刀与该离子释放棒安装在该机体内的位置邻近于该第一空间与该第二空间相接区域的侧壁，该侧壁具有一狭长的送风口，该风刀所产生的喷射风流以及该离子释放棒所产生的正、负离子皆经该送风口进入该清洗空间内。
4.根据权利要求3所述的自动化清洗站，其特征在于，该风刀与该离子释放棒具有两组，分别安装于两个位置相对的该第一空间与该第二空间相接区域，即在该轨道及该高架起重搬运器经过路径的两侧位置。
5.根据权利要求4所述的自动化清洗站，其特征在于，该风刀的出风口是面对该高架起重搬运器的顶面位置。
6.根据权利要求2所述的自动化清洗站，其特征在于，该吸风盘安装在该机体上的位置是：该第二空间所在区域的内壁。
7.根据权利要求6所述的自动化清洗站，其特征在于，该第二空间所在区域的内壁剖面呈U字型，其中该吸风盘具有三组，并分布于两垂直面及底面位置。
8.根据权利要求2所述的自动化清洗站，其特征在于，进一步包括有至少一喷气装置，该喷气装置安装于该机体内，每一喷气装置包括一旋转机构及一 喷气管，该喷气管与该供气管路相接并由该旋转机构带动旋转，该喷气管的喷气口经由该旋转机构动作能位于该轨道内。
9.根据权利要求8所述的自动化清洗站，其特征在于，该喷气装置数目为四个，位置是在该机体内四角隅且邻近于第一空间与第二空间相接区域的侧壁，该侧壁具有至少一通道口，当该旋转机构动作时，能带动该喷气管经该通道口在该机体内部或该清洗空间移动。
10.根据权利要求8所述的自动化清洗站，其特征在于，该喷气装置安装在一往复移载装置上，在该喷气装置喷气过程中由该往复移载装置产生往复移动，使气体产生扰流现象。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20180816 Address after: No. 1 Jinshan Road, dug street, Rudong high tech Industrial Development Zone, Nantong, Jiangsu Patentee after: Otto precision semiconductor (Jiangsu) Co., Ltd. Address before: Hsinchu County, Taiwan, China Patentee before: DEFAN ADVANCED TECHNOLOGY CO., LTD. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151104 Termination date: 20210320 |