CN204719557U - 一种温控设备的冷却控制*** - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种温控设备的冷却控制***，包括厂务水供水设备(1)和板式换热器(4)，厂务水供水设备(1)和板式换热器(4)之间设有厂务水供水管(2)和厂务水回水管(5)，其特征在于：至少在厂务水供水管(2)上设有用于控制厂务水流量的阀体(3)，阀体(3)的控制信号线连接到温控设备控制器(6)，阀体(3)的状态由温控设备控制器(6)进行控制。本实用新型所述的温控设备的冷却控制***，通过控制调节厂务水流量，可以使用小功率加热器，实现对大功率负载的控制，避免因加热器功率过大而导致的温控设备运转电流、体积的增大，使温控设备运行更节能、更可靠、应用范围更广范。
Description
技术领域
本实用新型涉及冷却控制***，具体说是一种温控设备的冷却控制***。
背景技术
目前在对半导体制程进行温度控制时，主要使用的是专用的温控设备，主要应用于ETCH(刻蚀)、PVD(物理气相沉积)、CVD(化学气相沉积)等半导体加工工艺过程。所述温控设备在工作时，多数采用厂务水冷却循环***进行冷却。厂务水冷却循环***通常是由厂务水供水设备提供恒温的厂务水，厂务水供水设备通过厂务水供水管连接板式换热器，流入板式换热器的厂务水对温控设备中流经负载的循环液进行冷却，冷却后温度升高的厂务水再通过厂务水回水管回到厂务水供水设备中进行降温，之后再通过厂务水供水管流入板式换热器，如此往复，实现对循环液的冷却。
现有的厂务水冷却循环***针对温控设备负载的功率，会提供一恒定不变的流量，同时还需要温控设备本身也使用一功率不小于负载功率的加热器，以保证温控设备无论是处在空载状态还是加载状态都能够稳定运行。因此，在实际生产中，随着负载功率的增大，温控设备上的加热器功率也需相应增大。这就导致了以下问题的出现：
加热器功率的增大会导致整个温控设备的运转电流增大，在增加温控设备能耗的同时，也使温控设备的运行过程存在安全隐患；同时，增大加热器功率也需要增加其自身体积，导致整个温控设备体积变大，使温控设备在使用空间上受到限制。
实用新型内容
针对现有技术中存在的缺陷，本实用新型的目的在于提供一种温控设备的冷却控制***，通过控制调节厂务水流量，可以使用小功率加热器，实现对大功率负载的控制，避免因加热器功率过大而导致的温控设备运转电流、体积的增大，从而减小温控设备能耗，提高温控设备运行的安全稳定性，同时降低温控设备在使用空间上的限制。
为达到以上目的，本实用新型采取的技术方案是：
一种温控设备的冷却控制***，包括厂务水供水设备1和板式换热器4，厂务水供水设备1和板式换热器4之间设有厂务水供水管2和厂务水回水管5，其特征在于：
至少在厂务水供水管2上设有用于控制厂务水流量的第一阀体3，
第一阀体3的控制信号线连接到温控设备控制器6，第一阀体3的状态由温控设备控制器6进行控制。
在上述技术方案的基础上，所述第一阀体3为两位两通电磁阀或电动两通阀。
在上述技术方案的基础上，所述第一阀体3为两位三通电磁阀或电动三通阀。
在上述技术方案的基础上，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口。
在上述技术方案的基础上，当温控设备开始工作时，厂务水供水设备1也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管2流入第一阀体3入口；
若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：当两位两通电磁阀关闭时，厂务水不参与冷却；当两位两通电磁阀导通时，厂务水通过两位两通电磁阀出口流入板式换热器4，参与冷却以冷却循环液，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
若第一阀体3为电动两通阀，则：当电动两通阀的开度减小时， 通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也减小；当电动两通阀的开度增大时，通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也增大，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1。
在上述技术方案的基础上，若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：两位两通电磁阀的状态由温控设备控制器6进行周期性控制，周期性调节流向板式换热器4的厂务水流量大小，每周期内第一阀体3关闭时间越长，冷却量越小，第一阀体3导通时间越长，冷却量越大；
若第一阀体3为电动两通阀，则：电动两通阀的状态由温控设备控制器6根据预先设定好的参数进行控制，第一阀体3的开度越小，冷却量越小；第一阀体3的开度越大，冷却量越大。
在上述技术方案的基础上，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口；
在第一阀体3和厂务水供水设备1之间的厂务水供水管2上，设有分流支管，分流支管连接至厂务水回水管5，
分流支管上设有第二阀体7，所述第二阀体7为能够调节开度或快速进行通断控制的两通阀体。
在上述技术方案的基础上，第二阀体7可以为电磁阀、比例阀、节流阀、蝶阀、球阀或调节阀；
第二阀体7可以采用手动控制，或第二阀体7的控制信号线连接到温控设备控制器6，温控设备控制器6根据预先设定好的参数控制第二阀体7的状态，
通过控制第二阀体7的状态，使厂务水始终处于循环流动状态，减少厂务水对管路的冲击。
在上述技术方案的基础上，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口a，另一段厂务水供水管连接第一阀体3一出口c和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一 端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口，第一阀体3另一出口b通过管路连接到厂务水回水管。
在上述技术方案的基础上，当温控设备开始工作时，厂务水供水设备1也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管2流入第一阀体3入口a；
若第一阀体3为两位三通电磁阀，则：当两位三通电磁阀的出口c关闭、出口b导通时，厂务水不参与冷却；当两位三通电磁阀的出口c导通、出口b关闭时，厂务水通过两位三通电磁阀出口c流入板式换热器4，参与冷却，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
若第一阀体3为电动三通阀，则：当电动三通阀的出口c开度减小，出口b开度增大时，参与冷却的厂务水流量减小；当电动三通阀的出口c开度增大，出口b开度减小时，参与冷却的厂务水流量增大，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
通过温控设备控制器6控制两位三通电磁阀的通断状态或电动三通阀的开度，使厂务水始终处于循环流动状态，避免厂务水对管路的冲击。
本实用新型所述的温控设备的冷却控制***，通过控制调节厂务水流量，可以使用小功率加热器，实现对大功率负载的控制，避免因加热器功率过大而导致的温控设备运转电流、体积的增大，从而减小温控设备能耗，提高温控设备运行的安全稳定性，同时降低温控设备在使用空间上的限制，使温控设备运行更节能、更可靠、应用范围更广范。
附图说明
本实用新型有如下附图：
图1本实用新型实施例1的结构图。
图2本实用新型实施例2的结构图。
图3本实用新型实施例3的结构图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
本实用新型所述的温控设备的冷却控制***，包括：
厂务水供水设备1和板式换热器4，
厂务水供水设备1和板式换热器4之间设有厂务水供水管2和厂务水回水管5，
至少在厂务水供水管2上设有用于控制厂务水流量的第一阀体3，
第一阀体3的控制信号线连接到温控设备控制器6，第一阀体3的状态由温控设备控制器6进行控制。
在上述技术方案的基础上，如图1、2所示，所述第一阀体3为两位两通电磁阀或电动两通阀。或者，可如图3所示，所述第一阀体3为两位三通电磁阀或电动三通阀。
图1所示实施例1中，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口。
实施例1中，当温控设备开始工作时，厂务水供水设备1也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管2流入第一阀体3入口；
若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：当两位两通电磁阀关闭时，厂务水不参与冷却；当两位两通电磁阀导通时，厂务水通过两位两通 电磁阀出口流入板式换热器4，参与冷却以冷却循环液，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
若第一阀体3为电动两通阀，则：当电动两通阀的开度减小时，通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也减小；当电动两通阀的开度增大时，通过电动两通阀出口流向板式换热器4的厂务水流量也增大，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1。
在上述技术方案的基础上，实施例1中：若第一阀体3为两位两通电磁阀，则：两位两通电磁阀的状态由温控设备控制器6进行周期性控制(周期可为3～10s)，周期性调节流向板式换热器4的厂务水流量大小，每周期内第一阀体3关闭时间越长，冷却量越小，第一阀体3导通时间越长，冷却量越大；
若第一阀体3为电动两通阀，则：电动两通阀的状态(开度状态)由温控设备控制器6根据预先设定好的参数进行控制，第一阀体3的开度越小，冷却量越小；第一阀体3的开度越大，冷却量越大。
实施例1中，当温控设备处于空载状态时，减少厂务水流量大小，降低冷却量；当温控设备处于加载状态时，增大厂务水流量大小，提高冷却量，保证温控设备无论处于何种状态都能够稳定运行，实现大幅度减小加热器功率的目的。
图2所示实施例2中，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体3出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口；
在第一阀体3和厂务水供水设备1之间的厂务水供水管2上，设有分流支管，分流支管连接至厂务水回水管5，
分流支管上设有第二阀体7，所述第二阀体7为能够调节开度或快速进行通断控制的两通阀体，例如第二阀体7可以为电磁阀、比例 阀、节流阀、蝶阀、球阀或调节阀，
第二阀体7可以采用手动控制，或第二阀体7的控制信号线连接到温控设备控制器6，温控设备控制器6根据预先设定好的参数控制第二阀体7的状态。第一阀体3的控制同实施例1。
实施例2中，和实施例1相比较，在厂务水供水管2与厂务水回水管5之间并联连接了一个管路(分流支管)，该管路需位于第一阀体3之前，管路上设有第二阀体7。
第二阀体7可以是电磁阀、比例阀、节流阀、蝶阀、球阀、调节阀等能够调节开度或快速进行通断控制的两通阀体。根据选择阀体的不同，第二阀体7可以采用手动控制，也可以采用温控设备控制器6进行控制，第二阀体7的控制信号线连接到温控设备控制器6，温控设备控制器6根据预先设定好的参数控制第二阀体7的状态。
实施例2与实施例1的工作原理基本相同，不同的地方在于当温控设备控制器6对第一阀体3进行控制的同时，通过手动或温控设备控制器6控制第二阀体7的状态，使厂务水始终处于循环流动状态，减少厂务水对管路的冲击。
图3所示实施例3中，一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体3入口a，另一段厂务水供水管连接第一阀体3一出口c和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口，第一阀体3另一出口b通过管路连接到厂务水回水管。
实施例3中，将实施例1、2中的两位两通电磁阀或电动两通阀改为两位三通电磁阀或电动三通阀。
第一阀体3的入口a接厂务水供水管2的一端，第一阀体3的一出口b并联连接到厂务水回水管5上，第一阀体3的一出口c接板式换热器4入口。第一阀体3的状态由温控设备控制器6进行控制。
实施例3与实施例1的工作原理基本相同，不同的地方在于通过温控设备控制器6控制第一阀体3的状态，使厂务水始终处于循环流 动状态，较实施例1而言，实施例3能够避免厂务水对管路的冲击。
实施例3中，当温控设备开始工作时，厂务水供水设备1也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管2流入第一阀体3入口a；
若第一阀体3为两位三通电磁阀，则：当两位三通电磁阀的出口c关闭、出口b导通时，厂务水不参与冷却；当两位三通电磁阀的出口c导通、出口b关闭时，厂务水通过两位三通电磁阀出口c流入板式换热器4，参与冷却，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
若第一阀体3为电动三通阀，则：当电动三通阀的出口c开度减小，出口b开度增大时，参与冷却的厂务水流量减小；当电动三通阀的出口c开度增大，出口b开度减小时，参与冷却的厂务水流量增大，流过板式换热器4的厂务水再经过厂务水回水管5流回厂务水供水设备1；
通过温控设备控制器6控制两位三通电磁阀的通断状态或电动三通阀的开度，使厂务水始终处于循环流动状态，避免厂务水对管路的冲击。
本实用新型提供的冷却控制***相比现有技术而言，在厂务水供水管出口设置了一电磁阀或电动阀，通过控制电磁阀或电动阀的状态周期性调节流入板式换热器的厂务水流量大小。因此当温控设备处于空载状态时，减小流入板式换热器的厂务水流量，可以仅使用一功率远小于负载功率的加热器，就能够实现温控设备的稳定运行；当温控设备处于加载状态时，增大流入板式换热器的厂务水流量，可以使用同一小功率加热器，同样能够保证温控设备的稳定运行。避免了因加热器功率过大对温控设备造成的影响，使温控设备运行更节能、更可靠、应用范围更广范。另外，这种冷却控制***还具有反应速度快的优点。
本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
Claims (10)
1.一种温控设备的冷却控制***，包括厂务水供水设备(1)和板式换热器(4)，厂务水供水设备(1)和板式换热器(4)之间设有厂务水供水管(2)和厂务水回水管(5)，其特征在于：
至少在厂务水供水管(2)上设有用于控制厂务水流量的第一阀体(3)，
第一阀体(3)的控制信号线连接到温控设备控制器(6)，第一阀体(3)的状态由温控设备控制器(6)进行控制。
2.如权利要求1所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：所述第一阀体(3)为两位两通电磁阀或电动两通阀。
3.如权利要求1所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：所述第一阀体(3)为两位三通电磁阀或电动三通阀。
4.如权利要求2所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体(3)入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体(3)出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口。
5.如权利要求4所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：当温控设备开始工作时，厂务水供水设备(1)也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管(2)流入第一阀体(3)入口；
若第一阀体(3)为两位两通电磁阀，则：当两位两通电磁阀关闭时，厂务水不参与冷却；当两位两通电磁阀导通时，厂务水通过两位两通电磁阀出口流入板式换热器(4)，参与冷却以冷却循环液，流过板式换热器(4)的厂务水再经过厂务水回水管(5)流回厂务水供水设备(1)；
若第一阀体(3)为电动两通阀，则：当电动两通阀的开度减小时，通过电动两通阀出口流向板式换热器(4)的厂务水流量也减小； 当电动两通阀的开度增大时，通过电动两通阀出口流向板式换热器(4)的厂务水流量也增大，流过板式换热器(4)的厂务水再经过厂务水回水管(5)流回厂务水供水设备(1)。
6.如权利要求5所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：若第一阀体(3)为两位两通电磁阀，则：两位两通电磁阀的状态由温控设备控制器(6)进行周期性控制，周期性调节流向板式换热器(4)的厂务水流量大小，每周期内第一阀体(3)关闭时间越长，冷却量越小，第一阀体(3)导通时间越长，冷却量越大；
若第一阀体(3)为电动两通阀，则：电动两通阀的状态由温控设备控制器(6)根据预先设定好的参数进行控制，第一阀体(3)的开度越小，冷却量越小；第一阀体(3)的开度越大，冷却量越大。
7.如权利要求2所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体(3)入口，另一段厂务水供水管连接第一阀体(3)出口和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口；
在第一阀体(3)和厂务水供水设备(1)之间的厂务水供水管(2)上，设有分流支管，分流支管连接至厂务水回水管(5)，
分流支管上设有第二阀体(7)，所述第二阀体(7)为能够调节开度或快速进行通断控制的两通阀体。
8.如权利要求7所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：第二阀体(7)为电磁阀、比例阀、节流阀、蝶阀、球阀或调节阀；
第二阀体(7)采用手动控制，或第二阀体(7)的控制信号线连接到温控设备控制器(6)，温控设备控制器(6)根据预先设定好的参数控制第二阀体(7)的状态，
通过控制第二阀体(7)的状态，使厂务水始终处于循环流动状态，减少厂务水对管路的冲击。
9.如权利要求3所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：一段厂务水供水管连接厂务水供水设备出口和第一阀体(3)入口a， 另一段厂务水供水管连接第一阀体(3)一出口c和板式换热器入口，板式换热器出口连接厂务水回水管的一端，厂务水回水管的另一端连接厂务水供水设备入口，第一阀体(3)另一出口b通过管路连接到厂务水回水管。
10.如权利要求9所述的温控设备的冷却控制***，其特征在于：当温控设备开始工作时，厂务水供水设备(1)也同时开始工作以提供恒温的厂务水，厂务水通过厂务水供水管(2)流入第一阀体(3)入口a；
若第一阀体(3)为两位三通电磁阀，则：当两位三通电磁阀的出口c关闭、出口b导通时，厂务水不参与冷却；当两位三通电磁阀的出口c导通、出口b关闭时，厂务水通过两位三通电磁阀出口c流入板式换热器(4)，参与冷却，流过板式换热器(4)的厂务水再经过厂务水回水管(5)流回厂务水供水设备(1)；
若第一阀体(3)为电动三通阀，则：当电动三通阀的出口c开度减小，出口b开度增大时，参与冷却的厂务水流量减小；当电动三通阀的出口c开度增大，出口b开度减小时，参与冷却的厂务水流量增大，流过板式换热器(4)的厂务水再经过厂务水回水管(5)流回厂务水供水设备(1)；
通过温控设备控制器(6)控制两位三通电磁阀的通断状态或电动三通阀的开度，使厂务水始终处于循环流动状态，避免厂务水对管路的冲击。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170605 Address after: In Beijing economic and Technological Development Zone, two street 100176 Daxing District 8 Beijing City Hospital No. 14 building A block 101, 201, 401, 501 Patentee after: Beijing Jingyi automation equipment Technology Co. Ltd. Address before: 100009 No. 41 West Tower Street, Beijing, Xicheng District Patentee before: Beijing Automation Technical Research Institute |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Cooling control system for temperature control device Effective date of registration: 20200721 Granted publication date: 20151021 Pledgee: Beijing first financing Company limited by guarantee Pledgor: BEIJING JINGYI AUTOMATION EQUIPMENT Co.,Ltd. Registration number: Y2020990000810 |
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| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 100176 block a, 14 / F, courtyard 8, Liangshuihe 2nd Street, Daxing Economic and Technological Development Zone, Beijing Patentee after: Beijing Jingyi automation equipment Technology Co.,Ltd. Address before: 100176 101, 201, 401, 501, building a, building 14, yard 8, Liangshuihe Second Street, Beijing Economic and Technological Development Zone, Daxing District, Beijing Patentee before: BEIJING JINGYI AUTOMATION EQUIPMENT Co.,Ltd. |
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| CP03 | Change of name, title or address | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20211018 Granted publication date: 20151021 Pledgee: Beijing first financing Company limited by guarantee Pledgor: BEIJING JINGYI AUTOMATION EQUIPMENT Co.,Ltd. Registration number: Y2020990000810 |
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| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |