CN204570094U - 一种硅片铸锭炉用改良加热器 - Google Patents

Abstract

一种硅片铸锭炉用改良加热器，包括加热器本体，加热器本体整体呈圆柱体中空桶状结构，加热器本体内侧面最下边缘位置以加热器本体中心线为基准线左右对称设置有固定耳，固定耳上开设有电极固定孔，加热器本体侧面上设置有导流孔，加热器本体内侧面上铺设有导热层，导热层通过固定螺钉固定在加热器本体内侧壁上，导热层为铝制网状层，导流孔为竖直的矩形槽孔，导流孔在加热器本体的侧壁上设置有至少4个，总的本实用新型具有结构简单、整体受热均匀、使用寿命长、热流动均匀的优点。

Description

一种硅片铸锭炉用改良加热器

技术领域

本实用新型涉及一种加热器，具体涉及一种改良加热器，尤其涉及一种硅片铸锭炉用改良加热器。

背景技术

晶体生长装置中加热器属于热场的供热元件，在长晶装置中是必不可少的基础构件，现有技术中所采用的加热器种类也比较多，具体有盘绕式加热丝、桶状加热片和矩形加热片，但是由于加热电极只能从加热器的一端接入，所以根据加热器采用的不同材料会导致加热器前期受热不均匀，长期的受热不均会导致加热器局部之间产生差异，而晶体生长比较注重整体成型，所以局部结构的差异会导致内部温度随之产生差异，最终导致晶体生长形态不均匀，对生产的产品整体质量造成较大的影响，所以现有技术中对加热器还需要做进一步的改造，从而达到晶体形态生长均匀的目的。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，而提供一种结构简单、整体受热均匀、使用寿命长、热流动均匀的硅片铸锭炉用改良加热器。

本实用新型的目的是这样实现的：一种硅片铸锭炉用改良加热器，包括加热器本体，所述的加热器本体整体呈圆柱体中空桶状结构，所述的加热器本体内侧面最下边缘位置以加热器本体中心线为基准线左右对称设置有固定耳，所述的固定耳上开设有电极固定孔，所述的加热器本体侧面上设置有导流孔，所述的加热器本体内侧面上铺设有导热层，所述的导热层通过固定螺钉固定在加热器本体内侧壁上。

所述的导热层为铝制网状层。

所述的导流孔为竖直的矩形槽孔。

所述的导流孔在加热器本体的侧壁上设置有至少4个。

本实用新型所产生的有益效果是：由于长晶装置采用的坩埚一般为圆柱形坩埚，所以将加热器本体设置为桶状结构可以保证与坩埚之间每一点的垂直距离均相等，从而使得坩埚受热均匀，从而能够保证晶体生长更加均匀；在加热器本体内侧面最下边缘位置以加热器本体中心线为基准线左右对称设置的固定耳，能够提供较好的电极固定位置，在固定耳上设置的电极固定孔使加热电极的固定更加方便，在加热器本体侧面上设置的导流孔，可以使内部气体在受热的情况下能够保持平衡，避免局部压迫，导流孔也起到热量流转的作用，使整个长晶装置内部的温度都能保证均匀，更加有利于晶体的生长，在侧壁上设置至少4个导流孔保证受热气体流转更加充分，其中所述的导流孔设置为矩形槽孔，使受热气体的流转量更大；在加热器本体内侧面铺设的导热层在加热电极对加热器进行加热时可以起到先行导热的作用，对加热器本体进行预热，使加热器的局部温差大大缩小，从而有效的保证了坩埚受热均匀，有利于晶体整体形态的生长，导热层的设置能够有效的解决前期加热器受局部受热温差过大的问题，导热层采用为铝制网状层，因为铝制材料具有较好的热传导作用，对加热器的预热更加充分；其中导热层在解决加热器前期受热不均、预热时间过长的问题的同时也在一定程度上增长了其使用寿命；导热层通过螺钉固定的方式固定在加热器本体内侧壁上具有安装方便、便于更换维护等优点。总的本实用新型具有结构简单、整体受热均匀、使用寿命长、热流动均匀的优点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图1。

图2为本实用新型的结构示意图2。

图中：1、加热器本体   2、固定耳   3、电极固定孔   4、导流孔   5、导热层   6、固定螺钉。

具体实施例

下面根据实施例对本实用的技术方案做进一步说明：

实施例1

如图1—2所示，一种硅片铸锭炉用改良加热器，包括加热器本体1，所述的加热器本体1整体呈圆柱体中空桶状结构，所述的加热器本体1内侧面最下边缘位置以加热器本体1中心线为基准线左右对称设置有固定耳2，所述的固定耳2上开设有电极固定孔3，所述的加热器本体1侧面上设置有导流孔4，所述的加热器本体1内侧面上铺设有导热层5，所述的导热层5通过固定螺钉6固定在加热器本体1内侧壁上。

本实用新型在使用时：首先将导热层环绕加热器本体内侧壁进行铺设，并通过固定螺钉将导热层安装固定在加热器本体内侧壁上，采用螺钉固定的方式使导热层的安装和拆卸维护更加方便；然后将加热电极固定安装在固定耳上设置的电极固定孔内，并通电导热，在导热的过程中由于导热层具有较佳的导热效果，从而热量从加热电极处向外蔓延，对整个导热层进行先预热，在加热电极对导热层加热的同时，对加热器本体也进行加热，由于加热器导热效果较导热层较差，所以导热层在受热后对加热器本体进行加热辅助，从而使加热器本体的预热更加迅速，提供了生产效率，保证了晶体生产所需求的受温均衡，使晶体的生长更加规则，整体质量更好；在整体的加热过程中，内部惰性气体受热可能存在一定的膨胀，此时导流孔可以实现内部惰性气体的流转，使内部气压均衡；总的本实用新型具有结构简单、整体受热均匀、使用寿命长、热流动均匀的优点。

实施例2

如图1—2所示，一种硅片铸锭炉用改良加热器，包括加热器本体1，所述的加热器本体1整体呈圆柱体中空桶状结构，所述的加热器本体1内侧面最下边缘位置以加热器本体1中心线为基准线左右对称设置有固定耳2，所述的固定耳2上开设有电极固定孔3，所述的加热器本体1侧面上设置有导流孔4，所述的加热器本体1内侧面上铺设有导热层5，所述的导热层5通过固定螺钉6固定在加热器本体1内侧壁上。

所述的导热层5为铝制网状层。

所述的导流孔4为竖直的矩形槽孔。

所述的导流孔4在加热器本体1的侧壁上设置有6个。

本实用新型在使用时：首先将导热层环绕加热器本体内侧壁进行铺设，并通过固定螺钉将导热层安装固定在加热器本体内侧壁上，采用螺钉固定的方式使导热层的安装和拆卸维护更加方便；然后将加热电极固定安装在固定耳上设置的电极固定孔内，并通电导热，在导热的过程中由于导热层具有较佳的导热效果，从而热量从加热电极处向外蔓延，对整个导热层进行先预热，在加热电极对导热层加热的同时，对加热器本体也进行加热，由于加热器导热效果较导热层较差，所以导热层在受热后对加热器本体进行加热辅助，从而使加热器本体的预热更加迅速，提供了生产效率，保证了晶体生产所需求的受温均衡，使晶体的生长更加规则，整体质量更好，其中导热层采用铝制网状层使导热效果更好；在整体的加热过程中，内部惰性气体受热可能存在一定的膨胀，此时导流孔可以实现内部惰性气体的流转，使内部气压均衡，其中导流孔设计为矩形槽孔使其整体倒流面积更大，且上下倒流均匀，设置的6个导流孔大大增加倒流面积；总的本实用新型具有结构简单、整体受热均匀、使用寿命长、热流动均匀的优点。

Claims (4)

1.一种硅片铸锭炉用改良加热器，包括加热器本体，其特征在于：所述的加热器本体整体呈圆柱体中空桶状结构，所述的加热器本体内侧面最下边缘位置以加热器本体中心线为基准线左右对称设置有固定耳，所述的固定耳上开设有电极固定孔，所述的加热器本体侧面上设置有导流孔，所述的加热器本体内侧面上铺设有导热层，所述的导热层通过固定螺钉固定在加热器本体内侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种硅片铸锭炉用改良加热器，其特征在于：所述的导热层为铝制网状层。

3.根据权利要求1所述的一种硅片铸锭炉用改良加热器，其特征在于：所述的导流孔为竖直的矩形槽孔。

4.根据权利要求1所述的一种硅片铸锭炉用改良加热器，其特征在于：所述的导流孔在加热器本体的侧壁上设置有至少4个。