CN204537990U

CN204537990U - 一种基板检测装置

Info

Publication number: CN204537990U
Application number: CN201520235840.6U
Authority: CN
Inventors: 李晨睿
Original assignee: SHANGHAI LIXIANG WANLIHUI FILM EQUIPMENT Co Ltd; Ideal Energy Equipment Shanghai Ltd
Current assignee: Ideal Wanlihui Semiconductor Equipment Shanghai Co ltd
Priority date: 2015-04-20
Filing date: 2015-04-20
Publication date: 2015-08-05
Anticipated expiration: 2025-04-20

Abstract

本实用新型提供了一种基板检测装置，位于中央为多边形传输腔的团簇型真空设备内，所述多边形传输腔外接有2个或多个功能腔，内部具有与所述功能腔相对应的基板检测工位，所述基板检测装置包含多套传感器，所述传感器包括位于所述传输腔的顶部或底部的发射部和位于所述传输腔的底部或顶部的接收部，至少一套传感器可以正对于相邻的两个检测工位中基板的某一待检测部位。本实用新型能够在连续型生产过程中，在该基板检测装置保证实现定位检测和破损检测的情况下，减少传感器使用量，降低设备成本。

Description

一种基板检测装置

技术领域：

本发明涉及太阳能电池、平板显示等真空设备领域内的基板检测，尤其涉及一种应用于团簇型真空设备内的基板检测装置。

技术背景：

在对大面积基板进行处理加工的真空设备***内，例如对于制备大面积薄膜太阳能电池或显示平板的***，为了提高设备产能，需要基板以较快的速度运行并且尽可能地提高其工作效率。由于真空设备***内通常涉及到多个功能腔体的加工处理，使得基板不得不频繁地在传输腔、工艺腔、负载腔等各腔体之间进出，而每次基板与承载基板的机械手之间的分离与再接触都有可能造成基板偏离原来的初始位置，使基板无法精确定位，另一方面，由于真空设备内工艺腔的工艺温度较高（200℃-500℃），容易使得机械部件产生变形，也会影响到基板的定位精度。在生产中，这种基板无法准确定位的情况会直接影响设备运行的稳定性和安全性，并且容易引起功能腔体中基板工艺处理质量的下降。因此，基板在进出功能腔体前后必须对基板进行对定位检测。

另外，当基板在真空设备中运行时，基板本身也很有可能因碰撞或者高温等原因出现破损情况，因此需要对基板进行破损检测，以能够及时进行停机检修。

一般而言，矩形基板的4个顶角上出现破损的概率较高并且当基板定位发生偏移时4个顶角也更容易被检测，所以通常对基板的破损检测和定位检测通过4个顶点来实现。然而用于检测的传感器单价比较昂贵，若针对基板的每一个检测工位都需要使用4个传感器来进行检测，则会导致设备成本的增加。因此，在保证完整检测功能的情况下，提供一种减少传感器使用量、降低设备成本的基板检测装置十分必要。

实用新型内容：

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种基板检测装置，该基板检测装置主要用于对多边形团簇型真空设备内的基板进行定位检测和破损检测，本实用新型传输腔内任意相邻的两个检测工位中设置了一个共同的基板待检测部位，并且对应于该共同待检测部位设置对应一个传感器，通过这种方法，能够在保证该基板检测装置完整检测功能的情况下，减少了传感器使用量、从而降低设备成本。

本实用新型提供了一种基板检测装置，位于中央为多边形传输腔的团簇型真空设备内，所述多边形传输腔外接有2个或多个功能腔，内部具有与所述功能腔相对应的基板检测工位，所述基板检测装置包含多套传感器，所述传感器包括位于所述传输腔的顶部或底部的发射部和位于所述传输腔的底部或顶部的接收部，至少一套传感器可以正对于相邻的两个检测工位中基板的某一待检测部位。

可选地，所述基板检测装置用于对矩形基板进行检测，所述传感器的发射部和接收部对应于所述矩形基板的顶角位置。

可选地，所述多边形传输腔外接有3个以上的功能腔，与所述功能腔相接的所述传输腔的边为对应边，则所述每相邻的2个对应边之间形成的夹角相同。

可选地，所述矩形基板包括第一边长和第二边长，所述第一边长与基板进出功能腔的运动方向垂直，所述第二边长与基板进出功能腔的运动方向平行。

可选地，在所述传输腔内部能够构建一个以所述基板第一边长的长度为边长的内部正多边形，其边数应与所述功能腔之间形成的夹角相对应。

优选地，所述传输腔为正多边形腔体，则以该正多边形的中心为中心，以所述基板第一边长的长度为边长构建了一个内部正多边形，所述内部正多边形的边数与所述传输腔边数相同，在对应有所述检测工位的所述内部正多边形的顶点位置处设置有传感器。

优选地，所述基板为面积大于1m²的矩形基板。

相对于现有技术，本实用新型的技术效果为：在连续型生产过程中，该基板检测装置能够保证在实现基板定位检测和破损检测功能的情况下，减少传感器使用量，降低设备成本。

附图说明：

图1为本实用新型的第一具体实施例的团簇型真空设备结构示意图。

图2为与图1相对应的第一具体实施例的基板检测装置结构示意图。

图3为本实用新型的第二具体实施例的团簇型真空设备结构示意图。

图4为本实用新型的第三具体实施例的团簇型真空设备结构示意图。

图5为内部正多边型为5边形的团簇型真空设备结构示意图。

图6为内部正多边型为7边形的团簇型真空设备结构示意图。

具体实施方式：

以下将结合附图所示的具体实施例对本实用新型进行详细描述。值得说明的是，下文所记载的实施例并不限制本实用新型，本领域的普通技术人员根据这些实施例所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本实用新型的保护范围内。

实施例1：

图1为本实用新型中一个具体实施例的结构示意图，如图所示，团簇型真空设备200包括了正六边形的传输腔300，其外周接有六个功能腔100-105，所述功能腔可以是进料腔、出料腔、工艺腔、沉积腔、刻蚀腔、预热腔、退火腔、冷却腔、备用腔等各种不同类型的腔体，只要满足基板的工作路径为依次经过各相邻腔体即可，若将与所述功能腔相接的所述传输腔的边称为对应边，则所述每相邻的2个对应边之间形成的夹角相同，均为120°。在本实施例中，在所述传输腔的外周依次设置了进料腔/出料腔100，第一工艺腔101，第二工艺腔102，第三工艺腔103，第四工艺腔104，第五工艺腔105，当基板在团簇型真空设备200中进行加工处理时，首先从所述进料腔100进入传输腔300中，然后被送至第一工艺腔101进行第一次工艺，工艺完成后，基板又传回传输腔300，然后再被送至第二工艺腔102进行第二次工艺，工艺完成后，基板又被传回传输腔300，就这样依次进行完后面几个工艺腔的工艺处理后，基板最终从出料腔100传送至真空设备200外。在本实施例中，所述基板为矩形基板。根据图1所示，在传输腔300内对应于进料腔/出料腔100的位置为基板进料/出料检测工位110，其包含有4个待检测部位01，02，13，14，对于基板为矩形基板的情况，待检测部位通常设置为矩形基板的四个顶角。同样的道理，对应于第一至第五工艺腔101-105的位置分别为基板的第一至第五检测工位111-115，这些检测工位包含的基板待检测部位标号03-18请参见图1，此处不再一一赘述。需要注意的是，在所述传输腔300相邻的两个检测工位所包含的基板待检测部位中，总是有所述待检测部位是重合的，例如，待检测部位14既位于进料/出料检测工位110中，也位于第一检测工位111中；又如，待检测部位15既位于第一工位111中，也位于第二检测工位112中；同理待检测部位16-18也均是位于两个相邻的检测部位中。分析待检测部位14-18的位置特点：若矩形基板的边长分别为第一边长和第二边长，其中第一边长与基板进出功能腔的运动方向垂直，第二边长与基板进出功能腔的运动方向平行，则待检测部位14-18构建了一个以传输腔300的中心为中心，所述基板第一边长的长度为边长的一个内部正六边形。

本实用新型提供了一种基板检测装置，该装置包含了与所述检测工位110-115相匹配的多个传感器，所述传感器可以为激光传感器或者其他传感器。所述传感器包括发射部和接收部，具体可参见图2所示，所述传感器的发射部40设置于所述传输腔300的顶部，所述传感器的接收部50设置于所述传输腔300的底部，结合图1与图2，每一个传感器的发射部和接收部均对应于基板的一个待检测部位，即每一个传感器的发射部或接收部的位置刚好位于一个待检测部位的正上方或者正下方，针对矩形基板情况，所述传感器的发射部和接收部对应于所述矩形基板的顶角位置。由于图1中基板的待检测部位为18个，则所述传感器的个数也为18套，其中，待检测部位13-18对应了6套传感器，这6个传感器以内部正六边形的方式设置于腔体顶部和底部，同样地该正六边形的边长与基板第一边长的长度相同，中心与传输腔300的中心在同一竖直线上。

在本实施例中，可以看出，在所述团簇型真空设备的连续工作过程中，对于位于内部正多边形的6套传感器而言，每一套传感器相当于检测了基板的两处部位的破损情况或者定位情况，这样提高了传感器的使用率，从而在实现该基板检测装置的完整检测功能的情况下，减少了传感器使用量，降低了设备成本。实际上，只要所述多边形传输腔外接有2个以上的功能腔，就会有1套及以上的传感器可以正对于相邻的两个检测工位中基板的某一待检测部位，就能够实现减少传感器使用量的目的。

实施例2：

图3为本实用新型第二实施例的示意图，其与第一实施例基本类似，二者相同处不再赘述，主要区别在于该团簇型真空设备200的传输腔300不再是正多边型，其外周接有五功能腔100、101、102、104、105，原来图1中外接功能腔106处更改为维护窗口或做其它用途。在本实施例中，所述多边形传输腔外接有5个功能腔，则该传输腔的每相邻2个功能腔对应边之间形成的夹角相同，均为120°。基板在所述真空设备200内的运动路径与第一实施例相似，此时，传输腔300内基板的第一至第五检测工位111-115以及这些检测工位包含的基板待检测部位标号03-18可参见图3所示，在所述传输腔300相邻的两个检测工位所包含的基板待检测部位中，有两个所述待检测部位是重合的，例如，待检测部位14既位于进料/出料检测工位110中，也位于第一检测工位111中；又如，待检测部位15既位于第一工位111中，也位于第二检测工位112中。需要说明的是，由于本实施例中第三检测工位113没有对应的功能腔，所以对应于基板待检测部位07和08处的传感器可不设置。由于传输腔内存在一套传感器可检测基板的两处部位的情况，因此能够减少传感器使用量，降低设备成本。

实施例3：

图4为本实用新型第三实施例的示意图，图中团簇型真空设备200的传输腔300的相邻边长长度不同，所外接的腔室的体积也不相同，如图4所示，功能腔室100，102，104的体积明显小于功能腔室101，103，105的体积。矩形基板在此真空设备200中工作顺序与图1所示的第一实施例相同，由于受到功能腔室100，102，104大小的限制，所述基板的尺寸应与较小的功能腔室100，102，104相适应。在本实施例中传输腔300内基板的第一至第五检测工位111-115以及这些检测工位包含的基板待检测部位标号03-18请参见图4，在所述传输腔300相邻的两个检测工位所包含的基板待检测部位中，有两个所述待检测部位是重合的，例如，待检测部位14既位于进料/出料检测工位110中，也位于第一检测工位111中；又如，待检测部位15既位于第一工位111中，也位于第二检测工位112中。由于传输腔内存在一套传感器可检测基板的两处部位的情况，因此能够减少传感器使用量，降低设备成本。

总的来说，在上述具体实施例中，在所述传输腔内的相邻检测工位所包含的基板待检测部位中，存在着重合的待检测部位。

对于所述多边形传输腔外接有3个以上的功能腔的情况而言，所述传输腔的每相邻的2个功能腔对应边之间形成的夹角相同。根据几何关系得知，对于具有第一边长的矩形基板而言，总是能够构建以所述基板第一边长的长度为边长的一个内部正多边形，其边数应与所述功能腔对应边之间形成的夹角相对应。例如，对于内部正多边型为6边形的情况，传输腔的相邻功能腔对应边之间的夹角为120°，如图1，图3和图4所示；对于内部正多边型为5边形的情况，传输腔的相邻功能腔对应边之间的夹角为108°，具体可参见图5所示；对于内部正多边型为7边形的情况，传输腔的相邻功能腔对应边之间的夹角为128.57°。正是由于传输腔内的相邻检测工位存在着重合的待检测部位，才使得每一套传感器能够检测基板的两处部位，从而提高了传感器的使用率，实现了在满足该基板检测装置的完整检测功能的条件下，减少传感器使用量，降低了设备成本。

除了上述给出了的几项本实用新型的具体实施方式外，本实用新型还有一些其他的实施方式，例如：所述多边型传输的边数不做限制，可以为奇数也可以为偶数；各边边长可以相同也可以不同；所述多边型传输腔各边可以外接功能腔也可以接非功能腔，或者直接用作维护窗口或者其他用途；多边形传输腔所外接的功能腔个数可以小于所述传输腔的边数；在检测工位上，所述基板的待检测部位可以为2个或者多个；所述传感器对基板的检测可以为基板的定位检测，也可以为基板的破损检测；所述传感器可以为能够进行基板检测的任何其他形式的传感器；所述传感器发射部或接收部可以设置在传输腔底部顶部内侧或者顶部的外侧，也可以设置在传输腔底部内侧或者底部的外侧。

特别说明的是，本实用新型中所提及的基板可以为矩形基板也可以为非矩形基板，其面积大小也不受限制。但是，对于面积大于1m²的矩形基板而言，由于在传输过程中会更容易出现边角破损的情况，所以其采用本实用新型所披露的设计效果会更好。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种基板检测装置，位于中央为多边形传输腔的团簇型真空设备内，所述多边形传输腔外接有2个或多个功能腔，内部具有与所述功能腔相对应的基板检测工位，所述基板检测装置包含多套传感器，所述传感器包括位于所述传输腔的顶部或底部的发射部和位于所述传输腔的底部或顶部的接收部，其特征在于：至少一套传感器可以正对于相邻的两个检测工位中基板的某一待检测部位。

2.如权利要求1所述的一种基板检测装置，其特征在于:所述基板检测装置用于对矩形基板进行检测，所述传感器的发射部和接收部对应于所述矩形基板的顶角位置。

3.如权利要求2所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述多边形传输腔外接有3个以上的功能腔，与所述功能腔相接的所述传输腔的边为对应边，则所述每相邻的2个对应边之间形成的夹角相同。

4.如权利要求3所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述矩形基板包括第一边长和第二边长，所述第一边长与基板进出功能腔的运动方向垂直，所述第二边长与基板进出功能腔的运动方向平行。

5.如权利要求4所述的一种基板检测装置，其特征在于：在所述传输腔内部能够构建一个以所述基板第一边长的长度为边长的内部正多边形，其边数应与所述功能腔之间形成的夹角相对应。

6.如权利要求4所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述传输腔为正多边形腔体，则以该正多边形的中心为中心，以所述基板第一边长的长度为边长构建一个内部正多边形，所述内部正多边形的边数与所述传输腔边数相同，在对应有所述检测工位的所述内部正多边形的顶点位置处设置有传感器。

7.如权利要求1-5中任一项所述的一种基板检测装置，所述基板为面积大于1m²的矩形基板。