CN204417588U - Pecvd石墨舟用石墨钉 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体，基体上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体；菱形体内收缩部位用于卡住硅片，改进之处在于：基体的前后侧面为竖立平面，而基体的左右侧具有弧形侧面；或者，石墨钉基体的形状为椭圆体型或长方体型。优选地，石墨钉基体的前后侧面为平行平面。本实用新型的优点在于：1）解决了管式PECVD石墨钉角度安装不到位，导致镀膜异常问题。2）采用石墨钉非正圆形设计方案，能够固定装配角度。3）石墨钉安装过程简单化，防止出错，石墨钉角度安装到位。

Description

PECVD石墨舟用石墨钉

技术领域

本实用新型涉及管式PECVD镀膜领域，尤其是一种PECVD石墨舟用石墨钉。

背景技术

目前太阳能电池镀膜设备中管式PECVD（如centrotherm）采用石墨舟作为硅片的载具进入PECVD腔体内进行镀膜。如图1所示。有一些硅片2***石墨舟后，需要利用石墨舟上舟片1上的石墨钉3卡住硅片2，如图2所示。

现有的石墨钉3的结构如图3和图4所示，石墨钉3的基体31是圆柱体，上部是一个外侧面往下内收缩的菱形体32，舟片1的结构如图5所示，舟片1上具有与石墨钉3基体31配合的舟片孔洞11；现有的舟片孔洞11是圆形的。因此现有的石墨钉3嵌入圆形的舟片孔洞11后，容易产生舟片装配时，安装角度未正确，从而导致石墨钉3无法卡住硅片2，继而造成硅片2掉落或与舟片1贴合不紧密，直接导致镀膜失败或镀膜颜色不均匀（色差），如图6所示。

发明内容

针对现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种PECVD石墨舟用石墨钉，改进了石墨钉的形状，可以完全解决石墨钉装配角度不到位的问题，从而避免镀膜异常问题。本实用新型采用的技术方案是：

一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体，基体上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体；菱形体内收缩部位用于卡住硅片，改进之处在于：

基体的前后侧面为竖立平面，而基体的左右侧具有弧形侧面；

或者，石墨钉基体的形状为椭圆体型或长方体型。

优选地，石墨钉基体的前后侧面为平行平面。

本实用新型的优点在于：

1）解决了管式PECVD石墨钉角度安装不到位，导致镀膜异常问题。

2）采用石墨钉非正圆形设计方案，能够固定装配角度。

3）石墨钉安装过程简单化，防止出错，石墨钉角度安装到位。

附图说明

图1为现有的PECVD石墨舟示意图。

图2为现有的石墨钉卡住硅片示意图。

图3为现有的石墨钉立体图。

图4为现有的石墨钉俯视示意图。

图5为现有的舟片结构示意图。

图6为现有的石墨钉装配角度未到位导致硅片无法卡紧示意图。

图7为改进后的石墨钉示意图。

图8为与改进后的石墨钉配合的舟片结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

本实用新型对于石墨钉的形状做了改进，以使其具有固定角度的功能。

如图7所示，一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体31，基体31上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体32（和图3所示相同）；菱形体32内收缩部位可用于卡住硅片。

基体31的形状不再是圆柱体，而是设计成如图7所示的形状，基体31的前后侧面为竖立平面，而基体31的左右侧具有弧形侧面。舟片1上的舟片孔洞11形状也做相应改变，如图8所示，以与基体31外形相配合。

改进后的石墨钉3不可能旋转，因此可以完全解决石墨钉装配角度不到位的问题。基体31的前后侧面优选为平行平面，方便加工成型。

在其它实施例中，石墨钉3基体31的形状也可以采用椭圆体型或长方体型。

Claims (2)

1.一种PECVD石墨舟用石墨钉，包括基体(31)，基体(31)上部具有一个外侧面往下内收缩的菱形体(32)；菱形体(32)内收缩部位用于卡住硅片；其特征在于：

基体(31)的前后侧面为竖立平面，而基体(31)的左右侧具有弧形侧面；

或者，石墨钉基体(31)的形状为椭圆体型或长方体型。

2.如权利要求1所述的PECVD石墨舟用石墨钉，其特征在于：

基体(31)的前后侧面为平行平面。