CN204382669U - 应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，包括圆片打印下工作台和圆片打印上工作台，圆片打印下工作台上固定连接支持圆片打印上工作台的立柱，圆片打印上工作台上具有通孔，通孔上设置有圆片放置平台，圆片打印下工作台上设置有激光穿透孔，圆片打印下工作台上设置有吸尘装置，吸尘装置的吸尘口朝向激光穿透孔，圆片打印上工作台的下部设置有吹气管，吹气管的出气口朝向通孔。通过吹气管向通孔处吹气，使激光打印过程中产生的粉尘吹离通孔，防止了粉尘在重力的作用下，从激光打印区域向下落到激光器的激光发射区，避免了因粉尘堆积在激光器的激光发射区，而遮挡激光的穿射，造成漏打印或断字等异常的发生。

Description

应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置

技术领域

本实用新型涉及半导体封装技术领域，尤其涉及一种应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置。

背景技术

目前的圆片级封装打印工序一般采用波长为532nm的绿光进行激光打印，在生产中圆片通过机械手臂控制依次传送到预对准台进行圆片预对位，然后圆片被传送到打印工作台(圆片正面朝上，背面朝下)，进行精确对位(依据圆片正面上的两个特殊芯片，设备内部的视频***通过两个特殊芯片定位后，将激光出光的角度自动进行校准)后，由位于设备底部的激光器从下向上发射激光进行打印(打印起点位于圆片顶部第一颗芯片，终点位于圆片底部的最后一颗芯片，激光呈Z字型路径进行激光打印)。由于半导体芯片背面打印材料种类较多，经过激光打印后产生的粉尘也各不相同，尤其圆片背面为树脂材料的产品，激光打印后会产生大量的树脂粉尘。虽然在打印工作台内部装有吸尘设备，但在实际生产作业中，完成一个批次的产品(12张圆片)激光打印产生的树脂粉尘会堆积在激光源上方的保护玻璃***，最终导致激光无法透过保护玻璃射出，圆片背面打印区域的***出现漏打印和断字等异常，随着半导体的发展，芯片越做越小，生产过程中产生的打印粉尘越来越多，由此产生的打印异常频繁发生并且对打印区域造成污染，使设备运行稳定性和打印效率大幅降低。

实用新型内容

在下文中给出关于本实用新型的简要概述，以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分，也不是意图限定本实用新型的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

本实用新型提供一种应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置。

本实用新型提供的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，包括一上一下设置的圆片打印下工作台和圆片打印上工作台，所述圆片打印下工作台上固定连接有用于支持所述圆片打印上工作台的立柱，所述圆片打印上工作台上具有通孔，所述通孔上设置有圆片放置平台，所述圆片打印下工作台上设置有激光穿透孔，所述激光穿透孔正对所述圆片放置平台，所述圆片打印下工作台上设置有吸尘装置，所述吸尘装置的吸尘口朝向所述激光穿透孔，所述圆片打印上工作台的下部设置有吹气管，所述吹气管的出气口朝向所述通孔。

本实用新型提供的上述方案，在使用时，通过吹气管向圆片打印上工作台上的通孔处吹气，使激光打印过程中产生的粉尘吹离通孔，防止了粉尘在重力的作用下，从激光打印区域向下落到激光器的激光发射区，避免了因粉尘堆积在激光器的激光发射区，而遮挡激光的穿射，造成漏打印或断字等异常的发生。另外，工作过程中几乎没有或仅有极少的粉尘落到激光器的激光发射区，因此可以降低对激光器的清洁频率，保证了设备稳定运行，提高了设备效率。

附图说明

参照下面结合附图对本实用新型实施例的说明，会更加容易地理解本实用新型的以上和其它目的、特点和优点。附图中的部件只是为了示出本实用新型的原理。在附图中，相同的或类似的技术特征或部件将采用相同或类似的附图标记来表示。

图1为本实用新型实施例提供的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置的结构示意图。

具体实施方式

下面参照附图来说明本实用新型的实施例。在本实用新型的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本实用新型无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。

图1为本实用新型实施例提供的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置的结构示意图。如图1所示，本实用新型实施例提供的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，包括一上一下设置的圆片打印下工作台7和圆片打印上工作台2，圆片打印下工作台7上固定连接有用于支持圆片打印上工作台2的立柱4，圆片打印上工作台2上具有通孔，通孔上设置有圆片放置平台1，圆片打印下工作台7上设置有激光穿透孔，激光穿透孔正对圆片放置平台，圆片打印下工作台7上设置有吸尘装置9，吸尘装置9的吸尘口朝向激光穿透孔，圆片打印上工作台2的下部设置有吹气管3，吹气管3的出气口朝向通孔。

实际使用中，圆片放置平台1的直径一般略小于圆片的直径。

本实用新型提供的上述方案，在使用时，通过吹气管3向圆片打印上工作台上的通孔(也即对准圆片背面)处吹气，使激光打印过程中产生的粉尘吹离通孔，防止了粉尘在重力的作用下，从激光打印区域向下落到激光器的激光发射区，同时吸尘装置9对粉尘进行抽吸，抽走大部分粉尘，此外还可同时在圆片打印下工作台7的下方设置一个吸尘器10，少量掉落到激光器的激光发射区(也即激光器镜头上的保护保护玻璃板)的粉尘又被吸尘器10所吸附，避免了因粉尘堆积在激光器的激光发射区，而遮挡激光的穿射，造成漏打印或断字等异常的发生。另外，工作过程中几乎没有或仅有极少的粉尘落到激光器的激光发射区，因此可以降低对激光器的清洁频率，保证了设备稳定运行，提高了设备效率。

进一步地，基于上述实施例，圆片打印下工作台7和圆片打印上工作台2之间设置有防尘扩散保护罩5。通过设置防尘扩散保护罩5，使得粉尘不会扩散到整个打印工作台的空间内。

进一步地，基于上述实施例，圆片打印下工作台7和圆片打印上工作台2均为方形平台，圆片打印下工作台7的四角处均设置有立柱4，通过在圆片打印下工作台7和圆片打印上工作台2四角设置四根立柱4，提高了安装的稳定性。

进一步地，基于上述实施例，防尘扩散保护罩5包裹于四根立柱4的外侧，使得防尘扩散保护罩5安装的更加稳固。

进一步地，基于上述实施例，防尘扩散保护罩5的顶部与圆片打印上工作台2的底面密封配合，防尘扩散保护罩5的底部与圆片打印下工作台7的顶面密封配合。防尘扩散保护罩5通过与圆片打印下工作台7和圆片打印上工作台2的密封配合，有效的防止了粉尘向外部的扩散，起到了很好的防尘效果。

进一步地，基于上述实施例，圆片打印下工作台7的下方固定连接有气罐6，吹气管3与气罐6连通。气罐6内存储的压力气体通过吹气管3将激光打印中产生的粉尘吹离通孔，防止向下沉积遮挡激光器的激光发射区。

进一步地，基于上述实施例，激光穿透孔为倒圆台形的通孔。

进一步地，基于上述实施例，激光穿透孔的底部设置有激光发射器8，激光发射器8的激光出射端盖装有透明保护板。透明保护板可以但不限于为玻璃板。通过设置透明保护板来防止粉尘直接飘落到激光器的激光出射端，对激光器进行保护。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，包括一上一下设置的圆片打印下工作台和圆片打印上工作台，所述圆片打印下工作台上固定连接有用于支持所述圆片打印上工作台的立柱，所述圆片打印上工作台上具有通孔，所述通孔上设置有圆片放置平台，所述圆片打印下工作台上设置有激光穿透孔，所述激光穿透孔正对所述圆片放置平台，所述圆片打印下工作台上设置有吸尘装置，所述吸尘装置的吸尘口朝向所述激光穿透孔，其特征在于，所述圆片打印上工作台的下部设置有吹气管，所述吹气管的出气口朝向所述通孔。

2.根据权利要求1所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述圆片打印下工作台和所述圆片打印上工作台之间设置有防尘扩散保护罩。

3.根据权利要求2所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述圆片打印下工作台和所述圆片打印上工作台均为方形平台，所述圆片打印下工作台的四角处均设置有所述立柱。

4.根据权利要求3所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述防尘扩散保护罩包裹于四根所述立柱的外侧。

5.根据权利要求2-4任一项所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述防尘扩散保护罩的顶部与所述圆片打印上工作台的底面密封配合，所述防尘扩散保护罩的底部与所述圆片打印下工作台的顶面密封配合。

6.根据权利要求1-4任一项所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述圆片打印下工作台的下方固定连接有气罐，所述吹气管与所述气罐连通。

7.根据权利要求1-4任一项所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述激光穿透孔为倒圆台形的通孔。

8.根据权利要求7所述的应用于预防打印粉尘造成激光打印缺陷的装置，其特征在于，所述激光穿透孔的底部设置有激光发射器，所述激光发射器的激光出射端盖装有透明保护板。