CN204314023U - 一种真空式氦检设备 - Google Patents
一种真空式氦检设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204314023U CN204314023U CN201420556818.7U CN201420556818U CN204314023U CN 204314023 U CN204314023 U CN 204314023U CN 201420556818 U CN201420556818 U CN 201420556818U CN 204314023 U CN204314023 U CN 204314023U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum
- unit
- road junction
- inspection equipment
- helium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，该罩壳为铝合金框架构成的密封结构，且抽真空单元设置有真空泵机组，检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；阀门包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，该第一流道口与罩壳相连通，第二流道口与真空泵机组相连通，第三流道口与气体分析仪相连通，且第二流道口与真空泵机组之间的无缝钢管上设置有真空检测装置。通过采用上述技术方案，即在原有氦检设备的基础上进行了一定的改进，并利用特定的方法进行氦检，从而具备了密封要求低、测试精度高、检测步骤少、占地面积小、成本低、检测效率高以及可自动化推进等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及密封性检测领域，特别涉及一种真空式氦检设备。
背景技术
氦检是对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦质谱检漏仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。
目前，市场上通用的管路以及相关产品的漏气检测一般采用两种测试方法，一种是内正压、外嗅探测试法，另一种是内正压、外真空测试法。
这两种测试方式均需要配套氦气充填、回收装置，然而该氦气充填、回收装置存在外型偏大、成本偏高等问题；
同时，内部正压式的检测方式具有检测精度偏低等问题，而外部真空式的检测方式对于检测箱体要求很高、既要耐高压防爆功能、又要较高的密封性，也不利于实际生产和成本控制。
实用新型内容
为了解决上述的问题，本实用新型提供一种真空式氦检设备，采用了内真空的设计。
上述的一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，其中，所述罩壳为铝合金框架构成的密封结构，所述抽真空单元设置有真空泵机组，所述检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；
所述阀门包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，所述第一流道口通过无缝钢管与罩壳相连通，所述第二流道口通过无缝钢管与真空泵机组相连通，所述第三流道口通过无缝钢管与气体分析仪相连通；
所述第二流道口与真空泵机组之间的无缝钢管上设置有真空检测装置。
上述设备中，所述罩壳包括有机玻璃板、伸缩门、旋转门、风扇以及无杠气缸。
上述设备中，所述抽真空单元还包括金属支架、压力传感器、电磁阀、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路。
上述设备中，所述喷氦单元包括手动阀、流量计、压力传感器、电磁阀、空气过滤器以及喷氦管道。
上述设备中，所述检测单元还包括压力传感器、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路。
上述设备中，所述控制单元包括可编程PLC、上位机软件、触控屏以及强电控制元器件。
上述设备中，所述真空泵机组包括VD401机械泵和NB100A罗茨泵，所述抽检真空泵为VD401机械泵。
本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型提供一种真空式氦检设备，通过在原有氦检设备的基础上进行了一定的改进，从而具备了密封要求低、测试精度高、检测步骤少、占地面积小、成本低、检测效率高以及可自动化推进 等优点。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型中真空式氦检设备的结构示意图；
图2为本实用新型中真空式氦检方法的原理流程图。
图中：1、罩壳 2、阀门 21、第一流道口 22、第二流道口 23、第三流道口 31、气体分析仪 32、抽检真空泵 4、真空泵机组 5、制品 6、充氦区 7、真空检测装置
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1所示，本实用新型是一种真空式氦检设备，包括罩壳1、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门2，且上述罩壳1为铝合金框架构成的密封结构；优选的，罩壳1还设置有机玻璃板、伸缩门、旋转门、风扇以及无杠气缸等部件，以此为真空氦检提供必要的密封环境。
其中，上述抽真空单元设置有真空泵机组4，该真空泵机组4由VD401机械泵 和NB100A罗茨泵组合而成；优选的，抽真空单元还包括金属支架、压力传感器、电磁阀、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路等部件，以此来实现以下功能：
1、对工件抽真空检查(包括第一次抽真空处理、第二次抽真空处理、第三次抽真空处理)；
2、通过真空度判断工件是否存在严重泄露；
3、对工件进行抽真空，为He检漏提供真空环境；
进一步的，上述喷氦单元主要包括手动阀、流量计、压力传感器，电磁阀、空气过滤器、喷氦管道等；在使用中，该单元可以实现向罩壳1内的充氦区6内自动喷入一定氦气浓度的混合气体；
同时，检测单元包括相互连通的气体分析仪31和抽检真空泵32；优选的，气体分析仪31为LDS-3000型氦检仪，且抽检真空泵32为VD401机械泵，而检测单元内还设置有压力传感器、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路等部件，从而对制品5起到微漏检测的效果。
此外，阀门2包括第一流道口21、第二流道口22以及第三流道口23，其中的第一流道口21通过无缝钢管与罩壳1相连通，第二流道口22通过无缝钢管与真空泵机组4相连通，第三流道口23通过无缝钢管与气体分析仪31相连通；即利用该阀门2的选择通路作用来控制设备的使用状况。
更进一步的，在第二流道口22与真空泵机组4之间的无缝钢管上设置有真空检测装置7，上述的对严重泄露情况的检测就是通过该真空检测装置7来实现的。
同时，上述的控制单元包括可编程PLC、上位机软件、触控屏以及强电控制元器件，从而具备了以下4个功能：
1、可以提供自动运行、手动操作两种工作模式，分别适用于不同情况；
2、实现了单箱或双箱组合工作，这样可避免设备局部故障时而不影响其它工位；
3、可以对主要部件的运行状态实行监控和显示，并提示***生产过程及生产统计数据；
4、具备故障报警及诊断功能，对于设备运行中的各种故障和警告信息都将实时给出报警提示。
本实用新型利用了一种真空式氦检方法，如图2所示，该方法主要包括以下步骤：
S1：制品5自动进入检测工位；
S2：设备自动连接被检制品5；
S3：关闭阀门2的第三流道口23，同时利用真空泵机组4对制品5进行第一次抽真空处理；
S4：利用真空检测装置7对制品5进行真空度判定，即检测制品5是否存在严重泄露，如存在严重泄露则进行步骤S5，如无严重泄露则进行步骤S7；
S5：打开第三流道口23并查找漏点，然后进入步骤S6；
S6：修理后返回步骤S1；
S7：罩体内注入低压氮气；
S8：初始状态数据确认，如数据超过设定值则进入步骤S9，如数据未超过设定值则进入步骤S10；
S9：通入新空气并打开第三流道口23，进而查找漏点，然后返回步骤S6；
S10：设备置零，然后向罩体内注入氦气；
S11：利用气体分析仪31进行查漏，如存在轻微泄露则返回步骤S9，如不存在轻微泄露则进入步骤S12；
S12：关闭阀门2，然后封入低压氮气；
S13：氦检工艺完成，进入其他工序。
优选的，上述步骤S10所注入的氦气均为低压氦气，且气体分析仪31是通过分析氦气的含量来判断制品5是否存在轻微的泄露。
通过上述设备和方法，使得本实用新型(内真空)相对于传统设备具备了很多优势，具体如下表所示：
| 项目 | 内正压、外嗅探 | 内正压、外真空 | 内真空 |
| 1、箱体密封 | 无箱体 | 密封要求高 | 密封要求低 |
| 2、测试精度 | 高 | 低 | 高 |
| 3、检测步骤 | 多 | 多 | 少 |
| 4、占地面积 | 大 | 大 | 小 |
| 5、设备导入成本 | 高 | 高 | 低 |
| 6、检查效率 | 低 | 低 | 高 |
| 7、自动化推进 | 不行 | 不行 | 行 |
其中，S4中，在一定时间内真空度没办法到达500Pa即为严重泄漏；
S8，初始状态真空度设定3组500pa、150pa、30pa，氦气分析仪设定2组：2*10E-6mba*l/S和1*10E-10mba*l/S；
S11，轻微泄露的定义值：1*10E-10mba*l/S，从传统意义上来说也就是1g/年；
S12，低压氮气为0.1Mpa左右的低压氮气，S7，低压氮气为0.2Mpa左右的低压氮气，S10，低压氦气为0.1Mpa左右的氦气(由高压高纯度氦气减压得到)。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种真空式氦检设备，包括罩壳、抽真空单元、喷氦单元、检测单元、控制单元以及阀门，其特征在于，所述罩壳为铝合金框架构成的密封结构，所述抽真空单元设置有真空泵机组，所述检测单元包括相互连通的气体分析仪和抽检真空泵；
所述阀门包括第一流道口、第二流道口以及第三流道口，所述第一流道口通过无缝钢管与罩壳相连通，所述第二流道口通过无缝钢管与真空泵机组相连通，所述第三流道口通过无缝钢管与气体分析仪相连通；
所述第二流道口与真空泵机组之间的无缝钢管上设置有真空检测装置。
2.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述罩壳包括有机玻璃板、伸缩门、旋转门、风扇以及无杠气缸。
3.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述抽真空单元还包括金属支架、压力传感器、电磁阀、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路。
4.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述喷氦单元包括手动阀、流量计、压力传感器、电磁阀、空气过滤器以及喷氦管道。
5.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述检测单元还包括压力传感器、高真空气密元器件以及不锈钢真空管路。
6.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述控制单元包括可编程PLC、上位机软件、触控屏以及强电控制元器件。
7.根据权利要求1所述的一种真空式氦检设备，其特征在于，所述真空泵机组包括VD401机械泵和NB100A罗茨泵，所述抽检真空泵为VD401机械泵。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420556818.7U CN204314023U (zh) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一种真空式氦检设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420556818.7U CN204314023U (zh) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一种真空式氦检设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204314023U true CN204314023U (zh) | 2015-05-06 |
Family
ID=53136330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420556818.7U Expired - Fee Related CN204314023U (zh) | 2014-09-25 | 2014-09-25 | 一种真空式氦检设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204314023U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104296943A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-21 | 展测真空技术（上海）有限公司 | 一种真空式氦检设备及其方法 |
| CN106505020A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-03-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空封装设备 |
| CN106768680A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-05-31 | 南京哈维斯特精密机械有限公司 | 一种方便使用的高效泡沫式无损探伤测试装置 |
| CN109708823A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 同济大学 | 一种用于旋转密封结构测试的试验装置及测试方法 |
-
2014
- 2014-09-25 CN CN201420556818.7U patent/CN204314023U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104296943A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-21 | 展测真空技术（上海）有限公司 | 一种真空式氦检设备及其方法 |
| CN106768680A (zh) * | 2016-12-01 | 2017-05-31 | 南京哈维斯特精密机械有限公司 | 一种方便使用的高效泡沫式无损探伤测试装置 |
| CN106505020A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-03-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空封装设备 |
| CN106505020B (zh) * | 2016-12-26 | 2023-10-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 真空封装设备 |
| CN109708823A (zh) * | 2019-01-17 | 2019-05-03 | 同济大学 | 一种用于旋转密封结构测试的试验装置及测试方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104296943A (zh) | 一种真空式氦检设备及其方法 | |
| US10073001B2 (en) | Leak test arrangement and leak test method | |
| CN204314023U (zh) | 一种真空式氦检设备 | |
| CN204924590U (zh) | 一种用于氦质谱检漏的加压-抽真空实验装置 | |
| CN202903434U (zh) | 一种检测装置 | |
| CN107576458A (zh) | 一种汽车制动管路气密性自动检测装置及其检测方法 | |
| CN103335795B (zh) | 真空密封件分压漏率测量***及其测量方法 | |
| CN203043861U (zh) | 一种标准气体配制装置 | |
| CN204177537U (zh) | 一种容器氦质谱检漏装置 | |
| CN109506844A (zh) | 一种环网柜sf6气箱氦检***及方法 | |
| CN108489687A (zh) | 一种气密性检测装置 | |
| CN103335791A (zh) | 一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法 | |
| CN105929049A (zh) | 一种通用型便携式油中溶解气体在线监测仪校验装置 | |
| CN107907273A (zh) | 一种产品局部密封外表面气密性检测方法 | |
| CN204964151U (zh) | 汽车零部件常压快速检漏*** | |
| CN207610827U (zh) | 一种高危介质管道敏感性泄漏性试验检测*** | |
| CN103852224A (zh) | 燃气表壳漏气检测装置及检测方法 | |
| CN103698095A (zh) | 灭火瓶密封性检测装置及其检测方法 | |
| CN109115420A (zh) | 一种检验试剂瓶密封性的方法 | |
| CN206019949U (zh) | 快速精准管材漏点检测仪 | |
| CN202305148U (zh) | 燃油供给***密闭性检测仪 | |
| CN209727392U (zh) | 一种液压油缸测试装置 | |
| CN205506315U (zh) | 手套箱手套在线检漏装置及手套箱 | |
| CN106950016A (zh) | 一种用于高压油管高压检漏的装置 | |
| CN203231876U (zh) | 一种便携式隔离器用手套检漏仪 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150506 Termination date: 20170925 |