CN204262940U - 一种硅片修复设备 - Google Patents
一种硅片修复设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204262940U CN204262940U CN201420683648.9U CN201420683648U CN204262940U CN 204262940 U CN204262940 U CN 204262940U CN 201420683648 U CN201420683648 U CN 201420683648U CN 204262940 U CN204262940 U CN 204262940U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- emery wheel
- silicon chip
- pressing positioner
- flaring cup
- wheel frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 45
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 44
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 229910001651 emery Inorganic materials 0.000 claims abstract description 32
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种硅片修复设备,包括砂轮机架,在砂轮机架上设有电机,电机的转轴连接碗形砂轮,在砂轮机架靠近碗形砂轮的一侧设有压紧定位装置安装架,压紧定位装置安装架与砂轮机架之间设有水平滑动导轨,水平滑动导轨与碗形砂轮的砂轮盘面相平行,压紧定位装置安装架上安装有压紧定位装置,压紧定位装置包括单作用式气动活塞执行机构,单作用式气动活塞执行机构的活塞杆垂直向下,活塞杆的端部设有压块,在压块的下方设有水平定位板,在砂轮机架靠近碗形砂轮的一端设有与水平定位板相对应的竖向定位板,还包括一对硅片保护夹板。本实用新型具有结构简单、便于操作、投资少见效快等特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种硅片修复设备。
背景技术
在太阳能硅片生产过程中,硅片在没有脱离晶托时,需要进行脱胶,在脱胶的过程中,因人工抬晶托等因素容易导致硅片外缘部产生硅落,造成单边出现亮边,缺口,崩边等质量问题,通过观察与实际测量,硅片的尺寸上还有一定的余量可供选择,但目前市场上还没有能够修复硅片二级品及等外品的专用设备。目前一般是将单边出现亮边,缺口,崩边等质量问题的硅片当做废品或降级使用处理,造成了的原材料浪费。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片修复设备,它具有结构简单、便于操作、投资少见效快等特点。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种硅片修复设备,包括砂轮机架,在砂轮机架上设有电机,电机的转轴连接碗形砂轮,在砂轮机架靠近碗形砂轮的一侧设有压紧定位装置安装架,压紧定位装置安装架与砂轮机架之间设有水平滑动导轨,水平滑动导轨与碗形砂轮的砂轮盘面相平行,压紧定位装置安装架上安装有压紧定位装置,压紧定位装置包括单作用式气动活塞执行机构,单作用式气动活塞执行机构的活塞杆垂直向下,活塞杆的端部设有压块,在压块的下方设有水平定位板,水平定位板靠近碗形砂轮的侧壁面为平面,且与碗形砂轮的砂轮盘面相平行;在砂轮机架靠近碗形砂轮的一端设有与水平定位板相对应的竖向定位板,还包括一对硅片保护夹板。
还包括一对硅片保护夹板。
本实用新型进一步改进在于:
一对硅片保护夹板为PVC材质。
单作用式气动活塞执行机构的气缸通过压缩空气调压阀与气源连通。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
本实用新型将一对硅片保护夹板置于层叠好待修复的硅片上下两端,以避免砂轮对硅片形成二次损伤,通过水平定位板和竖向定位板对待修复的硅片进行定位,通过压紧定位装置将待修复的硅片进行固定,通过压紧定位装置安装架与砂轮机架之间设有的水平滑动导轨对待修复的硅片进行左右移动,从而使砂轮对其进行磨削修复,单作用式气动活塞执行机构的气缸通过压缩空气调压阀与气源连通,可控制执行机构对硅片的压力。本实用新型具有结构简单、便于操作、投资少见效快等特点。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
在附图中:1、砂轮机架;2、电机;3、碗形砂轮;4、压紧定位装置安装架;5、单作用式气动活塞执行机构;6、水平定位板;7、竖向定位板;8、硅片保护夹板;9、硅片。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。
由图1所示的实施例可知,本实施例包括砂轮机架1,在砂轮机架1上设有电机2,电机2的转轴连接碗形砂轮3,在砂轮机架1靠近碗形砂轮3的一侧设有压紧定位装置安装架4,压紧定位装置安装架4与砂轮机架1之间设有水平滑动导轨,水平滑动导轨与碗形砂轮3的砂轮盘面相平行,压紧定位装置安装架4上安装有压紧定位装置,压紧定位装置包括单作用式气动活塞执行机构5,单作用式气动活塞执行机构5的气缸通过压缩空气调压阀与气源连通,单作用式气动活塞执行机构5的活塞杆垂直向下,活塞杆的端部设有压块,在压块的下方设有水平定位板6,水平定位板6靠近碗形砂轮3的侧壁面为平面,且与碗形砂轮3的砂轮盘面相平行;在砂轮机架1靠近碗形砂轮3的一端设有与水平定位板6相对应的竖向定位板7;水平定位板6和竖向定位板7可使硅片9定位于砂轮磨削位置,还包括一对PVC材质硅片保护夹板8。
本实用新型充分利用单晶方棒在切成硅片前对边长尺寸所留下的余量,利用边长的余量,把单晶方棒在切割成硅片过程中所造成的亮边、缺口等利用高精度的磨削去除,使硅片由二级品、等外品修复为一级品。
使用方法:
将待修复的硅片层叠好,有损坏的边置于一侧,将一对硅片保护夹板8置于硅片9的上下两端,硅片9有损坏的边置于碗形砂轮3侧,硅片9有损坏的部位凸出于保护夹板8,将其放至水平定位板6上并紧靠竖向定位板7,已完成对硅片9进行砂轮磨削前的定位,之后启动电机,通过压紧定位装置安装架与砂轮机架之间设有的水平滑动导轨移动压紧定位装置安装架4,使层叠好的硅片9与碗形砂轮3相对运动,从而使碗形砂轮3对硅片9进行磨削修复,使硅片由二级品、等外品修复为一级品。
Claims (3)
1.一种硅片修复设备,其特征在于:包括砂轮机架(1),在所述砂轮机架(1)上设有电机(2),所述电机(2)的转轴连接碗形砂轮(3),在所述砂轮机架(1)靠近碗形砂轮(3)的一侧设有压紧定位装置安装架(4),所述压紧定位装置安装架(4)与所述砂轮机架(1)之间设有水平滑动导轨,所述水平滑动导轨与所述碗形砂轮(3)的砂轮盘面相平行,所述压紧定位装置安装架(4)上安装有压紧定位装置,所述压紧定位装置包括单作用式气动活塞执行机构(5),所述单作用式气动活塞执行机构(5)的活塞杆垂直向下,所述活塞杆的端部设有压块,在所述压块的下方设有水平定位板(6),所述水平定位板(6)靠近碗形砂轮(3)的侧壁面为平面,且与所述碗形砂轮(3)的砂轮盘面相平行;在所述砂轮机架(1)靠近碗形砂轮(3)的一端设有与所述水平定位板(6)相对应的竖向定位板(7),还包括一对硅片保护夹板(8)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片修复设备,其特征在于:所述一对硅片保护夹板(8)为PVC材质。
3.根据权利要求1或2所述的一种硅片修复设备,其特征在于:所述单作用式气动活塞执行机构(5)的气缸通过压缩空气调压阀与气源连通。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420683648.9U CN204262940U (zh) | 2014-11-13 | 2014-11-13 | 一种硅片修复设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420683648.9U CN204262940U (zh) | 2014-11-13 | 2014-11-13 | 一种硅片修复设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN204262940U true CN204262940U (zh) | 2015-04-15 |
Family
ID=52797837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420683648.9U Expired - Fee Related CN204262940U (zh) | 2014-11-13 | 2014-11-13 | 一种硅片修复设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN204262940U (zh) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105397592A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-03-16 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板单板单向磨边装置 |
CN105415134A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-03-23 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种用于横置石板磨边的双层旋磨装置 |
CN105458859A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-04-06 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板双板单向磨边装置 |
CN105458860A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-04-06 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板单板双向磨边装置 |
CN108099034A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-06-01 | 德淮半导体有限公司 | 用于晶圆切削的刀具及晶圆切削方法 |
CN114734318A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-07-12 | 银川隆基硅材料有限公司 | 一种硅片的磨削方法和硅片的磨削装置 |
-
2014
- 2014-11-13 CN CN201420683648.9U patent/CN204262940U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105397592A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-03-16 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板单板单向磨边装置 |
CN105415134A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-03-23 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种用于横置石板磨边的双层旋磨装置 |
CN105458859A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-04-06 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板双板单向磨边装置 |
CN105458860A (zh) * | 2015-12-24 | 2016-04-06 | 福建省金牛机械发展有限公司 | 一种横置石板单板双向磨边装置 |
CN108099034A (zh) * | 2017-12-15 | 2018-06-01 | 德淮半导体有限公司 | 用于晶圆切削的刀具及晶圆切削方法 |
CN114734318A (zh) * | 2022-03-15 | 2022-07-12 | 银川隆基硅材料有限公司 | 一种硅片的磨削方法和硅片的磨削装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204262940U (zh) | 一种硅片修复设备 | |
CN104386287A (zh) | 一种自动贴膜机治具 | |
CN204196228U (zh) | 一种水钻吸塑盘的成型设备 | |
CN204054709U (zh) | 一种合模压力机 | |
CN204280034U (zh) | 一种自动贴膜机治具 | |
TWM461531U (zh) | 膠膜裁切機之餘料去除裝置 | |
CN207105844U (zh) | 一种高效便捷的手套热转印设备 | |
CN106409979B (zh) | 光伏电池片背栅缺陷修复装置 | |
CN204424674U (zh) | 一种双工位交替式激光剥线机 | |
CN204604014U (zh) | 一种硅片亮边修磨装置 | |
CN205966918U (zh) | 一种消防设备制备用自动冲压装置 | |
CN205613872U (zh) | 大型长杆件的平行度校正机床 | |
CN104588457A (zh) | 一种便于拆卸的折弯机上模组件 | |
CN204771132U (zh) | 汽车冲压模具激光修复装置 | |
CN104369206B (zh) | 调节阀剪水口自动化取放和剪切装置 | |
CN208979808U (zh) | 一种扩散板的上料机构 | |
CN204277683U (zh) | 整体式制动带规整磨边机 | |
CN204507380U (zh) | 一种自动摇控器打包机的说明书移载装置 | |
CN203058556U (zh) | 一种双磨设备工作站 | |
CN204658730U (zh) | 单晶硅棒的切割工装 | |
CN202491465U (zh) | 一种包装桶卷边打孔一体机 | |
CN204269321U (zh) | 一种气密检测装置 | |
CN204354523U (zh) | 小纸盒内糊面纸加工装置 | |
CN104362365A (zh) | 电池冷热压机的送料机构 | |
CN111195838A (zh) | 一种铝基板打磨设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220713 Address after: 055550 Jing Long Street, Ningjin County, Xingtai, Hebei Patentee after: JA SOLAR Co.,Ltd. Address before: 055550 279 Jing Long Street, Ningjin County, Xingtai, Hebei. Patentee before: NINGJIN SONGGONG ELECTRONIC MATERIAL Co.,Ltd. |
|
TR01 | Transfer of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150415 |