CN204136256U - 一种硅棒切割用的主辊 - Google Patents

Abstract

一种硅棒切割用的主辊，包括主辊主体，所述主辊主体外周设有定位切割线的凹槽，其特征在于所述凹槽的槽宽为切割线直径的1.5~2.5倍，所述凹槽的截面为V型，所述切割线为钢丝时，钢丝直径为120μm，槽宽为200μm，槽距为350μm。本实用新型所述的硅棒切割用的主辊，减小了主辊外周凹槽的槽宽，增加了切割线与主辊结合的稳定性，降低了切割线跳线风险，提高了硅片的切割质量，从而提高了硅片的成品率，而且切割线使用寿命增长，降低了生产成本。

Description

一种硅棒切割用的主辊

技术领域

本实用新型涉及硅棒加工技术，尤其涉及一种硅棒切割用的主辊。

背景技术

目前，国内的硅片生产大都是采用多线切割技术，多线切割机内设置可升降的晶托和至少两根主辊，晶托的下方连接硅棒工件，每根主辊的外周围设有用于定位切割线的凹槽，凹槽内绕置有切割线。切割线为钢丝时，进行硅棒切割时，晶托带着硅棒向下进给，高速运转的主辊带动钢丝沿与硅棒进给方向垂直的方向运动，钢丝携带碳化硅砂浆对硅棒进行研磨切割。其中主辊槽距350~355μm，钢丝直径120μm±1，硅片厚度200μm±20，碳化硅砂浆的粒径9.8~10.3μm。生产过程中经常出现下述问题：凹槽的槽宽过大，钢丝与主辊接触时容易打滑，出现钢丝跳线，在硅片上留下锯痕，影响了硅片的切割质量，降低了硅片的成品率，而且钢丝使用寿命短，增加了生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决主辊外周凹槽的槽宽过大，出现切割线跳线，导致在硅片上留下锯痕，硅片的成品率降低的问题，以及由于切割线跳线导致切割线使用寿命短的问题，提出了一种硅棒切割用的主辊。

为了解决上述问题，本实用新型采用的技术方案如下：

一种硅棒切割用的主辊，包括主辊主体，所述主辊主体外周设有定位切割线的凹槽，其特征在于所述凹槽的槽宽为切割线直径的1.5~2.5倍。

优选的，所述切割线为钢丝。

优选的，钢丝直径为120μm，槽宽为200μm，槽距为350μm。

优选的，所述凹槽的截面为V型，U型或梯形。

优选的，所述凹槽的截面为V型，所述凹槽的角度范围为35°~ 50°。

本实用新型的有益效果：本实用新型所述的硅棒切割用的主辊，减小了主辊外周凹槽的槽宽，增加了切割线与主辊结合的稳定性，降低了切割线跳线风险，提高了硅片的切割质量，从而提高了硅片的成品率，同时增加了切割线使用寿命，降低了生产成本。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是现有技术的结构示意图。

其中，凹槽1，凹槽1’，钢丝2，主辊主体3。

具体实施方式

结合图1对本实用新型作进一步说明：一种硅棒切割用的主辊，包括主辊主体3，所述主辊主体3外周设有多个凹槽1，凹槽1内绕置有钢丝2，为了使钢丝与主辊结合的稳定性提高，凹槽1的的槽宽为钢丝直径的1.5~2.5倍，凹槽的截面为V型或U型时，凹槽的槽宽为V型或U型的底边，凹槽的截面为梯形时，凹槽的槽宽为梯形的下底.。如图1所示的凹槽的截面为V型时，钢丝2直径为120μm，槽宽为200μm，槽距为350μm。

与图2所示的现有技术相比，本实用新型中的槽宽减小，使切割线与主辊结合的稳定性提高，降低了切割线跳线的风险，降低了切割线在硅片上留下锯痕的风险，提高了硅片的成品率，而且增加了切割线使用寿命，降低了生产成本。

Claims (5)

1.一种硅棒切割用的主辊，包括主辊主体，所述主辊主体外周设有定位切割线的凹槽，其特征在于，所述凹槽的槽宽为切割线直径的1.5~2.5倍。

2.根据权利要求1所述的硅棒切割用的主辊，其特征在于，所述切割线为钢丝。

3.根据权利要求2所述的硅棒切割用的主辊，其特征在于，钢丝直径为120μm，槽宽为200μm，槽距为350μm。

4.根据权利要求1所述的硅棒切割用的主辊，其特征在于，所述凹槽的截面为V型，U型或梯形。

5.根据权利要求4所述的硅棒切割用的主辊，其特征在于，所述凹槽的截面为V型，所述凹槽的角度范围为35°~ 50°。