CN204136255U - 一种带树脂挡块的硅棒切割单元 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:包括硅棒、树脂挡块、金属托板和玻璃板;所述金属托板、玻璃板、硅棒依次粘贴在一起,所述树脂挡块粘贴在所述硅棒的两端。本实用新型在硅棒两端各粘接一块正方形的树脂档块可彻底消除硅棒两端涨片现象,还可以有效降低硅棒两端的碎片,边缘不良。另外,使用树脂材质,易于切割,不会对硅片切割过程产生影响。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片切割技术领域,特别是涉及一种带树脂挡块的硅棒切割单元。
背景技术
现有的硅片切割方法是将硅棒和玻璃板、金属托板依次粘贴在一起,通过切片机的切割线对硅棒进行切割成硅片。该切割方法在每刀切割结束时,硅棒两端的硅片容易涨开,形成碎片,边缘(棱面缺损)不良。从而降低了硅片的成品率,也降低了硅棒的利用率。
发明内容
本实用新型目的在于针对现有技术的缺陷提供一种提高硅棒利用率,降低硅棒两边涨片现象的带树脂挡块的硅棒切割单元。
本实用新型为实现上述目的,采用如下技术方案:
一种带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:包括硅棒、树脂挡块、金属托板和玻璃板;所述金属托板、玻璃板、硅棒依次粘贴在一起,所述树脂挡块粘贴在所述硅棒的两端。
其进一步特征在于:所述硅棒规格为156 mm×156mm。
所述树脂挡块厚度为15-20mm。
优选的:所述树脂挡块长×宽×厚为100mm×100mm×15mm。
进一步的:所述金属托板上设置有用于安装到机台上的燕尾铁。
本实用新型在硅棒两端各粘接一块正方形的树脂档块具有下述优点:
1. 可彻底消除硅棒两端涨片现象。
2. 可有效降低硅棒两端的碎片,边缘不良。
3. 使用树脂材质,易于切割,不会对硅片切割过程产生影响。
附图说明
图 1 为本实用新型示意图。
具体实施方式
如图1所示一种带树脂挡块的硅棒切割单元,包括硅棒2、树脂挡块1、金属托板3和玻璃板4;所述金属托板3、玻璃板4、硅棒2依次粘贴在一起,所述树脂挡块1粘贴在所述硅棒2的两端。所述硅棒2规格为156 mm×156mm。所述树脂挡块1长×宽×厚为100mm×100mm×15mm。所述金属托板3上设置有用于安装到机台上的燕尾铁5。
切割前,树脂挡块同硅棒一起粘接在玻璃板上,树脂挡块紧贴硅棒两端粘接,切割时,切割线从硅棒向树脂板延伸2-3mm,即保留树脂板有12-13mm厚度未进行切割,该部分未切割的树脂板有足够的支撑力,可完全消除硅片涨开现象。
Claims (5)
1.一种带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:包括硅棒、树脂挡块、金属托板和玻璃板;所述金属托板、玻璃板、硅棒依次粘贴在一起,所述树脂挡块粘贴在所述硅棒的两端。
2.根据权利要求1所述的带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:所述硅棒规格为156 mm×156mm。
3.根据权利要求1或2所述的带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:所述树脂挡块厚度为15-20mm。
4.根据权利要求3所述的带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:所述树脂挡块长×宽×厚为100mm×100mm×15mm。
5.根据权利要求1或2所述的带树脂挡块的硅棒切割单元,其特征在于:所述金属托板上设置有燕尾铁。
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CN201420604384.3U CN204136255U (zh) | 2014-10-17 | 2014-10-17 | 一种带树脂挡块的硅棒切割单元 |
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CN204136255U true CN204136255U (zh) | 2015-02-04 |
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Family Applications (1)
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CN201420604384.3U Active CN204136255U (zh) | 2014-10-17 | 2014-10-17 | 一种带树脂挡块的硅棒切割单元 |
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CN (1) | CN204136255U (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109747057A (zh) * | 2019-02-14 | 2019-05-14 | 厦门芯光润泽科技有限公司 | 碳化硅晶棒多线切割方法 |
WO2023019738A1 (zh) * | 2021-08-18 | 2023-02-23 | 天通控股股份有限公司 | 一种大尺寸超薄铌酸锂晶片的切片方法 |
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2014
- 2014-10-17 CN CN201420604384.3U patent/CN204136255U/zh active Active
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