CN204008565U - X-y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置 - Google Patents
X-y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及超声波扫描技术领域,具体地说是一种X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置。一种X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,包括底座、基座、水槽、固定模块、定位模块、换能器,其特征在于:底座的上方连接设有水槽,位于水槽左右两侧的底座上分别设有基座;位于水槽内部的左右两侧分别设有齿条,位于齿条的上方设有圆轴检具总成,圆轴检具总成的上方连接设有固定模块,位于固定模块的前方连接设有定位模块,位于定位模块的前方通过换能器安装块连接换能器。同现有技术相比,将原来的X-Y方向扫描的二维超声波扫描显微镜的Y轴转化为旋转运动的方向,原来X-Y方向的扫描转换成X-R方向的扫描运动,R即代表旋转运动。
Description
技术领域
本实用新型涉及超声波扫描技术领域,具体地说是一种X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置。
背景技术
二维超声波扫描显微镜采用高频超声波换能器,通过X-Y方向逐点进行采样扫描,得到被测样品内部的缺陷图像,由于其分辨率可达μm级别,而且在纵向,及Z的方向,对缺陷的灵敏度达到nm级别,因此,被广泛用于各种材料,半导体器件等微小器件的内部缺陷检测,特别是一些有多层结构的器件内部的分层缺陷检测,以及一些微小焊点的内部空洞检测。
但是,由于超声波扫描显微镜只能进行X-Y的二维方向的扫描,因此,只能对一些平面样品,或者表面比较平整的样品进行扫描,对于一些曲率比较大,比如管材和圆柱体的样品则无法进行内部缺陷检测。
在无损探伤领域对于一些管材和圆柱体的内部缺陷超声波探伤,只能采用多探头阵列的形式,以及将多个探头环绕圆柱体样品外表面对内部缺陷进行检测,但由于探头本身的外形尺寸限制,这些探头阵列的检测方法分辨率比较差,只能达到mm级别的测试分辨率。
发明内容
本实用新型为克服现有技术的不足,提供一种用于超声波扫描的圆周检测装置,采用转动旋转机构,使得样品稳定的旋转,对于不同直径尺寸的管材和圆柱体都可以进行扫描,具有通用性和操作的简便性保持了原有超声扫描显微镜的高分辨率性能,可以达到微米级别的分辨率。
为实现上述目的,设计一种X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,包括底座、基座、水槽、固定模块、定位模块、换能器,其特征在于:底座的上方连接设有水槽,位于水槽左右两侧的底座上分别设有基座;位于水槽内部的左右两侧分别设有齿条,位于齿条的上方设有圆轴检具总成,圆轴检具总成的上方连接设有固定模块,位于固定模块的前方连接设有定位模块,位于定位模块的前方通过换能器安装块连接换能器。
所述的圆轴检具总成包括托架、齿轮、托架座板、辊轴,托架呈“C”字型,所述的托架设有两个,并且左右两侧的托架分别位于左右两侧的齿条的上方;左右两侧的托架的一端通过两根辊轴连接,左右两侧的托架的另一端为平面,并且左右两侧的托架的另一端通过托架座板连接,托架座板的上方设有固定模块。
所述的两根辊轴的两端分别通过轴承连接齿轮,并且齿轮与齿轮下方的齿条相配合。
所述的换能器的下端位于两根辊轴之间的上方。
所述的水槽为有机玻璃水槽。
所述的齿轮为同步齿轮。
所述的齿条为同步齿条。
所述的换能器为超声波换能器。
本实用新型同现有技术相比,提供一种用于超声波扫描的圆周检测装置,将原来的X-Y方向扫描的二维超声波扫描显微镜的Y轴转化为可以旋转运动的方向,从而使得原来X-Y方向的扫描转换成X-R方向的扫描运动,R即代表旋转运动。
采用转动旋转机构,使得样品稳定的旋转,对于不同直径尺寸的管材和圆柱体都可以进行扫描,具有通用性和操作的简便性保持了原有超声扫描显微镜的高分辨率性能,可以达到微米级别的分辨率。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
图2为圆轴检具总成的结构示意图。
参见图1,1为底座,2为水槽,3为齿条,4为固定模块,5为定位模块,6为换能器,7为换能器安装块,8为基座,9为圆轴检具总成,10为检测样品。
参见图2,9-1为托架座板,9-2为托架,9-3为齿轮,9-4为辊轴。
具体实施方式
下面根据附图对本实用新型做进一步的说明。
如图1所示,底座1的上方连接设有水槽2,位于水槽2左右两侧的底座1上分别设有基座8;位于水槽2内部的左右两侧分别设有齿条3,位于齿条3的上方设有圆轴检具总成9,圆轴检具总成9的上方连接设有固定模块4,位于固定模块4的前方连接设有定位模块5,位于定位模块5的前方通过换能器安装块7连接换能器6。
如图2所示,圆轴检具总成9包括托架、齿轮、托架座板、辊轴,托架9-2呈“C”字型,所述的托架9-2设有两个,并且左右两侧的托架9-2分别位于左右两侧的齿条3的上方;左右两侧的托架9-2的一端通过两根辊轴9-4连接,左右两侧的托架9-2的另一端为平面,并且左右两侧的托架9-2的另一端通过托架座板9-1连接,托架座板9-1的上方设有固定模块4。
两根辊轴9-4的两端分别通过轴承连接齿轮9-3,并且齿轮9-3与齿轮9-3下方的齿条3相配合。
换能器6的下端位于两根辊轴9-4之间的上方。
水槽2为有机玻璃水槽。
齿轮9-3为同步齿轮。
齿条3为同步齿条。
换能器6为超声波换能器。
托架座板9-1及托架9-2上设有多孔的作用为一个是减重,另外一个是预防C型托架9-2内部应力所可能产生的翘曲。
将检测样品10放置于两根辊轴9-4之间的上方,检测样品10为管材或圆柱体,两根辊轴9-4两端的齿轮9-3配合齿轮3进行顺时针运动,这样检测样品10由于两根辊轴9-4的顺时针运动而同样做顺时针转动,此时,位于两根辊轴9-4之间的上方的换能器6进行同步扫描,这样,检测样品10的圆周的情况即可被换能器6扫描。
将原来的X-Y方向扫描的二维超声波扫描显微镜的Y轴转化为可以旋转运动的方向,从而使得原来X-Y方向的扫描转换成X-R方向的扫描运动,并且也能适用于不同直径尺寸的管材或圆柱体,结构简单,通用性大。
Claims (8)
1.一种X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,包括底座、基座、水槽、固定模块、定位模块、换能器,其特征在于:底座(1)的上方连接设有水槽(2),位于水槽(2)左右两侧的底座(1)上分别设有基座(8);位于水槽(2)内部的左右两侧分别设有齿条(3),位于齿条(3)的上方设有圆轴检具总成(9),圆轴检具总成(9)的上方连接设有固定模块(4),位于固定模块(4)的前方连接设有定位模块(5),位于定位模块(5)的前方通过换能器安装块(7)连接换能器(6)。
2.根据权利要求1所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的圆轴检具总成(9)包括托架、齿轮、托架座板、辊轴,托架(9-2)呈“C”字型,所述的托架(9-2)设有两个,并且左右两侧的托架(9-2)分别位于左右两侧的齿条(3)的上方;左右两侧的托架(9-2)的一端通过两根辊轴(9-4)连接,左右两侧的托架(9-2)的另一端为平面,并且左右两侧的托架(9-2)的另一端通过托架座板(9-1)连接,托架座板(9-1)的上方设有固定模块(4)。
3.根据权利要求2所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的两根辊轴(9-4)的两端分别通过轴承连接齿轮(9-3),并且齿轮(9-3)与齿轮(9-3)下方的齿条(3)相配合。
4.根据权利要求1所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的换能器(6)的下端位于两根辊轴(9-4)之间的上方。
5.根据权利要求1所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的水槽(2)为有机玻璃水槽。
6.根据权利要求2或3所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的齿轮(9-3)为同步齿轮。
7.根据权利要求1或2或3所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的齿条(3)为同步齿条。
8.根据权利要求1所述的X-Y二维超声扫描显微镜测试管材及圆柱体样品的装置,其特征在于:所述的换能器(6)为超声波换能器。
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