CN204004367U - 一种新型真空密封装置 - Google Patents
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- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 29
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- Gasket Seals (AREA)
Abstract
本实用新型实施例公开了一种新型真空密封装置，通过在密封圈中空内部密封安装开有真空口的密封盖，便解决了当真空机组抽气进行真空处理时，由于抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露的技术问题。本实用新型实施例包括：包括密封圈，为中空结构，还包括密封盖，安装在密封圈中空部分，并与密封圈密封连接，密封盖开有真空口。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体单晶生长领域，尤其涉及一种新型真空密封装置。
背景技术
随着科技地高速发展，半导体材料（semiconductor material）由于其独特的半导体性能，即导电能力介于导体与绝缘体之间，已经成为制作半导体器件和集成电路的电子材料的中坚力量，尤其很多半导体材料，例如砷化镓GaAs、锗Ge材料等，需要进行单晶生长法对半导体材料提纯，再应用于工业制造中。
在对半导体材料进行单晶生长之前，通常需要进行生长前真空管制备，现有的真空管抽真空的技术，通常是使用密封圈套在真空管上方，再通过真空机组抽气实现真空。
然而，上述的密封圈设计，当真空机组抽气实现真空时，常常因为抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露，从而，影响半导体材料的单晶生长。
实用新型内容
本实用新型实施例公开了一种新型真空密封装置，通过在密封圈中空内部密封安装开有真空口的密封盖，便解决了当真空机组抽气进行真空处理时，由于抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露的技术问题。
本实用新型实施例提供了一种新型真空密封圈，包括：
密封圈，为中空结构，还包括：
密封盖，安装在所述密封圈中空部分，并与所述密封圈密封连接；
所述密封盖开有真空口。
优选地，
所述真空口直径为5毫米的圆口。
优选地，
所述密封圈外圈包裹有一圈密封胶。
优选地，
所述密封圈为中空直径50毫米的环状结构。
优选地，
所述密封盖为圆盘结构。
从以上技术方案可以看出，本实用新型实施例具有以下优点：
本实用新型实施例提供了一种新型真空密封装置，包括：包括密封圈，为中空结构，还包括密封盖，安装在密封圈中空部分，并与密封圈密封连接，密封盖开有真空口。本实施例中，通过在密封圈中空内部密封安装开有真空口的密封盖，便实现了当真空机组抽气实现真空时，避免了抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露的技术问题，进一步提高半导体材料的单晶生长的成功率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1为本实用新型实施例中提供的一种新型真空密封装置的结构示意图；
具体实施方式
本实用新型实施例公开了一种新型真空密封装置，通过在密封圈中空内部密封安装开有真空口的密封盖，便解决了当真空机组抽气进行真空处理时，由于抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露的技术问题。
请参阅图1，本实用新型实施例中提供的一种新型真空密封装置的一个实施例包括：
包括密封圈1，为中空结构；
密封盖2，安装在密封圈1中空部分，并与密封圈1密封连接；
密封盖2开有真空口21，需要说明的是，该真空口21的形状可以是根据真空机组的真空头相对应，例如真空机组的真空头为圆口，则真空口21为圆形真空口，或者是真空机组的真空头为方口，则真空口21为圆形真空口，本实用新型实施例中，真空口21直径为5毫米的圆口。
可以理解的是，如图1所示，密封圈1外圈包裹有一圈密封胶11，该密封胶11可以是具备密封功能的胶体，例如橡胶等，具体此处不做限定。
本实用新型实施例中的新型真空密封装置，还可以进一步包括：
前述的密封圈1为中空直径50毫米的环状结构。
前述的密封盖2为圆盘结构，该圆盘结构的面积不大于密封圈1的内环，可以说明的是，该密封盖2嵌入在密封圈1的内环中空中，实现完全密封状态。
本实用新型实施例提供了一种新型真空密封装置，包括：包括密封圈1，为中空结构，还包括密封盖2，安装在密封圈1中空部分，并与密封圈1密封连接，密封盖2开有真空口21。本实施例中，通过在密封圈1中空内部密封安装开有真空口21的密封盖2，便实现了当真空机组抽气实现真空时，避免了抽气机组的强大吸力造成真空管的损毁或导致真空泄露的技术问题，进一步提高半导体材料的单晶生长的成功率。
以上对本实用新型所提供的一种新型真空密封装置进行了详细介绍，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型实施例的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (4)
1.一种新型真空密封装置，包括密封圈，为中空结构，其特征在于，还包括：
密封盖，安装在所述密封圈中空部分，并与所述密封圈密封连接；
所述密封盖开有真空口；
所述真空口直径为5毫米的圆口。
2.根据权利要求1所述的新型真空密封装置，其特征在于，
所述密封圈外圈包裹有一圈密封胶。
3.根据权利要求1所述的新型真空密封装置，其特征在于，
所述密封圈为中空直径50毫米的环状结构。
4.根据权利要求1所述的新型真空密封装置，其特征在于，
所述密封盖为圆盘结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420187827.3U CN204004367U (zh) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 一种新型真空密封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420187827.3U CN204004367U (zh) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 一种新型真空密封装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204004367U true CN204004367U (zh) | 2014-12-10 |
Family
ID=52044370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420187827.3U Expired - Lifetime CN204004367U (zh) | 2014-04-17 | 2014-04-17 | 一种新型真空密封装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204004367U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109051296A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-21 | 苍南名禾科技有限公司 | 一种密封奶粉盖 |
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2014
- 2014-04-17 CN CN201420187827.3U patent/CN204004367U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109051296A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-12-21 | 苍南名禾科技有限公司 | 一种密封奶粉盖 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
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|
| TR01 | Transfer of patent right |
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|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20141210 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |