CN203981101U - 硅片偏心测试仪 - Google Patents

Abstract

硅片偏心测试仪，包括千分表、承载件、支撑座、测头和测试仪仪身，承载件安装在支撑座上，测试仪仪身位于承载件的一侧，千分表固定在测试仪仪身上，侧头安装在千分表的底端并垂直指向承载件的中心，承载件为三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，固定板为镂空式固定板，支架A、支架B和支架C均安装在镂空处。采用本实用新型对硅片的偏心量进行测量，无须采用国外进口昂贵的设备便能轻易得出硅片的偏心量，设备简单，价格低廉，测量方法也很方便，易于维修，适合于大量普通的生产光学器件公司的使用。

Description

硅片偏心测试仪

技术领域

本实用新型涉及光学元件加工技术领域，具体涉及一种用于对硅片的偏心量进行测量的硅片偏心测试仪。

背景技术

近年来，随着科技的进步和发展，在用于数字照相机、摄影机等的各种光学***中，经常采用硅片用于改善光学性能和使光学***小型化。与之相伴地，需要一种测量硅片的偏心量的方法。

传统的偏心测量仪采用光源发射光束经由透明的光学元件折射所产生折射光从而对此类光学元件的偏心量进行测量，但是硅片作为一种不透明固体，不能采用这种方法进行测量。并且，这种传统的测量光学元件的偏心量所采用的机械设备多为国外进口，价格非常昂贵，普通的光学器件公司难以承担和使用。因此，需采用一种新装置来实现对硅片能进行很好的偏心量的测试。

因此，上述问题是在对硅片偏心测试仪的设计和使用过程中应当予以考虑并解决的问题。

实用新型内容

针对上述存在的问题，本实用新型提供硅片偏心测试仪。

本实用新型的技术解决方案是：硅片偏心测试仪，包括千分表、承载件、支撑座、测头和测试仪仪身，所述承载件安装在所述支撑座上，所述测试仪仪身位于所述承载件的一侧，所述千分表固定在所述测试仪仪身上，所述侧头安装在所述千分表的的底端并垂直指向所述承载件的中心，所述承载件为三足式形式，包括固定板、支架A、支架B和支架C，所述固定板为镂空式固定板，所述支架A、支架B和支架C均安装在镂空处。

本实用新型的进一步改进在于：所述支架A、支架B和支架C的结构相同，均包括固定旋钮、滑块和支撑轴，所述固定旋钮安装在所述滑块上，所述支撑轴位于所述滑块的顶端，所述支架A、支架B和支架C的支撑轴的顶端均指向所述承载件的中心。

本实用新型的进一步改进在于：所述固定板在所述支架A、所述支架B和所述支架C安装的位置均开设有可供滑块滑动的滑槽。

本实用新型的进一步改进在于：所述承载件上还设置有能在所述支撑座上上下移动的紧固钮A，所述千分表也能通过所述测试仪仪身上的紧固钮B进行上下移动。

本实用新型硅片偏心测试仪，通过紧固钮A和紧固钮B将承载件和千分表移动好位置固定住，在固定板上开设的滑槽中移动滑块使得支架A、支架B和支架C的支撑轴的末端聚集在一起，聚集处为承载件的中心，通过滑块上的固定旋钮固定住滑块在滑槽中的位置。然后通过把测头往上拔，将待测硅片放在支架A、支架B和支架C的支撑轴末端的聚集处，测头的末端抵住硅片的上表面，通过千分表进行测量，再将硅片旋转180°后，重复测量，能准确测出硅片的偏心量。

本实用新型的有益效果是：硅片置于支架A、支架B和支架C支撑轴组成的中心点，硅片摆放位置平稳。本实用新型设计了一种硅片偏心测试仪，无须采用国外进口昂贵的设备便能轻易得出硅片的偏心量，设备简单，价格低廉，测量方法也很方便，读数直观，普通工人便能操作，并且易于维修，适合于大量普通的生产光学器件公司的使用。 

附图说明

图1是本实用新型硅片偏心测试仪的结构示意图。

其中，1-千分表，2-承载件，3-支撑座，4-测头，5-测试仪仪身，6-固定板，7-支架A、8-支架B，9-支架C，10-固定旋钮，11-滑块，12-支撑轴，13-滑槽，14-紧固钮A，15-紧固钮B。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合附图和实施例对本实用新型做进一步详细描述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不对本实用新型的保护范围构成限定。

本实施例提供硅片偏心测试仪，包括千分表1、承载件2、支撑座3、测头4和测试仪仪身5，所述承载件2安装在所述支撑座3上，所述测试仪仪身5位于所述承载件2的一侧，所述千分表1固定在所述测试仪仪身5上，所述侧头安装在所述千分表1的的底端并垂直指向所述承载件2的中心，所述承载件2为三足式形式，包括固定板6、支架A7、支架B8和支架C9，所述固定板6为镂空式固定板6，所述支架A7、支架B8和支架C9均安装在镂空处。所述支架A7、支架B8和支架C9的结构相同，均包括固定旋钮10、滑块11和支撑轴12，所述固定旋钮10安装在所述滑块11上，所述支撑轴12位于所述滑块11的顶端，所述支架A7、支架B8和支架C9的支撑轴12的顶端均指向所述承载件2的中心。所述固定板6在所述支架A7、所述支架B8和所述支架C9安装的位置均开设有可供滑块11滑动的滑槽13。所述承载件2上还设置有能在所述支撑座3上上下移动的紧固钮A14，所述千分表1也能通过所述测试仪仪身5上的紧固钮B15进行上下移动。

本实施例硅片偏心测试仪，通过紧固钮A14和紧固钮B15将承载件2和千分表1移动好位置固定住，在固定板6上开设的滑槽13中移动滑块11使得支架A7、支架B8和支架C9的支撑轴12的末端聚集在一起，聚集处为承载件2的中心，通过滑块11上的固定旋钮10固定住滑块11在滑槽13中的位置。然后通过把测头4往上拔，将待测硅片放在支架A7、支架B8和支架C9的支撑轴12末端的聚集处，测头4的末端抵住硅片的上表面，通过千分表1进行测量，再将硅片旋转180°后，重复测量，能准确测出硅片的偏心量。

本实施例的有益效果是：硅片置于支架A、支架B和支架C支撑轴组成的中心点，硅片摆放位置平稳。本实用新型设计了一种硅片偏心测试仪，无须采用国外进口昂贵的设备便能轻易得出硅片的偏心量，设备简单，价格低廉，测量方法也很方便，读数直观，普通工人便能操作，并且易于维修，适合于大量普通的生产光学器件公司的使用。

Claims (4)

1.硅片偏心测试仪，其特征在于：包括千分表（1）、承载件（2）、支撑座（3）、测头（4）和测试仪仪身（5），所述承载件（2）安装在所述支撑座（3）上，所述测试仪仪身（5）位于所述承载件（2）的一侧，所述千分表（1）固定在所述测试仪仪身（5）上，所述侧头安装在所述千分表（1）的的底端并垂直指向所述承载件（2）的中心，所述承载件（2）为三足式形式，包括固定板（6）、支架A（7）、支架B（8）和支架C（9），所述固定板（6）为镂空式固定板（6），所述支架A（7）、支架B（8）和支架C（9）均安装在镂空处。

2.根据权利要求1所述的硅片偏心测试仪，其特征在于：所述支架A（7）、支架B（8）和支架C（9）的结构相同，均包括固定旋钮（10）、滑块（11）和支撑轴（12），所述固定旋钮（10）安装在所述滑块（11）上，所述支撑轴（12）位于所述滑块（11）的顶端，所述支架A（7）、支架B（8）和支架C（9）的支撑轴（12）的顶端均指向所述承载件（2）的中心。

3.根据权利要求1所述的硅片偏心测试仪，其特征在于：所述固定板（6）在所述支架A（7）、所述支架B（8）和所述支架C（9）安装的位置均开设有可供滑块（11）滑动的滑槽（13）。

4.根据权利要求1所述的硅片偏心测试仪，其特征在于：所述承载件（2）上还设置有能在所述支撑座（3）上上下移动的紧固钮A（14），所述千分表（1）也能通过所述测试仪仪身（5）上的紧固钮B（15）进行上下移动。