CN203973797U - 一种圆柱形硅棒夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种圆柱形硅棒夹具，旨在解决现有圆柱形硅棒夹具在夹持硅棒时生产的硅片次品较多的问题，包括固定装置、定位装置；固定装置包括设有四个导向柱的下压块，每个导向柱的上部设有螺纹；固定装置还包括下模块、上模块、上压块、四个压紧螺母；上模块的下表面设有上弧形槽，下模块的上表面设有下弧形槽；定位装置包括转接装置、支架、滑杆、调节螺栓；滑杆穿射在支架上且设有刻度，滑杆左右每端均设有一个挡块，滑杆上套接有弹簧。本实用新型中设有硅棒的定位装置和固定装置，方便硅棒的定位和固定，通用性强，定位装置对硅棒的定位比较精确，减小了硅片的厚度误差，提高了硅片的质量。

Description

一种圆柱形硅棒夹具

技术领域

本实用新型涉及一种圆柱形硅棒夹具。

背景技术

在将圆柱形的硅棒切割成硅片时，需要采用夹具对硅棒进行定位和固定；现有的圆柱形硅棒夹具采用卡爪对硅棒进行夹持时，容易对硅棒表面产生压痕，影响产品的质量；采用上下两个弧形板来夹持硅棒时，由于夹具或硅棒的表面不光滑等缺陷会导致夹持硅棒不牢固，在切割硅棒时，因晃动而影响产品质量；此外，弧形板只能夹持一种直径的硅棒，性能单一；而且现有的圆柱形硅棒，大多没有定位装置，生产出的硅片厚度不均。

实用新型内容

本实用新型提供了一种圆柱形硅棒夹具，旨在解决现有圆柱形硅棒夹具在夹持硅棒时生产的硅片次品较多的问题。

为了解决以上技术问题，本实用新型通过以下技术方案实现：一种圆柱形硅棒夹具，包括用于固定硅棒的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒位置的定位装置；所述固定装置包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱的下压块，每个导向柱的上部设有螺纹；固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱上的下模块、上模块、上压块、四个分别设置在四个导向柱上的压紧螺母；所述上模块的下表面设有与硅棒相配的上弧形槽，所述下模块的上表面设有与硅棒相配的下弧形槽；所述定位装置包括安装在下压块上的转接装置、转接在转接装置上的支架、设置在硅棒左端且可相对支架左右移动的滑杆、设置在硅棒右侧且设置在支架上的调节螺栓；所述滑杆穿射在支架上且设有刻度，滑杆左右每端均设有一个挡块，滑杆上套接有位于支架和右侧挡块之间的弹簧。

进一步，所述下压块的上表面带有弧形的下凹槽，所述下模块的下表面与下压块的上表面相配；所述上压块的下表面设有上凹槽，所述上凹槽的左右每端均设有一个固连在上压块上的弧形块，所述上模块为一个中空的矩形框架，上弧形槽有两个且分别设置在上模块左右两条边的上表面上，所述上模块的上表面与下压块下表面相配；上模块只有左右两边压住硅棒，可以避免硅棒因表面不光滑灯缺陷，而造成的固定不牢固的问题；此外，下凹槽为弧形，上凹槽左右两端设有弧形块，在不需要上模块和下模块的情况下也可进行对硅棒进行固定。

进一步，所述上压块上穿设有至少一个轴线垂直于上压块上表面且上小下大的阶梯孔，所述阶梯孔位于上压块的前后对称面上，阶梯孔的上部为圆形的螺纹孔且配有压紧螺栓，所述阶梯孔的下部为方形孔且配有方形块，所述方形块和压紧螺栓之间设有轴承；每个方形块下方均固连有一个辅助压块，辅助压块位于上凹槽内；辅助压块可以对硅棒进一步的固定，夹持硅棒时更加牢固。

进一步，所述辅助压块为弧形；夹持硅棒时更加牢固。

进一步，所述阶梯孔有三个；少于三个时效果不太好，多于三个时成本高。

进一步，所述轴承为角接触球轴承；既可以承受径向力，又可以承受轴向力。

进一步，所述转接装置包括两个分别固连在下压块前侧面左右两端的支撑块、两个分别设置在两个支撑块上且用于固定支架的紧固螺钉；所述支架包括一根转接在两个支撑块上且左右方向设置的圆杆、两根分别固连圆杆左右两端且垂直圆杆的支杆，所述滑杆穿射在左侧的支杆上，所述调节螺栓转接在右侧的支杆上；结构简单成本低。

与现有技术相比本实用新型的优点是：本实用新型中设有硅棒的定位装置和固定装置，方便硅棒的定位和固定；固定装置中设有上压块、下压块、上模块和下模块，方便拆装，通过更换不同规格的上模块和下模块可以固定不同直径的圆柱，通用性强；上模块的上弧形槽和下模块的下弧形槽在夹持硅棒时不会产生压痕，提高了生产出的硅片质量；此外，定位装置对硅棒的定位比较精确，减小了硅片的厚度误差，提高了硅片的质量。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中定位装置的结构示意图；

图3为本实用新型中固定装置的左视图；

图4为本实用新型中上模块下表面朝上时的结构示意图；

图5为本实用新型中下模块的结构示意图；

图6为本实用新型中上压块下表面朝上时的结构示意图；

图7为本实用新型中下压块的结构示意图。

具体实施方式

参阅图1，一种圆柱形硅棒夹具，包括用于固定硅棒1的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒1位置的定位装置。

参阅图1、图3、图4、图5、图6和图7所述固定装置包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱22的下压块2，每个导向柱22的上部设有螺纹；固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱22上的下模块4、上模块5、上压块3、四个分别设置在四个导向柱22上的压紧螺母23；所述上模块5的下表面设有与硅棒1相配的上弧形槽51，所述下模块4的上表面设有与硅棒1相配的下弧形槽41。所述下压块2的上表面带有弧形的下凹槽21，所述下模块4的下表面与下压块2的上表面相配；所述上压块3的下表面设有上凹槽31，所述上凹槽31的左右每端均设有一个固连在上压块3上的弧形块32，所述上模块5为一个中空的矩形框架，上弧形槽51有两个且分别设置在上模块5左右两条边的上表面上，所述上模块5的上表面与下压块3下表面相配。所述上压块21上穿设有三个轴线垂直于上压块21上表面且上小下大的阶梯孔，所述阶梯孔位于上压块21的前后对称面上，阶梯孔的上部为圆形的螺纹孔且配有压紧螺栓10，所述阶梯孔的下部为方形孔且配有方形块11，所述方形块11和压紧螺栓10之间设有角接触球轴承12；每个方形块11下方均固连有一个辅助压块13，辅助压块13位于上凹槽31内；所述辅助压块13为弧形。

参阅图1和图2，所述定位装置包括安装在下压块2上的转接装置、转接在转接装置上的支架7、设置在硅棒1左端且可相对支架7左右移动的滑杆8、设置在硅棒1右侧且设置在支架7上的调节螺栓9；所述滑杆8穿射在支架7上且设有刻度，滑杆8左右每端均设有一个挡块81，滑杆8上套接有位于支架7和右侧挡块81之间的弹簧6；所述转接装置包括两个分别固连在下压块2前侧面左右两端的支撑块14、两个分别设置在两个支撑块14上且用于固定支架7的紧固螺钉15；所述支架7包括一根转接在两个支撑块14上且左右方向设置的圆杆71、两根分别固连圆杆71左右两端且垂直圆杆71的支杆72，所述滑杆8穿射在左侧的支杆72上，所述调节螺栓9转接在右侧的支杆72上。

所述上模块5和下模块4均有多种规格，可以不同直径的硅棒1选用相应的规格；通用性高。

使用时，根据硅棒1的直径，选择相对应规格的上模块5和下模块4；将下模块4套接在四个导向柱22上，将硅棒1放置在下弧形槽41内；转动支架7，使滑杆8与硅棒1对齐，然后拧紧紧固螺钉15，使支架7固定；使硅棒1的左端与滑杆8右侧的挡块81接触，此时滑杆8处于刻度为零，弹簧6不受力，然后根据所需硅片的厚度转动调节螺栓9，使硅棒1移动到指定的位置；然后在四根导向柱22依次套接上上模块5和上压块3；然后通过拧紧四个压紧螺母23，上模块5将硅棒1固定；通过拧紧三个压紧螺栓10，使三个方形块11带动三个辅助压块13下移，从而使三个辅助压块13将硅棒1进一步固定；然后拧松调节螺栓9和紧固螺钉15，使支架7复位；安装完成，即可对硅棒1进行切割。

采用调节螺栓9调整硅棒1，可以防止硅棒1晃动，减小误差。

以上所述仅为本实用新型的具体实施例，但本实用新型的技术特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本实用新型的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本实用新型的专利范围之中。

Claims (7)

1.一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：包括用于固定硅棒(1)的固定装置、转接在固定装置上且用于控制硅棒(1)位置的定位装置；

所述固定装置包括上表面的四个角上分别设有四个垂直于上表面的导向柱(22)的下压块(2)，每个导向柱(22)的上部均设有螺纹；固定装置还包括从上到下依次套接在四个导向柱(22)上的下模块(4)、上模块(5)、上压块(3)、四个分别设置在四个导向柱(22)上的压紧螺母(23)；所述上模块(5)的下表面设有与硅棒(1)相配的上弧形槽(51)，所述下模块(4)的上表面设有与硅棒(1)相配的下弧形槽(41)；

所述定位装置包括安装在下压块(2)上的转接装置、转接在转接装置上的支架(7)、设置在硅棒(1)左端且可相对支架(7)左右移动的滑杆(8)、设置在硅棒(1)右侧且设置在支架(7)上的调节螺栓(9)；所述滑杆(8)穿射在支架(7)上且设有刻度，滑杆(8)左右每端均设有一个挡块(81)，滑杆(8)上套接有位于支架(7)和右侧挡块(81)之间的弹簧(6)。

2.根据权利要求1所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述下压块(2)的上表面带有弧形的下凹槽(21)，所述下模块(4)的下表面与下压块(2)的上表面相配；

所述上压块(3)的下表面设有上凹槽(31)，所述上凹槽(31)的左右每端均设有一个固连在上压块(3)上的弧形块(32)，所述上模块(5)为一个中空的矩形框架，上弧形槽(51)有两个且分别设置在上模块(5)左右两条边的上表面上，所述上模块(5)的上表面与下压块(3)下表面相配。

3.根据权利要求2所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述上压块(21)上穿设有至少一个轴线垂直于上压块(21)上表面且上小下大的阶梯孔，所述阶梯孔位于上压块(21)的前后对称面上，阶梯孔的上部为圆形的螺纹孔且配有压紧螺栓(10)，所述阶梯孔的下部为方形孔且配有方形块(11)，所述方形块(11)和压紧螺栓(10)之间设有轴承(12)；每个方形块(11)下方均固连有一个辅助压块(13)，辅助压块(13)位于上凹槽(31)内。

4.根据权利要求3所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述辅助压块(13)为弧形。

5.根据权利要求3或4所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述阶梯孔有三个。

6.根据权利要求3所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述轴承(12)为角接触球轴承。

7.根据权利要求1所述的一种圆柱形硅棒夹具，其特征是：所述转接装置包括两个分别固连在下压块(2)前侧面左右两端的支撑块(14)、两个分别设置在两个支撑块(14)上且用于固定支架(7)的紧固螺钉(15)；所述支架(7)包括一根转接在两个支撑块(14)上且左右方向设置的圆杆(71)、两根分别固连圆杆(71)左右两端且垂直圆杆(71)的支杆(72)，所述滑杆(8)穿射在左侧的支杆(72)上，所述调节螺栓(9)转接在右侧的支杆(72)上。