CN203929672U - 物件检测装置 - Google Patents
物件检测装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203929672U CN203929672U CN201420358669.3U CN201420358669U CN203929672U CN 203929672 U CN203929672 U CN 203929672U CN 201420358669 U CN201420358669 U CN 201420358669U CN 203929672 U CN203929672 U CN 203929672U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detection
- thing
- thing surface
- spectroscope
- grid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 92
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 abstract 1
- 101001031591 Mus musculus Heart- and neural crest derivatives-expressed protein 2 Proteins 0.000 description 27
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本实用新型系一种物件检测装置，包括：以一第二光源投射检测物表面，使其反射受一第一检测装置撷取检测物表面影像；另以一第一光源向光栅投射光源，使光栅上的网格经一第二分光镜折射至检测物表面，再使其反射经一第一分光镜折射受一第二检测装置撷取检测物表面具网格的影像；藉以不仅可以第一检测装置观测检测物表面影像，亦可同时以第二检测装置作强化表面瑕疵特征的凹痕、裂痕检查。
Description
技术领域
本实用新型系有关于一种检测装置，尤指一种用以在具反射表面的物件上进行检测的物件检测装置。
背景技术
一般的电子组件由于体积微小，若发生瑕疵则检查上相当困难，因此在高科技产业中惯用CCD镜头来作检测，一方面将瑕疵部位放大，另一方面藉由数字化的影像来检测其瑕疵部位的确实位置，以进行补救制程或淘汰程序。
一种以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵的装置曾被采用，其主要利用光栅所产生的网格变形，透过CCD镜头来检出瑕疵的部位确实位置，在晶圆晶粒的瑕疵检测中亦曾采用此种检测方式，其通常于特定光源及角度下，经人工方式透过CCD镜头进行观察光栅因受瑕疵部位影响所产生的网格变形状态，来检出晶圆晶粒的瑕疵部位。
实用新型内容
然而以光栅配合CCD镜头进行检测瑕疵固然为业界所惯用，惟先前技术在晶圆晶粒的瑕疵检测中采用此种方式检测常遭遇一些问题，因为晶圆晶粒表面具有极亮的光泽，加上晶圆晶粒表面的平整度，使晶圆晶粒表面纵有瑕疵裂痕，在特定光源及角度下，晶圆晶粒表面光泽的反射，将使CCD镜头受到表面光泽反射光源的干扰，而不易检测出瑕疵裂痕。
于是，本实用新型的目的，在于提供一种可依需要同时或切换不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测装置。
本实用新型的另一目的，在于提供一种可对易受表面光泽反射光源干扰，而不易检测出瑕疵凹痕、裂痕的检测物进行检测的物件检测装置。
本实用新型的又一目的，在于提供一种可藉共用光路以不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测装置。
本实用新型的再一目的，在于提供一种可依需要同时或切换或不同检测装置对检测物进行瑕疵凹痕、裂痕检测的物件检测装置。
本实用新型的又再一目的，在于提供一种可对易受表面光泽反射光源干扰，而不易检测出瑕疵凹痕、裂痕的检测物进行检测的物件检测装置。
依据本实用新型目的的物件检测装置，包括：一第一检测装置及一第二检测装置，二者各具有不同焦距而分别撷取检测物表面影像，其中，第二检测装置撷取检测物表面影像中光栅网格变化者。
依据本实用新型另一目的的物件检测装置，包括：一具网格的光栅，经一第一光源投射于检测物表面；一第二检测装置，经一第一分光镜的折射撷取检测物表面具网格影像，由影像中光栅网格变化观测检测物的瑕疵凹痕、裂痕者。
依据本实用新型又一目的的物件检测装置，包括：一第二光源，投射检测物表面，其反射形成一第一检测光路；一具网格的光栅，经一第一光源投射于检测物表面形成一第二检测光路；该第一检测光路由一第一检测装置撷取检测物表面的影像；该第二光路由一第二检测装置撷取检测物表面具网格的影像。
依据本实用新型再一目的的物件检测装置，包括：一第一检测装置，用以撷取检测物表面影像；一第一分光镜，其设于第一检测装置与检测物连成的轴向上；一第二检测装置，其对应该第一分光镜，以撷取第一分光镜折射的检测物表面影像；一第二分光镜，设于第一检测装置与检测物连成的轴向上，其设有具网格的光栅，一第一光源向光栅投射光源，使光栅上的网格经第二分光镜折射至检测物表面；一第二光源，位于第二分光镜与检测物表面间，并设于第一检测装置与检测物连成的垂直轴向上。
依据本实用新型又再一目的的物件检测装置，包括：一光栅，具有网格，并受一第一光源投射而将网格投射于一检测物表面；一第二检测装置，其经自一第一分光镜的折射，而撷取该检测物表面反射的具网格的检测物表面影像。
本实用新型实施例的物件检测装置，其以具网格的光栅屏蔽置于第一光源前端，使其投射于检测物的检测面上，再藉由第二检测装置的CCD镜头架构正确的焦距，清楚观测检测物表面网格变化，并标示瑕疵位置以屏幕用图像显示；其于检测物原第一检测装置的CCD镜头检测项目所需光学机构上，再架构第二组具部份同光路的感测***，以同时取得不受光源反射干扰而清楚表现检测物表面细微瑕疵裂痕的网格影像，用户不仅可以第一检测装置观测检测物表面影像，亦可同时或切换以第二检测装置作排除光源反射干扰的表面细微瑕疵凹痕、裂痕检查，不仅可提升检测速度，亦可达到精确检测的目的。
附图说明
图1系本实用新型实施例的机构配置示意图。
图2系本实用新型实施例中第一检测光路的形成路径示意图。
图3系本实用新型实施例中第二检测光路的形成路径示意图。
图4系本实用新型实施例中光栅的网格示意图。
图5系本实用新型实施例中光栅的网格出现变形的示意图。
图6系本实用新型实施例中将光栅的网格出现变形处以图像显示于屏幕的示意图。
符号说明
1 第一检测装置 2 检测物
3 第一分光镜 31 镜体
4 第二检测装置 5 第二分光镜
51 镜体 52 光栅
53 第一光源 6 第二光源
L1 第一检测光路 L2 第二检测光路
具体实施方式
请参阅图1，本实用新型实施例的物件检测装置，可以图中所示的装置为例作说明；其中，包括：
一第一检测装置1，其可为一具有第一焦距的电荷耦合组件(CCD)或互补金属氧化半导体(CMOS)，并与检测物2呈垂直设置；
一第一分光镜3，其镜体31设为一左上右下的四十五度偏斜角度，并为第一检测装置1所对应，而设于第一检测装置1与检测物2连成的垂直轴向上，且与第一检测装置1呈垂直相邻；
一第二检测装置4，其可为一具有第二焦距的电荷耦合组件(CCD)或互补金属氧化半导体(CMOS)，所述第二焦距小于第一检测装置1的第一焦距；第二检测装置4与检测物2表面呈水平设置，并与第一检测装置1呈九十度夹角设置，其水平对应所述该第一分光镜3，且与该第一分光镜3呈水平相邻，以撷取第一分光镜折射的检测物2表面影像；
一第二分光镜5，其设为一左上右下的四十五度偏斜角度，并与第一分光镜3垂直相邻并对应，且设于第一检测装置1与检测物2连成的垂直轴向上，其设有位于镜体51一侧而与前述垂直轴向平行的光栅52，该光栅52与镜体51呈四十五度夹角，并与第二检测装置4呈垂直；光栅52表面具有规律性网格状条纹，其相对于镜体51的另一侧设有发光二极管(IR)所发射的第一光源53，该第一光源53向光栅52投射光源，使光栅52上的网格经第二分光镜5的镜体51折射至检测物2表面；
一第二光源6，为一环形光源，位于第二分光镜5与检测物2表面间，并设于第一检测装置1与检测物2连成的垂直轴向上。
请参阅图2，该第二光源6以环状且垂直方向朝检测物2表面投射光源，使光路在检测物2表面呈一百八十度反射，而经第二分光镜5镜体51及第一分光镜3的镜体31，而为具有第一焦距的第一检测装置1的CCD镜头所撷取影像；此由第二光源6向检测物2表面投射，而使第一检测装置1撷取影像的光路为第一检测光路L1。
请参阅图3，该第二分光镜5的IR所发射的第一光源53以水平方向朝向光栅52投射光源，使光栅52上的网格经四十五度偏斜角度的镜体51偏折，而以九十度角折射方向投射在检测物2表面，将该光栅52的网格与检测物2表面影像反射，经第二分光镜5镜体51及第一分光镜3的镜体31折射，而为具有第二焦距的第二检测装置4的CCD镜头所撷取影像，此由第二分光镜5的IR发射第一光源53向光栅52投射，而使第二检测装置4撷取影像的光路为第二检测光路L2。
所述第一检测光路L1与第二检测光路L2的发光源不同，但其由检测物2表面反射→第二分光镜5镜体51→第一分光镜3的光路部份相同，而自第一分光镜3形成分岐，其虽共同经由一第一分光镜取得检测物2表面影像，第一检测装置1系经第一分光镜直接撷取，且取得检测物2表面无光栅52上网格的直接影像；第二检测装置4则经由第一分光镜3折射而撷取具光栅52上网格的检测物2表面影像，操作者藉操控由第一检测装置1或第二检测装置4撷取影像，***可以控制由第一检测光路L1或第二检测光路L2执行，以获得不同焦距CCD镜头的取像结果。
在操作上可以二者同时或经由切换决定欲由第一检测装置1经由第一检测光路L1撷取影像，或由第二检测装置4经由第二检测光路L2撷取影像，而撷取的影像可传输反应至可阅读的屏幕上；其中，第一检测装置1经由第一检测光路L1，由于CCD镜头垂直该检测物2，因此，其所撷取者为自检测物2正面取得的表面影像；第二检测装置4经由第二检测光路L2，由于第二检测装置4非垂直对应地平行该检测物2表面，因此，其所撷取者为检测物2经第一分光镜3的镜体31分光折射的表面影像，故可抵消光源对检测物2表面反射的影响，使第二检测装置4的CCD镜头可不受光源反射干扰地撷取到检测物2表面细微的瑕疵、凹痕裂痕。
请参阅图4，所述光栅52为具有规律性网格状条纹的屏蔽，光源向光栅52投射而使规律性网格状条纹在检测物表面遇到瑕疵裂痕时，如图5所示，藉由CCD镜头可以清楚观测到瑕疵裂痕处网格的变化，并如图6所示，可将瑕疵裂痕处网格的变化转化为以方形框圈划显示的图像，呈现标示瑕疵凹痕、裂痕的部位于显示屏幕中，以供操作人员便利的判读。
本实用新型实施例的物件检测装置，其以具网格的光栅52屏蔽置于第一光源53前端，使其投射于检测物2的检测面上，再藉由第二检测装置4的CCD镜头架构正确的焦距，清楚观测检测物2表面网格变化，并予以标示瑕疵位置以屏幕用图像显示；其于检测物2原第一检测装置1的CCD镜头检测项目所需光学机构上，再架构第二组具部份同光路的感测***，以同时取得不受光源反射干扰而清楚表现检测物2表面细微瑕疵凹痕、裂痕的网格影像，用户不仅可以第一检测装置1观测检测物2表面影像，亦可切换以第二检测装置4作排除光源反射干扰的表面细微瑕疵裂痕检查，不仅可提升检测速度，亦可达到精确检测的目的。
惟以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即大凡依本实用新型申请专利范围及实用新型说明内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型专利涵盖的范围内。
Claims (11)
1.一种物件检测装置，其特征在于，包括：
第一检测装置及第二检测装置，二者各具有不同焦距而分别撷取检测物表面影像，其中，第二检测装置撷取检测物表面影像中光栅网格变化者。
2.如权利要求1所述的物件检测装置，其特征在于，该第一检测装置及第二检测装置共同经由第一分光镜取得检测物表面影像。
3.一种物件检测装置，其特征在于，包括：
具网格的光栅，经第一光源投射于检测物表面；
第二检测装置，经第一分光镜的折射撷取检测物表面具网格影像，由影像中光栅网格变化观测检测物的瑕疵凹痕、裂痕者。
4.一种物件检测装置，其特征在于，包括：
第二光源，投射检测物表面，其反射形成第一检测光路；
具网格的光栅，经第一光源投射于检测物表面形成第二检测光路；
该第一检测光路由第一检测装置撷取检测物表面的影像；该第二光路由第二检测装置撷取检测物表面具网格的影像。
5.如权利要求4所述的物件检测装置，其特征在于，该第一检测光路与第二检测光路在第一分光镜形成分岐，使第一检测装置经第一分光镜直接撷取检测物表面影像，第二检测装置则经由第一分光镜折射而撷取检测物表面具网格的影像。
6.如权利要求1、3、4任一项所述的物件检测装置，其特征在于，该光栅网格先经第二分光镜折射后，再投射至检测物表面。
7.如权利要求1、3、4任一项所述的物件检测装置，其特征在于，该撷取的检测物表面影像以屏幕予以标示瑕疵位置并用图像显示者。
8.如权利要求1、3、4任一项所述的物件检测装置，其特征在于，该第二检测装置与检测物表面非垂直对应者。
9.一种物件检测装置，其特征在于，包括：
第一检测装置，用以撷取检测物表面影像；
第一分光镜，其设于第一检测装置与检测物连成的轴向上；
第二检测装置，其对应该第一分光镜，以撷取第一分光镜折射的检测物表面影像；
第二分光镜，设于第一检测装置与检测物连成的轴向上，其设有具网格的光栅，第一光源向光栅投射光源，使光栅上的网格经第二分光镜折射至检测物表面；
第二光源，位于第二分光镜与检测物表面间，并设于第一检测装置与检测物连成的垂直轴向上。
10.一种物件检测装置，其特征在于，包括：
光栅，具有网格，并受第一光源投射而将网格投射于检测物表面；
第二检测装置，其经自第一分光镜的折射，而撷取该检测物表面反射的具网格的检测物表面影像。
11.如权利要求10所述的物件检测装置，其特征在于，该光栅的网格先经第二分光镜折射后，再投射至检测物表面。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW103203617U TWM487433U (zh) | 2014-03-04 | 2014-03-04 | 物件檢測裝置 |
| TW103203617 | 2014-03-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203929672U true CN203929672U (zh) | 2014-11-05 |
Family
ID=51825471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420358669.3U Expired - Fee Related CN203929672U (zh) | 2014-03-04 | 2014-06-30 | 物件检测装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203929672U (zh) |
| TW (1) | TWM487433U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104897680A (zh) * | 2014-03-04 | 2015-09-09 | 万润科技股份有限公司 | 物件检测方法及装置 |
| CN115165920A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-10-11 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 | 一种三维缺陷检测方法及检测设备 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI798586B (zh) * | 2020-09-10 | 2023-04-11 | 萬潤科技股份有限公司 | 物件缺陷之檢查方法及裝置 |
-
2014
- 2014-03-04 TW TW103203617U patent/TWM487433U/zh not_active IP Right Cessation
- 2014-06-30 CN CN201420358669.3U patent/CN203929672U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104897680A (zh) * | 2014-03-04 | 2015-09-09 | 万润科技股份有限公司 | 物件检测方法及装置 |
| CN104897680B (zh) * | 2014-03-04 | 2017-09-05 | 万润科技股份有限公司 | 物件检测方法及装置 |
| CN115165920A (zh) * | 2022-09-06 | 2022-10-11 | 南昌昂坤半导体设备有限公司 | 一种三维缺陷检测方法及检测设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWM487433U (zh) | 2014-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN203824928U (zh) | 一种基于机器视觉的产品外表面缺陷图像采集装置 | |
| CN102278958A (zh) | 铝板平面度视觉检测*** | |
| CN203929672U (zh) | 物件检测装置 | |
| CN105486700B (zh) | 一种检测透明物体缺陷的***及其使用方法 | |
| CN104897680B (zh) | 物件检测方法及装置 | |
| CN104567680A (zh) | 一种电线电缆结构的测量*** | |
| CN106500832A (zh) | 一种基于机器视觉的低频振动校准装置 | |
| CN104236457A (zh) | 以红外光源作为散斑靶标的数字散斑测量装置及测量方法 | |
| CN110455221A (zh) | 一种快速测量光学镜片曲率半径的光路结构和设备 | |
| CN110119208A (zh) | 悬浮显示成像装置及悬浮显示触控方法 | |
| CN205482826U (zh) | 便携式蓝光三维扫描仪 | |
| CN106524955A (zh) | 一种平面等厚干涉数显测量装置及测量平晶平面度的方法 | |
| JP2020076717A (ja) | 光学検査装置及び光学検査方法 | |
| WO2017018184A1 (ja) | 隙間計測装置、及び、隙間管理システム | |
| WO2012145953A1 (zh) | 一种基于平面光源定位的装置及方法 | |
| CN204027528U (zh) | 一种视觉检测装置 | |
| TW201825886A (zh) | 用於表面異物檢測的自動光學檢測系統 | |
| CN104180772B (zh) | 一种视觉检测装置 | |
| CN102901465A (zh) | 一种测量光学镜片斜率误差的设备和方法 | |
| TW201723428A (zh) | 傾斜角度與距離量測方法 | |
| CN110082361B (zh) | 一种物体外观与裂纹检测装置与检测方法 | |
| CN105091784A (zh) | 用于表面为镜面或透明表面的被测物的三维成像*** | |
| CN205426287U (zh) | 机器视觉料位计 | |
| CN105526993A (zh) | 机器视觉料位计及其测量料位的方法 | |
| CN106768891A (zh) | 一种基于反射图像方法检测物体表面法线误差的专用设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141105 Termination date: 20190630 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |