CN203858496U - 一种废液监控*** - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种废液监控***，包括废液收集器、及执行器，还包括：用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至执行器，以便执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制的局部控制盘；局部控制盘包括用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将废液信息换算成数据信号的感测和逻辑控制单元；及用于输出数据信号至执行器的输出单元，与感测和逻辑控制单元连接。本实用新型废把所有的控制从PLC转移到了局部控制盘上，降低了半导体工厂中庞大的远程控制***中从检测到执行过程中任一环节出现故障的几率，实现了整个***控制的现场化，如果其中有任何一个环节出现问题，那么就可得知及时对其进行现场维修。

Description

一种废液监控***

技术领域

本实用新型属于半导体技术领域，涉及一种监控***，特别是涉及一种局部控制盘以及采用该局部控制盘的废液监控***。

背景技术

当代微电子信息技术水平的高低代表了一个国家现代科学技术水平的高低。单晶硅材料是半导体工业的基础，在高速发展的微电子信息产业和太阳能产业中，半导体及集成电路制备过程中需进行严格的洁净清洗，需要大量超纯水，据统计，6"晶圆需要消耗水资源1吨/片，8"和12"晶圆需要消耗水资源3吨/片和12吨/片，因此，在半导体产业中，需要一个处理液体水的废液监控***。

但是在半导体工厂中，工厂生活用水和废水处理分布也很广泛，根据工厂的建筑设计，废水收集点将遍布整个半导体厂区，为了安全、环保、和自动化控制的需要，我们将要在每一个控制点处都要实现自动化的零间断检测与控制，这对整个***的整合是一个很庞大的工程，因为现场需要自动化控制，而且还需要将现场的各种工作状态反馈到监控室，现有技术的废液监控***的设计方式是采用网络来实现控制信息的接收和传递，但是现有技术存在一个很重要的缺点就是如此庞大的信息量会因为在这个庞大的控制网络中间任一环节出现问题都会导致整个***全面瘫痪，影响***的检测与控制。

因此，如何提供一种局部控制盘和具有这种控制盘的半导体工厂废液监控***，以解决现有技术中的在实现控制信息的接收和传递过程中可能会庞大的控制网络中间任一环节出现问题而导致整个网络的瘫痪，实已成为本领域从业者亟待解决的技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种废液监控***，用于解决现有技术中实现控制信息的接收和传递过程中可能会庞大的控制网络中间任一环节出现问题而导致整个网络的瘫痪的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种废液监控***，包括人机交互界面、集线器、中央处理器、废液收集器、及执行器，所述废液监控***还包括：用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至所述执行器，以便所述执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制的局部控制盘；所述局部控制盘包括用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将所述废液信息换算成数据信号的感测和逻辑控制单元；及用于输出所述数据信号至所述执行器的输出单元，与所述感测和逻辑控制单元连接。

优选地，所述废液监控***还包括用于监控所述废液监控***上所有组成部件的运行状态的PLC，所述PLC与所述局部控制盘连接。

优选地，所述局部控制盘还包括电源部、手动操作控制单元、与所述手动操作控制单元连接的自动操作控制单元、及与所述感测和逻辑控制单元连接的执行设备过载控制单元，所述电源部包括火线和零线。

优选地，所述自动操作控制单元包括一用于防止各所述执行器之间发生冲突的双层互锁电路，在所述双层互锁电路中包括3个继电器1、3个继电器2、3个继电器3、2个继电器5、2个继电器6、3个继电器7、及2个继电器10；其中，第一个继电器1的一端与第一个继电器7的一端相连接，所述第一个继电器1的另一端与第一个继电器2相连接，所述第一个继电器1和第一个继电器3并联，所述第一个继电器2的另一端通过一继电器3连接到所述零线上，所述第一个继电器7的另一端与第二个继电器2的一端相连接，所述第二个继电器2的另一端与第二个继电器3的一端相连接，所述第二个继电器3的另一端与第一个继电器6的一端相连接，所述第一个继电器6的另一端通过一继电器8与所述手动操作控制单元(162)相连接，第二个继电器1的一端与所述第二个继电器2的一端相连接，所述第二个继电器1的另一端与所述第一个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器1与第二个继电器7、第一个继电器10并联；第二个继电器5的一端通过另一继电器8与所述手动操作控制单元(162)相连接，所述第二个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器6个另一端与第三个继电器3的一端相连接，所述第三个继电器3的另一端与第三个继电器1的一端相连接，所述第三个继电器1的另一端与第三个继电器2的一端相连接，所述第三个继电器2的另一端与所述第二个继电器6的一端相连接，所述第三个继电器3和第三个继电器7、第二个继电器10并联。

优选地，所述感测和逻辑控制单元包括干接点触点1、干接点触点2、干接点触点3、干接点触点4、1个继电器4、5个继电器5、4个继电器6、3个继电器7、3继电器8、指示灯2、指示灯3、指示灯4、及指示灯5；其中，干接点触点1的一端与干接点触点2的一端相连接，所述干接点触点1的另一端与第一个继电器7的一端连接，所述干接点触点2的另一端与第一个继电器6的一端相连接，所述第一个继电器6的另一端与第一个继电器7的另一端相连接，指示灯2与所述第一个继电器6并联；干接点触点3的一端与所述干接点触点2的一端相连接，所述干接点触点3的另一端与第一个继电器5的一端，所述第一个继电器5的另一端与所述第一个继电器6的另一端相连接，第二个继电器5的一端与所述干接点触点3的一端相连接，所述第二个继电器5的另一端与指示灯3的一端相连接，所述指示灯3的另一端与所述第一个继电器5的另一端相连接；干接点触点4的一端与所述干接点触点3的一端相连接，所述干接点触点4的另一端与第一个继电器8的一端相连接，所述第一个继电器8的另一端与所述指示灯3的另一端相连接；第三个继电器5的一端与所述干接点触点4的一端相连接，所述第三个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器6的另一端与第二个继电器7的一端相连接，所述第二个继电器7的一端与第二个继电器8的一端相连接，所述第二个继电器8的另一端与指示灯4的一端相连接，所述指示灯4的另一端与所述指示灯3的另一端相连接；第二个继电器6的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第二个继电器6的另一端与第三个继电器7的一端相连接，所述第三个继电器7的另一端与继电器4的一端相连接，所述继电器4的另一端与所述指示灯5的另一端相连接；第四个继电器6的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第四个继电器6的另一端与第四个继电器5的一端相连接，所述第四个继电器5的另一端与指示灯5的一端相连接，所述指示灯5的另一端与所述继电器4的另一端相连接，第三个继电器8的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第三个继电器8的另一端与第五个继电器5的一端相连接，所述第五个继电器5与所述继电器4的另一端相连接。

优选地，所述废液监控***还包括一溢出废液收集箱，所述局部控制盘还包括一与所述溢出废液收集箱相对应的溢出废液排放控制电路。

优选地，所述溢出废液排放控制电路包括手动操作控制单元、与手动操作控制单元连接的自动操作控制单元、与自动操作控制单元连接的执行器故障控制单元、与执行器故障控制单元连接的执行器开启与故障复位控制单元、及与执行器开启与故障复位控制单元连接的执行器开启与故障检测单元；其中，所述手动操作控制单元包括熔断器、启动开关、互锁停止开关1、2个继电器1、1个继电器2、1个继电器3、1个继电器4、2个继电器7、2个继电器8、超高水位液位开关2、高水位液位开关3、及切换开关，所述切换开关具有4个端口；其中，熔断器的一端连接切换开关的第一端口，切换开关的第二端口与第一个继电器1的一端相连接，所述第一个继电器1的另一端与互锁停止开关1的一端相连接，所述互锁停止开关1的另一端与所述第二个继电器1相连接，所述第二个继电器1的另一端与第一个继电器7的一端相连接，第一个继电器7的另一端与继电器4的一端相连接，继电器4的另一端与超高水位液位开关2的一端相连接，所述超高水位液位开关2的另一端与所述切换开关的第四端口相连接；所述超高水位液位开关2分别与第二个继电器7、第一个继电器8并联，所述第一个继电器8的一端与继电器3的一端相连接，所述第一个继电器8的另一端与高水位液位开关3的一端相连接，所述继电器3的另一端与第二个继电器8的一端相连接，所述第二个继电器8的另一端与所述继电器2的一端相连接，所述第一个继电器2的另一端与高水位液位开关3的另一端相连接。

优选地，所述自动操作控制单元包括1个继电器2、2个继电器3、2个继电器4、2个继电器5、3个继电器6、1个继电器7、1个继电器8、1个继电器9、3个继电器10、3个继电器11、互锁停止开关2、选择开关3、低水位液位开关4、及反馈器PLC；其中，第一个继电器11的一端与切换开关的第四端口相连接，第一个继电器11的另一端口与低水位液位开关4的一端相连接，低水位液位开关4的另一端与继电器2的一端相连接，继电器2的另一端与互锁停止开关2的一端相连接，互锁停止开关2的另一端与第一个继电器6的一端相连接，第一个继电器6的另一端与第一个继电器8的一端相连接，第一个继电器8的另一端与选择开关3的第三个端口相连接，第一个继电器6与第一个继电器7并联，第一个继电器8与第一个继电器5并联，选择开关的第二个端口与第二个继电器5的一端相连接，第二个继电器的5的另一端与第一个继电器3的一端相连接，第一个继电器3的另一端与第一个继电器4连接，第一个继电器4的另一端与第二个继电器6的一端相连接，第二个继电器6的另一端与选择开关3的第四个端口相连接，所述第一个继电器2分别与第二个继电器3；第二个继电器4并联，第二个继电器11的一端连接在所述切换开关的第三个端口上，第二个继电器11的另一端与第一个继电器2的另一端相连接，第一个继电器10的一端连接在切换开关的第四个端口，第一个继电器10的另一端与第一个继电器6的一端上，反馈器的一端与切换开关的第四个端口相连接，反馈器的另一端与第二个继电器10的一端相连接，第二个继电器10的另一端与第三个继电器11的一端相连接，第三个继电器11的另一端与第三个继电器10的一端相连接，第三个继电器10的另一端连接在切换开关的第四个端口上，继电器9的一端连接在切换开关的第三个端口上，继电器9的另一端连接在所述泵故障控制单元上。

优选地，所述执行器故障控制单元包括控制过载保护器1、控制过载保护期2，2个继电器5，2个继电器6；其中，控制过载保护器1与第一个继电器5并联，控制过载保护期2与第一个继电器6并联，所述控制过载保护器1一端连接在控制过载保护器2的一端上，所述控制过载保护器1的另一端与第二个继电器5的一端相连接，第二个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，第二个继电器6的另一端与所述控制过载保护器2的另一端相连接。

优选地，所述执行器开启与故障复位控制单元包括继电器3、继电器4、继电器5、继电器6、继电器9、继电器12、继电器13、控制过载保护器1、控制过载保护器2；其中，继电器3的一端与继电器4的一端相连接，继电器3的另一端与继电器12的一端相连接，继电器12的另一端与控制过载保护器1的一端相连接，控制过载保护器1的另一端与控制过载保护器2的一端相连接，控制过载保护器2的另一段与继电器13的一端相连接，继电器13的另一端与继电器5的一端相连接，继电器5的另一端与继电器4的一端相连接，继电器5与继电器6并联。

优选地，所述执行器开启与故障检测单元包括继电器5、继电器6，继电器12、继电器13、指示灯1、指示灯2、指示灯3、指示灯4；继电器12的一端与继电器13的一端相连接，继电器12的另一端与指示灯1的一端相连接，继电器13的另一端与指示灯2的一端相连接，指示灯1的另一端与指示灯2的另一端相连接；继电器5的一端与继电器6一端相连接，继电器5的另一端与指示灯3的一端相连接，继电器6的另一端与指示灯4的一端相连接，指示灯3的另一端与指示灯4的另一端相连接。

如上所述，本实用新型所述的废液监控***，具有以下有益效果：

1、本实用新型废液监控***中的局部控制盘解决了半导体工厂中庞大的网络通信架构和运行负载，使***运行简单化、清晰化、界面明朗化；

2、本实用新型所述的废液监控***中把所有的控制从PLC转移到了局部控制盘上，降低了半导体工厂中庞大的远程控制***中从检测到执行过程中任一环节出现故障的几率，实现了整个***控制的现场化，如果其中有任何一个环节出现问题，那么就可得知及时对其进行现场维修；

3、本实用新型所述废液监控***设计成本和运行仅占原始成本的1/5。

附图说明

图1显示为本实用新型的废液监控***的原理结构示意图。

图2显示为本实用新型的废液监控***中局部控制盘的电路示意图。

图3显示为本实用新型的废液监控***中局部控制盘的溢出废液排放控制电路示意图。

元件标号说明

1  废液监控***

11  人机交互界面

12  集线器

13  中央处理器

14  废液收集器

15  执行器

16  局部控制盘

17  PLC

18  溢出废液排放控制电路

162 手动操作控制单元

163 自动操作控制单元

164 感测和逻辑控制单元

165 执行器过载控制单元

166 输出单元

181 手动操作控制单元

182 自动操作控制单元

183 执行器故障控制单元

184 执行器开启与故障复位控制单元

185 执行器开启与故障检测单元

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅附图。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

本实施例提供一种废液监控***1，请参阅图1，显示为废液监控***的原理结构，所述废液监控***包括人机交互界面11、集线器12、中央处理器13、废液收集器14、执行器15、局部控制盘16、及PLC17。所述执行器15为多个泵和气阀，所述废液监控***1还包括一溢出废液收集器。请参阅2，显示为局部控制盘的结构，所述局部控制盘16包括电源部161(未示出)、手动操作控制单元162、与所述手动操作控制单元162连接的自动操作控制单元163、与所述自动操作控制单元163连接的感测和逻辑控制单元164、与所述感测和逻辑控制单元164连接的执行器过载控制单元165，及分别与所述感测和逻辑控制单元164、执行器过载控制单元165连接的输出单元166，在所述输出单元166中还包括有报警控制部，所述电源部161包括火线和零线。

在本实施例所述提供的废液监控***中，所述人机交互界面11用于交互和显示所述废液监控***的数据。

所述中央处理器13中包括有一主中央处理器和一从中央处理器，所述中央处理器用于负载整个***的信息转换和传输，所述人机交互界面的数据都来源于它。

所述局部控制盘16用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至所述执行器，以便所述执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制。所述局部控制盘中感测和逻辑控制单元164用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将所述废液信息换算成数据信号；输出单元166用于输出所述数据信号至所述执行器的。

其中，所述局部控制盘所包括的电源部161、手动操作控制单元162、自动操作控制单元163、感测和逻辑控制单元164、执行器过载控制单元165，输出单元166全部包括在废液排放控制电路167中，所述废液排放控制电路167由电源开关K/L，切换按钮K、指示灯HD、继电器KM、干接点触点YK、按钮SB、过载保护期O/L、及报警蜂鸣器BL组成。请参阅图2，显示为局部控制盘的电路结构，其中，指示灯HD1的一端连接在火线上，指示灯HD1的另一端连接在零线上。所述手动操作控制单元162包括启动按钮SB1、SB3，停止按钮SB2、SB4，继电器KM1，继电器KM2，所述启动按钮SB1的一端连接在切换按钮K上，另一端与所述停止按钮SB2相连接，启动按钮SB1与继电器KM1并联，启动按钮SB3的一端与所述启动按钮SB1的一端相连接，另一端与所述停止按钮SB4相连接，启动按钮SB3的一端与所述继电器KM2并联；

所述自动操作控制单元163包括一用于防止各所述执行器15之间发生冲突的双层互锁电路，在所述双层互锁电路中包括3个继电器KM1、3个继电器KM2、3个继电器KM3、2个继电器KM5、2个继电器KM6、3个继电器KM7、及2个继电器KM10；其中，第一个继电器KM1的一端与第一个继电器KM7的一端相连接，所述第一个继电器KM1的另一端与第一个继电器KM2相连接，所述第一个继电器KM1和第一个继电器KM3并联，所述第一个继电器KM2的另一端通过一继电器KM3连接到所述零线上，所述第一个继电器KM7的另一端与第二个继电器KM2的一端相连接，所述第二个继电器KM2的另一端与第二个继电器KM3的一端相连接，所述第二个继电器KM3的另一端与第一个继电器KM6的一端相连接，所述第一个继电器KM6的另一端通过一继电器KM8与所述手动操作控制单元162相连接，第二个继电器KM1的一端与所述第二个继电器KM2的一端相连接，所述第二个继电器KM1的另一端与所述第一个继电器KM6的一端相连接，所述第二个继电器KM1与第二个继电器KM7、第一个继电器KM10并联；第二个继电器KM5的一端通过另一继电器KM8与所述手动操作控制单元162相连接，所述第二个继电器KM5的另一端与第二个继电器KM6的一端相连接，所述第二个继电器KM6个另一端与第三个继电器KM3的一端相连接，所述第三个继电器KM3的另一端与第三个继电器KM1的一端相连接，所述第三个继电器KM1的另一端与第三个继电器KM2的一端相连接，所述第三个继电器KM2的另一端与所述第二个继电器KM6的一端相连接，所述第三个继电器KM3和第三个继电器KM7、第二个继电器10KM并联；

所述感测和逻辑控制单元164包括干接点触点YK1、干接点触点YK2、干接点触点YK3、干接点触点YK4、1个继电器KM4、5个继电器KM5、4个继电器KM6、3个继电器KM7、3继电器KM8、指示灯HD2、指示灯HD3、指示灯HD4、及指示灯HD5；其中，干接点触点YK1的一端与干接点触点YK2的一端相连接，所述干接点触点YK1的另一端与第一个继电器KM7的一端连接，所述干接点触点KM2的另一端与第一个继电器KM6的一端相连接，所述第一个继电器KM6的另一端与第一个继电器KM7的另一端相连接，指示灯HD2与所述第一个继电器KM6并联；干接点触点YK3的一端与所述干接点触点YK2的一端相连接，所述干接点触点YK3的另一端与第一个继电器KM5的一端，所述第一个继电器KM5的另一端与所述第一个继电器KM6的另一端相连接，第二个继电器KM5的一端与所述干接点触点YK3的一端相连接，所述第二个继电器KM5的另一端与指示灯HD3的一端相连接，所述指示灯HD3的另一端与所述第一个继电器KM5的另一端相连接；干接点触点YK4的一端与所述干接点触点YK3的一端相连接，所述干接点触点YK4的另一端与第一个继电器KM8的一端相连接，所述第一个继电器KM8的另一端与所述指示灯HD3的另一端相连接；第三个继电器KM5的一端与所述干接点触点YK4的一端相连接，所述第三个继电器KM5的另一端与第二个继电器KM6的一端相连接，所述第二个继电器KM6的另一端与第二个继电器KM7的一端相连接，所述第二个继电器KM7的一端与第二个继电器KM8的一端相连接，所述第二个继电器KM8的另一端与指示灯HD4的一端相连接，所述指示灯HD4的另一端与所述指示灯HD3的另一端相连接；第二个继电器KM6的一端与所述第三个继电器KM5的一端相连接，所述第二个继电器KM6的另一端与第三个继电器KM7的一端相连接，所述第三个继电器KM7的另一端与继电器4的一端相连接，所述继电器KM4的另一端与所述指示灯HD5的另一端相连接；第四个继电器KM6的一端与所述第三个继电器KM5的一端相连接，所述第四个继电器KM6的另一端与第四个继电器KM5的一端相连接，所述第四个继电器KM5的另一端与指示灯HD5的一端相连接，所述指示灯HD5的另一端与所述继电器KM4的另一端相连接，第三个继电器KM8的一端与所述第三个继电器KM5的一端相连接，所述第三个继电器KM8的另一端与第五个继电器KM5的一端相连接，所述第五个继电器KM5与所述继电器KM4的另一端相连接；

所述执行器过载控制单元165包括过载保护器O/L1、过载保护器O/L2、继电器KM9、继电器KM10、指示灯HD6、及指示灯HD7。所述过载保护器O/L1的一端与过载保护器O/L2的一端相连接，过载保护器O/L1的另一端与继电器KM9的一端相连接，所述继电器KM9的另一端连接在零线上，所述继电器KM9与指示灯HD6并联，所述过载保护器O/L2的另一端与继电器KM10的一端相连接，所述继电器KM10的另一端连接在零线上，所述继电器KM10与指示灯HD7并联。

所述输出单元166包括继电器KM7，继电器KM8，3个继电器KM11，指示灯HD10，消音按钮SB5，蜂鸣器BL。所述继电器KM7的一端与继电器KM8的一端相连接，所述继电器KM7的另一端与消音按钮SB5的一端相连接，消音按钮SB5的另一端与第一个继电器KM11的一端相连接，所述第一个继电器KM11的另一端与指示灯HD10的一端相连接，指示灯HD10的另一端与继电器KM8的另一端相连接，第二个继电器KM11与所述消音按钮SB5并联，第三个继电器KM11的一端与所述继电器KM7的另一端相连接，所述第三个继电器KM11的另一端与蜂鸣器BL的一端相连接，所述蜂鸣器BL的另一端连接在零线上。

在所述局部控制盘中还包括3个继电器KM1，3个继电器KM2，指示灯HD8，指示灯HD9，过载保护器O/L1，过载保护器O/L2，继电器KM3，继电器KM12。其中，继电器KM1，继电器KM1，指示灯HD8并联；继电器KM3，继电器KM2，指示灯HD9并联，过载保护器O/L1一端连接在继电器KM1的一端上，另一端连接在零线上，过载保护器O/L2的一端连接在继电器KM2的一端上，另一端连接在零线上。继电器KM3一端连接在自动操作控制单元上，另一端连接在零线上，继电器KM12一端连接在切换开关K上，另一端连接在零线上。

所述废液监控***还包括一溢出废液收集箱，所述局部控制盘还包括一与所述溢出废液收集箱相对应的溢出废液排放控制电路。请参阅图3，显示为溢出废液排放控制电路，所述溢出废液排放控制电路18包括手动操作控制单元181、与手动操作控制单元181连接的自动操作控制单元182、与自动操作控制单元182连接的执行器故障控制单元183、与执行器故障控制单元183连接的执行器开启与故障复位控制单元184、及与执行器开启与故障复位控制单元184连接的执行器开启与故障检测单元185。在本实施例中，所述执行器为泵，所以，执行器故障控制单元183、执行器开启与故障复位控制单元184、及执行器开启与故障检测单元185分别为泵故障控制单元183、泵开启与故障复位控制单元184、及泵开启与故障检测单元185。

在所述手动操作控制单元181中包括熔断器FU、启动开关SB、互锁停止开关K1、2个继电器KA1、1个继电器KA2、1个继电器KA3、1个继电器KA4、2个继电器KA7、2个继电器KA8、超高水位液位开关H2、高水位液位开关H3、及切换开关SW，所述切换开关SW具有4个端口。其中，熔断器FU的一端连接切换开关SW的第一端口，切换开关SW的第二端口与第一个继电器KA1的一端相连接，所述第一个继电器KA1的另一端与互锁停止开关K1的一端相连接，所述互锁停止开关K1的另一端与所述第二个继电器KA1相连接，所述第二个继电器KA1的另一端与第一个继电器KA7的一端相连接，第一个继电器KA7的另一端与继电器KA4的一端相连接，继电器KA4的另一端与超高水位液位开关H2的一端相连接，所述超高水位液位开关H2的另一端与所述切换开关SW的第四端口相连接。所述超高水位液位开关H2分别与第二个继电器KA7、第一个继电器KA8并联，所述第一个继电器KA8的一端与继电器KA3的一端相连接，所述第一个继电器KA8的另一端与高水位液位开关H3的一端相连接，所述继电器KA3的另一端与第二个继电器KA8的一端相连接，所述第二个继电器KA8的另一端与所述继电器KA2的一端相连接，所述第一个继电器KA2的另一端与高水位液位开关H3的另一端相连接。

所述自动操作控制单元182包括1个继电器KA2、2个继电器KA3、2个继电器KA4、2个继电器KA5、3个继电器KA6、1个继电器KA7、1个继电器KA8、1个继电器KA9、3个继电器KA10、3个继电器KA11、互锁停止开关K2、选择开关K3、低水位液位开关H4、及反馈器PLC。其中，第一个继电器KA11的一端与切换开关SW的第四端口相连接，第一个继电器KA11的另一端口与低水位液位开关H4的一端相连接，低水位液位开关H4的另一端与继电器KA2的一端相连接，继电器KA2的另一端与互锁停止开关K2的一端相连接，互锁停止开关K2的另一端与第一个继电器KA6的一端相连接，第一个继电器KA6的另一端与第一个继电器KA8的一端相连接，第一个继电器KA8的另一端与选择开关K3的第三个端口相连接，第一个继电器KA6与第一个继电器KA7并联，第一个继电器KA8与第一个继电器KA5并联，选择开关的第二个端口与第二个继电器KA5的一端相连接，第二个继电器的KA5的另一端与第一个继电器KA3的一端相连接，第一个继电器KA3的另一端与第一个继电器KA4连接，第一个继电器KA4的另一端与第二个继电器KA6的一端相连接，第二个继电器KA6的另一端与选择开关K3的第四个端口相连接，所述第一个继电器KA2分别与第二个继电器KA3。第二个继电器KA4并联，第二个继电器KA11的一端连接在所述切换开关的第三个端口上，第二个继电器KA11的另一端与第一个继电器KA2的另一端相连接，第一个继电器KA10的一端连接在切换开关SW的第四个端口，第一个继电器KA10的另一端与第一个继电器KA6的一端上，反馈器PLC的一端与切换开关SW的第四个端口相连接，反馈器PLC的另一端与第二个继电器KA10的一端相连接，第二个继电器KA10的另一端与第三个继电器KA11的一端相连接，第三个继电器KA11的另一端与第三个继电器KA10的一端相连接，第三个继电器KA10的另一端连接在切换开关SW的第四个端口上，继电器KA9的一端连接在切换开关SW的第三个端口上，继电器KA9的另一端连接在所述泵故障控制单元上。

所述泵故障控制单元183包括控制过载保护器KH1、控制过载保护期KH2，2个继电器KA5，2个继电器KA6。其中，控制过载保护器KH1与第一个继电器KA5并联，控制过载保护期KH2与第一个继电器KA6并联，所述控制过载保护器KH1一端连接在控制过载保护器KH2的一端上，所述控制过载保护器KH1的另一端与第二个继电器KA5的一端相连接，第二个继电器KA5的另一端与第二个继电器KA6的一端相连接，第二个继电器KA6的另一端与所述控制过载保护器KH2的另一端相连接。

所述泵开启与故障复位控制单元184包括继电器KA3、继电器KA4、继电器KA5、继电器KA6、继电器KA9、继电器KA12、继电器KA13、控制过载保护器KH1、控制过载保护器KH2。其中，继电器KA3的一端与继电器KA4的一端相连接，继电器KA3的另一端与继电器KA12的一端相连接，继电器KA12的另一端与控制过载保护器KH1的一端相连接，控制过载保护器KH1的另一端与控制过载保护器KH2的一端相连接，控制过载保护器KH2的另一段与继电器KA13的一端相连接，继电器KA13的另一端与继电器KA5的一端相连接，继电器KA5的另一端与继电器KA4的一端相连接，继电器KA5与继电器KA6并联。

所述泵开启与故障检测单元185包括继电器KA5、继电器KA6，继电器KA12、继电器KA13、指示灯HD1、指示灯HD2、指示灯UD3、指示灯UD4。继电器KA12的一端与继电器KA13的一端相连接，继电器KA12的另一端与指示灯HD1的一端相连接，继电器KA13的另一端与指示灯HD2的一端相连接，指示灯HD1的另一端与指示灯HD2的另一端相连接；继电器KA5的一端与继电器KA6一端相连接，继电器KA5的另一端与指示灯UD3的一端相连接，继电器KA6的另一端与指示灯UD4的一端相连接，指示灯UD3的另一端与指示灯UD4的另一端相连接。

所述PLC17用于监控现场受控设备的运行状态，这与现有技术中的PCL功能不同，现有技术的废液监控***中PLC用于将从现场采集到的废液收集器的废液信息换算成数据信号，之后将所述数据信号输出给执行器执行，根据现场的实际情况会进行执行设备的选行和配置，这样做成本费用非常高。

本实施例所述的半导体工厂废液监控***站点分布广泛，所述的局部控制盘可安装在每个站点，这样随时都可对半导体工厂废液监控***中每一个站点进行控制。

本实用新型所述的局部控制盘应用于所述半导体工厂废液监控***中，首先解决了半导体工厂中庞大的网络通信架构和运行负载，使***运行简单化、清晰化、界面明朗化；其次本实用新型所述的半导体工厂废液监控***中把所有的控制从PLC转移到了局部控制盘上，降低了半导体工厂中庞大的远程控制***中从检测到执行过程中任一环节出现故障的几率，实现了整个***控制的现场化，如果其中有任何一个环节出现问题，那么就可得知及时对其进行现场维修；最后所述半导体工厂废液监控***设计成本和运行仅占原始成本的1/5。

综上所述，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (11)

1.一种废液监控***，包括人机交互界面、集线器、中央处理器、废液收集器、及执行器，其特征在于，所述废液监控***还包括： 

用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至所述执行器，以便所述执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制的局部控制盘；所述局部控制盘包括 

用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将所述废液信息换算成数据信号的感测和逻辑控制单元；及 

用于输出所述数据信号至所述执行器的输出单元，与所述感测和逻辑控制单元连接。 

2.根据权利要求1所述的废液监控***，其特征在于：所述废液监控***还包括用于监控所述废液监控***上所有组成部件的运行状态的PLC，所述PLC与所述局部控制盘连接。 

3.根据权利要求1所述的废液监控***，其特征在于：所述局部控制盘还包括电源部、手动操作控制单元、与所述手动操作控制单元连接的自动操作控制单元、及与所述感测和逻辑控制单元连接的执行设备过载控制单元，所述电源部包括火线和零线。 

4.根据权利要求3所述的废液监控***，其特征在于：所述自动操作控制单元包括一用于防止各所述执行器之间发生冲突的双层互锁电路，在所述双层互锁电路中包括3个继电器1、3个继电器2、3个继电器3、2个继电器5、2个继电器6、3个继电器7、及2个继电器10；其中，第一个继电器1的一端与第一个继电器7的一端相连接，所述第一个继电器1的另一端与第一个继电器2相连接，所述第一个继电器1和第一个继电器3并联，所述第一个继电器2的另一端通过一继电器3连接到所述零线上，所述第一个继电器7的另一端与第二个继电器2的一端相连接，所述第二个继电器2的另一端与第二个继电器3的一端相连接，所述第二个继电器3的另一端与第一个继电器6的一端相连接，所述第一个继电器6的另一端通过一继电器8与所述手动操作控制单元相连接，第二个继电器1的一端与所述第二个继电器2的一端相连接，所述第二个继电器1的另一端与所述第一个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器1与第二个继电器7、第一个继电器10并联；第二个继电器5的一端通过另一继电器8与所述手动操作控制单元相连接，所述第二个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器6个另一端与第三个继电器3的一端相连接，所述第三个继电器3的另一端与第三个继电器1的一端相连接，所述第三个继电器1的另一端与第三个继电器2的一端相连接，所述第三个继电器2的另一端与 所述第二个继电器6的一端相连接，所述第三个继电器3和第三个继电器7、第二个继电器10并联。 

5.根据权利要求1所述的废液监控***，其特征在于：所述感测和逻辑控制单元包括干接点触点1、干接点触点2、干接点触点3、干接点触点4、1个继电器4、5个继电器5、4个继电器6、3个继电器7、3继电器8、指示灯2、指示灯3、指示灯4、及指示灯5；其中，干接点触点1的一端与干接点触点2的一端相连接，所述干接点触点1的另一端与第一个继电器7的一端连接，所述干接点触点2的另一端与第一个继电器6的一端相连接，所述第一个继电器6的另一端与第一个继电器7的另一端相连接，指示灯2与所述第一个继电器6并联；干接点触点3的一端与所述干接点触点2的一端相连接，所述干接点触点3的另一端与第一个继电器5的一端，所述第一个继电器5的另一端与所述第一个继电器6的另一端相连接，第二个继电器5的一端与所述干接点触点3的一端相连接，所述第二个继电器5的另一端与指示灯3的一端相连接，所述指示灯3的另一端与所述第一个继电器5的另一端相连接；干接点触点4的一端与所述干接点触点3的一端相连接，所述干接点触点4的另一端与第一个继电器8的一端相连接，所述第一个继电器8的另一端与所述指示灯3的另一端相连接；第三个继电器5的一端与所述干接点触点4的一端相连接，所述第三个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，所述第二个继电器6的另一端与第二个继电器7的一端相连接，所述第二个继电器7的一端与第二个继电器8的一端相连接，所述第二个继电器8的另一端与指示灯4的一端相连接，所述指示灯4的另一端与所述指示灯3的另一端相连接；第二个继电器6的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第二个继电器6的另一端与第三个继电器7的一端相连接，所述第三个继电器7的另一端与继电器4的一端相连接，所述继电器4的另一端与所述指示灯5的另一端相连接；第四个继电器6的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第四个继电器6的另一端与第四个继电器5的一端相连接，所述第四个继电器5的另一端与指示灯5的一端相连接，所述指示灯5的另一端与所述继电器4的另一端相连接，第三个继电器8的一端与所述第三个继电器5的一端相连接，所述第三个继电器8的另一端与第五个继电器5的一端相连接，所述第五个继电器5与所述继电器4的另一端相连接。 

6.根据权利要求1所述的废液监控***，其特征在于：所述废液监控***还包括一溢出废液收集箱，所述局部控制盘还包括一与所述溢出废液收集箱相对应的溢出废液排放控制电路。 

7.根据权利要求6所述的废液监控***，其特征在于：所述溢出废液排放控制电路包括手动操作控制单元、与手动操作控制单元连接的自动操作控制单元、与自动操作控制单元连接的执行器故障控制单元、与执行器故障控制单元连接的执行器开启与故障复位控制单元、及与执行器开启与故障复位控制单元连接的执行器开启与故障检测单元；其中，所述手动操作控制单元包括熔断器、启动开关、互锁停止开关1、2个继电器1、1个继电器2、1个继电器3、1个继电器4、2个继电器7、2个继电器8、超高水位液位开关2、高水位液位开关3、及切换开关，所述切换开关具有4个端口；其中，熔断器的一端连接切换开关的第一端口，切换开关的第二端口与第一个继电器1的一端相连接，所述第一个继电器1的另一端与互锁停止开关1的一端相连接，所述互锁停止开关1的另一端与第二个继电器1相连接，所述第二个继电器1的另一端与第一个继电器7的一端相连接，第一个继电器7的另一端与继电器4的一端相连接，继电器4的另一端与超高水位液位开关2的一端相连接，所述超高水位液位开关2的另一端与所述切换开关的第四端口相连接；所述超高水位液位开关2分别与第二个继电器7、第一个继电器8并联，所述第一个继电器8的一端与继电器3的一端相连接，所述第一个继电器8的另一端与高水位液位开关3的一端相连接，所述继电器3的另一端与第二个继电器8的一端相连接，所述第二个继电器8的另一端与所述继电器2的一端相连接，所述第一个继电器2的另一端与高水位液位开关3的另一端相连接。 

8.根据权利要求7所述的废液监控***，其特征在于：所述自动操作控制单元包括1个继电器2、2个继电器3、2个继电器4、2个继电器5、3个继电器6、1个继电器7、1个继电器8、1个继电器9、3个继电器10、3个继电器11、互锁停止开关2、选择开关3、低水位液位开关4、及反馈器PLC；其中，第一个继电器11的一端与切换开关的第四端口相连接，第一个继电器11的另一端口与低水位液位开关4的一端相连接，低水位液位开关4的另一端与继电器2的一端相连接，继电器2的另一端与互锁停止开关2的一端相连接，互锁停止开关2的另一端与第一个继电器6的一端相连接，第一个继电器6的另一端与第一个继电器8的一端相连接，第一个继电器8的另一端与选择开关3的第三个端口相连接，第一个继电器6与第一个继电器7并联，第一个继电器8与第一个继电器5并联，选择开关的第二个端口与第二个继电器5的一端相连接，第二个继电器的5的另一端与第一个继电器3的一端相连接，第一个继电器3的另一端与第一个继电器4连接，第一个继电器4的另一端与第二个继电器6的一端相连接，第二个继电器6的另一端与选择开关3的第四 个端口相连接，所述第一个继电器2分别与第二个继电器3；第二个继电器4并联，第二个继电器11的一端连接在所述切换开关的第三个端口上，第二个继电器11的另一端与第一个继电器2的另一端相连接，第一个继电器10的一端连接在切换开关的第四个端口，第一个继电器10的另一端与第一个继电器6的一端上，反馈器的一端与切换开关的第四个端口相连接，反馈器的另一端与第二个继电器10的一端相连接，第二个继电器10的另一端与第三个继电器11的一端相连接，第三个继电器11的另一端与第三个继电器10的一端相连接，第三个继电器10的另一端连接在切换开关的第四个端口上，继电器9的一端连接在切换开关的第三个端口上，继电器9的另一端连接在所述执行器故障控制单元上。 

9.根据权利要求7所述的废液监控***，其特征在于：所述执行器故障控制单元包括控制过载保护器1、控制过载保护期2，2个继电器5，2个继电器6；其中，控制过载保护器1与第一个继电器5并联，控制过载保护期2与第一个继电器6并联，所述控制过载保护器1一端连接在控制过载保护器2的一端上，所述控制过载保护器1的另一端与第二个继电器5的一端相连接，第二个继电器5的另一端与第二个继电器6的一端相连接，第二个继电器6的另一端与所述控制过载保护器2的另一端相连接。 

10.根据权利要求7所述的废液监控***，其特征在于：所述执行器开启与故障复位控制单元包括继电器3、继电器4、继电器5、继电器6、继电器9、继电器12、继电器13、控制过载保护器1、控制过载保护器2；其中，继电器3的一端与继电器4的一端相连接，继电器3的另一端与继电器12的一端相连接，继电器12的另一端与控制过载保护器1的一端相连接，控制过载保护器1的另一端与控制过载保护器2的一端相连接，控制过载保护器2的另一段与继电器13的一端相连接，继电器13的另一端与继电器5的一端相连接，继电器5的另一端与继电器4的一端相连接，继电器5与继电器6并联。 

11.根据权利要求7所述的废液监控***，其特征在于：所述执行器开启与故障检测单元包括继电器5、继电器6，继电器12、继电器13、指示灯1、指示灯2、指示灯3、指示灯4；继电器12的一端与继电器13的一端相连接，继电器12的另一端与指示灯1的一端相连接，继电器13的另一端与指示灯2的一端相连接，指示灯1的另一端与指示灯2的另一端相连接；继电器5的一端与继电器6一端相连接，继电器5的另一端与指示灯3的一端相连接，继电器6的另一端与指示灯4的一端相连接，指示灯3的另一端与指示灯 4的另一端相连接。