CN203857467U - 一种新型硅烷燃烧筒 - Google Patents
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Abstract
一种新型硅烷燃烧筒，包括筒体、进气口、助燃气体入口和出气口，进气口、助燃气体入口设置在筒体上，所述筒体上端开口，所述燃烧筒还包括封头和过滤装置，所述封头活动安装在所述筒体的上端开口处，与筒体形成一密封的腔体结构，所述出气口设置在所述封头上，所述过滤装置活动安装在所述封头与所述筒体的连接处，将所述腔体结构隔离成上下两段。本实用新型的燃烧筒即使长时间使用，也不会导致燃烧塔内填料及喷头堵塞，可以延长燃烧塔的维护周期。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏行业，具体涉及一种PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的简称)设备的废气处理***。
背景技术
目前光伏行业中的PECVD设备排放的硅烷、氨气等尾气主要是由燃烧塔处理的，其中，尾气中的硅烷需先在燃烧筒内燃烧，向燃烧筒内通入尾气和助燃气体（简称CDA）,两者混合后尾气中的硅烷即会燃烧,燃烧后产生二氧化硅粉尘。由于燃烧筒内无过滤器件，燃烧筒无法收集全部的二氧化硅粉尘，一部分二氧化硅粉尘会通过燃烧筒出气口进到燃烧塔塔体内部，易导致塔内填料及喷头频繁堵塞，需定期清理，影响了设备的正常运行，增加了设备的维护工作量。
实用新型内容
本实用新型的发明目的是提供一种新型硅烷燃烧筒，该燃烧筒即使长时间使用，也不会导致燃烧塔内填料及喷头堵塞，可以延长燃烧塔的维护周期。
本实用新型通过如下技术方案实现其发明目的：一种新型硅烷燃烧筒，包括筒体、进气口、助燃气体入口和出气口，进气口、助燃气体入口设置在筒体上，其特征在于，所述筒体上端开口，所述燃烧筒还包括封头和过滤装置，所述封头活动安装在所述筒体的上端开口处，与筒体形成一密封的腔体结构，所述出气口设置在所述封头上，所述过滤装置活动安装在所述封头与所述筒体的连接处，将所述腔体结构隔离成上下两段。
尾气从进气口进入筒体，与从助燃气体入口进入筒体的助燃气体混合，在燃烧筒内形成涡流并进行燃烧，过滤装置滤除燃烧后的尾气中的二氧化硅粉尘，过滤后的尾气从燃烧筒的出气口排出进入燃烧塔塔体内部，可有效避免燃烧塔内填料及喷头堵塞问题的发生。封头和过滤装置都采用活动连接的方式安装，以便在过滤装置发生堵塞后，可以及时打开燃烧筒的封头，拆下过滤装置进行清洗或更换。
作为本实用新型的一种改进，所述燃烧筒的封头的顶部设有过滤装置清理口，在燃烧筒内的过滤装置发生堵塞时，可以打开所述过滤装置清理口对所述过滤装置进行反吹扫，从而方便地实现对过滤装置进行清理。
作为本实用新型的进一步改进：所述过滤装置由多个内部中空的柱状滤芯构成，柱状滤芯的底面和柱面为其过滤面，上端开口，所述封头与所述筒体连接的一端上水平固定有一底板，该底板上开有多个滤芯安装孔，所述柱状滤芯通过其上部一一对应的安装在所述滤芯安装孔中。
作为本实用新型的更进一步改进：所述筒体下端也为开口，所述燃烧筒还包括活动连接在所述筒体的下端开口的吸附仓，所述吸附仓由盆状的仓体和盛装在仓体中用于收集二氧化硅粉尘的液体构成。尾气在燃烧筒内燃烧，燃烧产物二氧化硅粉尘收集在筒体底部的吸附仓内。
相对于现有技术，本实用新型具有如下有益效果：1）本实用新型在燃烧筒内设置过滤装置，使燃烧后的尾气先经过过滤滤除其中的二氧化硅粉尘后再送入燃烧塔内，使燃烧塔内的填料和喷头即使长时间使用，也不会发生堵塞，有利于延长燃烧塔的维护周期；
2）本实用新型的过滤装置可以随时拆下来清洗或更换，有利于降低本实用新型燃烧筒的使用成本；本实用新型设置过滤装置清理口，在燃烧筒内的过滤装置发生堵塞时，可以及时方便的打开过滤装置清理口对过滤装置进行反吹扫，有利于减少本实用新型燃烧筒的维护次数；
3）本实用新型的燃烧筒设置吸附仓，相比于现有技术二氧化硅粉尘的自然沉淀方式，可以更好的收集二氧化硅粉尘，进一步降低过滤装置发生堵塞的几率。
附图说明
图1为本实用新型较佳实施例的燃烧筒的结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实施例的新型硅烷燃烧筒，包括筒体8、封头7、过滤装置3和吸附仓2，筒体8两端开口，封头7通过法兰结构安装在筒体8的上端开口处，吸附仓2通过法兰结构安装在筒体8的下端开口处，吸附仓2由盆状的仓体和盛装在仓体中用于收集二氧化硅粉尘的液体构成，这里的液体有多种选择，本实施例中采用水来收集二氧化硅粉尘，二氧化硅粉尘落入水中后即被水湿润，无法再次扬起。这里的液体主要用于收集二氧化硅粉尘，所以一般阻燃或不燃的液体均可作为吸附仓的液体填料。过滤装置3可拆卸的安装在封头7与筒体8的连接处，将封头7、筒体8和吸附仓2组成的密封的腔体结构隔离成上下两段，燃烧筒的进气口1、助燃气体入口5设置在筒体8上，燃烧筒的出气口4设置在封头4上，封头4的顶部还设置有过滤装置清理口6，过滤装置清理口6和助燃气体入口5上都连接有电磁阀。
尾气由进气口1进入燃烧筒，与从助燃气体入口5进入燃烧筒的助燃气体混合形成涡流并进行燃烧，燃烧产物二氧化硅粉尘由燃烧筒底部的吸附仓2收集，燃烧后的气体经过滤装置3，滤除其中的过滤二氧化硅粉尘后从燃烧筒的出气口4进入到燃烧塔（未画出）内，在燃烧塔内可以采用水吸收提取尾气中的氨，即可达到尾气处理的目的。在燃烧筒内的过滤装置3发生堵塞时，可打开过滤装置清理口6处的电磁阀对过滤装置3进行反吹扫，降低过滤装置3堵塞的几率。
本实用新型的燃烧筒由于实现了对进入燃烧塔内的尾气进行过滤，可以有效的防止燃烧塔内填料和喷头发生堵塞，延长燃烧塔的维护周期。本实用新型在燃烧筒底部设置吸附仓2，使燃烧后产物二氧化硅粉尘被吸附到吸附仓中，可以有效减少燃烧筒内二氧化硅粉尘的含量，尽量降低过滤装置发生堵塞的几率。
过滤装置3由多个内部中空的柱状滤芯构成，柱状滤芯的底面和柱面为其过滤面，上端开口，封头7与筒体8连接的一端上水平固定有一底板，该底板上开有多个滤芯安装孔，柱状滤芯通过其上部一一对应的安装在所述滤芯安装孔中。
Claims (4)
1.一种新型硅烷燃烧筒，包括筒体、进气口、助燃气体入口和出气口，进气口、助燃气体入口设置在筒体上，其特征在于，所述筒体上端开口，所述燃烧筒还包括封头和过滤装置，所述封头活动安装在所述筒体的上端开口处，与筒体形成一密封的腔体结构，所述出气口设置在所述封头上，所述过滤装置活动安装在所述封头与所述筒体的连接处，将所述腔体结构隔离成上下两段。
2.根据权利要求1所述的新型硅烷燃烧筒，其特征在于，所述燃烧筒的封头的顶部设有过滤装置清理口。
3.根据权利要求2所述的新型硅烷燃烧筒，其特征在于，所述过滤装置由多个内部中空的柱状滤芯构成，柱状滤芯的底面和柱面为其过滤面，上端开口，所述封头与所述筒体连接的一端上水平固定有一底板，该底板上开有多个滤芯安装孔，所述柱状滤芯通过其上部一一对应的安装在所述滤芯安装孔中。
4.根据权利要求3所述的新型硅烷燃烧筒，其特征在于，所述筒体下端也为开口，所述燃烧筒还包括活动连接在所述筒体的下端开口的吸附仓，所述吸附仓由盆状的仓体和盛装在仓体中用于收集二氧化硅粉尘的液体构成。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107029481A (zh) * | 2017-06-21 | 2017-08-11 | 上海昶艾电子科技有限公司 | 用于样品气的油雾粉尘过滤装置 |
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