CN203850259U - 一种可侦测腔体真空度的装置 - Google Patents
一种可侦测腔体真空度的装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203850259U CN203850259U CN201420262000.4U CN201420262000U CN203850259U CN 203850259 U CN203850259 U CN 203850259U CN 201420262000 U CN201420262000 U CN 201420262000U CN 203850259 U CN203850259 U CN 203850259U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thermocouple
- inert gas
- cavity
- detecting
- filled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种可侦测腔体真空度的装置，所述装置至少包含：基座；位于基座上的腔体；经由基座一端收容于腔体内的热电偶；位于基座另一端管道上的惰性气体侦测装置。本实用新型中先在热电偶中预先充入惰性气体，并在基座另一端管道上安装对应的惰性气体的侦测装置，这就保证一旦热电偶破裂，热电偶中预先充入的惰性气体就会进入腔体而被安装在基座另一端管道上的惰性气体侦测装置侦测到，进而触发与之相连接的报警触发装置，在机台上显示出相应的报警信息，能够及时准确的发现热电偶的破裂；同时，高纯的惰性气体的充入，避免了热电偶破裂情况下空气进入腔体，保证了腔体的相对干净，减小了产品报废的风险。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种半导体器件技术领域，特别是涉及一种可侦测腔体真空度的装置。
背景技术
在半导体工艺炉管制程中常会发生热电偶破裂的情况，原因在于在薄膜沉积工艺中，通常需要使用ClF3气体来做干洗，而ClF3气体会对热电偶的表面石英保护层造成损伤，再加上多晶硅薄膜有很大的应力，这就有很大的概率会在产品的正常制程中发生热电偶破裂的现象。图1为现有技术中热电偶破裂示意图，由图1可以看出，热电偶10内经由基座11一端收容于腔体12内，在基座11处使用密封圈13密封起来，热电偶10外端与外界直接连通，一旦热电偶10破裂，外界的空气就会通过热电偶破裂处14进入腔体12，从而导致产品报废。
而目前业界对于热电偶制程中的破裂没有有效的预防方法，只有当在制程过程中发现测漏超过设定规格或者在控压无法达到要求的时候才会拆下热电偶做检查，但这样并不能在热电偶破裂的时候及时发现，从而无法避免产品报废的风险。
鉴于此，有必要设计一种新的结构以解决上述技术问题。
实用新型内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种可侦测腔体真空度的装置，用于解决现有技术中热电偶破裂以后不能及时侦测发现，以及热电偶破裂以后外界空气进入腔体，从而导致产品报废的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种可侦测腔体真空度的装置，所述装置至少包含：
基座；
位于基座上的腔体；
经由基座一端收容于腔体内的热电偶，设置于热电偶与基座结合处的密封圈，所述热电偶内预先充入惰性气体；
位于基座另一端管道内的惰性气体侦测装置；
与所述惰性气体侦测装置相连通的报警触发装置。
作为本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶与基座结合处设置有用于保证热电偶内的惰性气体始终充满的压力控制阀门。
作为本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶内预先充入的惰性气体为氦气。
作为本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述热电偶的外端与惰性气体源相连接，热电偶破裂时惰性气体源通过压力控制阀门为热电偶充入惰性气体。
作为本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述惰性气体源为氮气气体源。
作为本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置的一种优选方案，所述惰性气体侦测装置为氦气侦测装置。
如上所述，本实用新型的一种可侦测腔体真空度的装置，具有以下有益效果：本实用新型中先在热电偶中预先充入惰性气体，并在基座另一端管道上安装对应的惰性气体的侦测装置，这就保证一旦热电偶破裂，热电偶中预先充入的惰性气体就会进入腔体而被安装在基座另一端管道上的惰性气体侦测装置侦测到，进而触发与之相连接的报警触发装置，在机台上显示出相应的报警信息，能够及时准确的发现热电偶的破裂；同时，热电偶的外端与惰性气体源相连接，并在热电偶与基座结合处的密封圈外侧设置有压力控制阀门，这就保证一旦热电偶破裂，在压力控制阀门的调节下，惰性气体源向热电偶内充入惰性气体，高纯的惰性气体的充入，避免了热电偶破裂情况下空气进入腔体，保证了腔体的相对干净，减小了产品报废的风险。
附图说明
图1显示为现有技术中热电偶破裂示意图。
图2a显示为本实用新型的可侦测腔体真空度的装置的示意图。
图2b显示为本实用新型的可侦测腔体真空度的装置中的热电偶破裂示意图。
元件标号说明
10、20 热电偶
11、21 基座
12、22 腔体
13、23 密封圈
14、24 热电偶破裂处
25 压力控制阀门
26 基座另一端管道
27 惰性气体侦测装置
28 报警触发装置
29 惰性气体气流
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图2a至图2b。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。
请参阅图2a，显示为本实用新型的可侦测腔体真空度的装置的示意图，所述装置至少包含：基座21；位于基座21上的腔体22；经由基座21一端收容于腔体22内的热电偶20，设置于热电偶20与基座21结合处的密封圈23，所述热电偶20内预先充入惰性气体；位于基座另一端管道26内的惰性气体侦测装置27；与所述惰性气体侦测装置27相连通的报警触发装置28。
所述热电偶20大致呈“L”形，其由外层石英管和内部的热电偶丝组成，本实施例中，所述热电偶20的外层石英管的弯角处采用直角设计，直角设计可以增加弯角处的管壁的厚度，因此可以增加弯角处的外层石英管所能承受的剪应力，从而避免外层石英管弯角处的断裂。
所述热电偶20内预先充入有惰性气体，充入的惰性气体量以将热电偶20内的空气全部排出为限。热电偶20内预先充入的惰性气体用于热电偶20破裂时的检测，因此，所充入的惰性气体应为便于检测到的惰性气体。由于氦气具有将强的扩散性，穿透能力较强，易于捕捉，对漏点有很好的检出能力，因此，本实施例中，优选地，热电偶20内预先充入的惰性气体为氦气。
所述热电偶20与基座21结合处的密封圈23外侧设置有压力控制阀门25，通过所述压力控制阀门25来保证热电偶20内的惰性气体始终充满，不留有空气。
所述热电偶20的外端(即靠近压力阀的一端)通过气体管道与惰性气体源相连接，一旦热电偶20破裂，惰性气体源就可以通过压力控制阀门25为热电偶20充入惰性气体。图2b为本实施例中可侦测腔体真空度的装置中的热电偶破裂示意图，由图2a和图2b可知，当热电偶20破裂时，热电偶20内预先充入的惰性气体就会从热电偶破裂处24泄露到腔体22内，而同时，由于热电偶20内压力变小，压力控制阀门25打开，惰性气体源的气体充入热电偶20及腔体22。在后续充入惰性气体的不断充入下，热电偶20内的惰性气体由热电偶破裂处24形成由上至下的惰性气体气流29，使得惰性气体经由腔体22进入基座21另一端管道26，被设置于基座21另一端管道26内的惰性气体侦测装置27侦测到，进而触发报警触发装置28，在机台上显示相应的报警信息予以警示。
需要说明的是，由于惰性气体侦测装置27位于基座21另一端管道26内部，在实际的可侦测腔体真空度的装置的示意图中，并不能直接观测到惰性气体侦测装置27，这里只是为了说明惰性气体侦测装置27的位置而将其画出。
具体的，由于热电偶20破裂的情况下，通过惰性气体源充入的惰性气体量比较大，故热电偶20的外端(即靠近压力阀的一端)连接的惰性气体源应为一种相对比较普遍廉价、容易获得的惰性气体源。本实施例中，优选地，惰性气体源为氮气气体源。
具体的，本实施例中，在优选地热电偶20内预先充入的惰性气体为氦气的前提下，位于基座21另一端管道26上面的惰性气体侦测装置27为氦气侦测装置。也可以为其他种类惰性气体的侦测装置。
具体的，当热电偶20破裂时，热电偶20的惰性气体会泄露至腔体22及基座21另一端管道26内，如果惰性气体侦测装置27侦测到惰性气体，触发报警触发装置28后，可以在机台上以多种方式显示相应的报警信息予以警示，譬如，可以为报警触发装置的警示灯闪烁，也可以为报警触发装置发出预警声音，还可以为报警触发厨房装置的警示灯闪烁的同时发出预警声音等等。
综上所述，本实用新型中先在热电偶中预先充入惰性气体，并在基座另一端管道上安装对应的惰性气体的侦测装置，这就保证一旦热电偶破裂，热电偶中预先充入的惰性气体就会进入腔体而被安装在基座另一端管道上的惰性气体侦测装置侦测到，进而触发与之相连接的报警触发装置，在机台上显示出相应的报警信息，能够及时准确的发现热电偶的破裂；同时，热电偶的外端(即靠近压力阀的一端)与惰性气体源相连接，并在热电偶与基座结合处的密封圈外侧设置有压力控制阀门，这就保证一旦热电偶破裂，在压力控制阀门的调节下，惰性气体源向热电偶内充入惰性气体，高纯的惰性气体的充入，避免了热电偶破裂情况下空气进入腔体，保证了腔体的相对干净，减小了产品报废的风险。
上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
Claims (6)
1.一种可侦测腔体真空度的装置，其特征在于，所述装置至少包含：
基座；
位于基座上的腔体；
经由基座一端收容于腔体内的热电偶，设置于热电偶与基座结合处的密封圈，所述热电偶内预先充入惰性气体；
位于基座另一端管道内的惰性气体侦测装置；
与所述惰性气体侦测装置相连通的报警触发装置。
2.根据权利要求1所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述热电偶与基座结合处设置有用于保证热电偶内的惰性气体始终充满的压力控制阀门。
3.根据权利要求1所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述热电偶内预先充入的惰性气体为氦气。
4.根据权利要求1所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述热电偶的外端与惰性气体源相连接，热电偶破裂时惰性气体源通过压力控制阀门为热电偶充入惰性气体。
5.根据权利要求4所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述惰性气体源为氮气气体源。
6.根据权利要求3所述的可侦测腔体真空度的装置，其特征在于：所述惰性气体侦测装置为氦气侦测装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420262000.4U CN203850259U (zh) | 2014-05-21 | 2014-05-21 | 一种可侦测腔体真空度的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420262000.4U CN203850259U (zh) | 2014-05-21 | 2014-05-21 | 一种可侦测腔体真空度的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203850259U true CN203850259U (zh) | 2014-09-24 |
Family
ID=51563242
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420262000.4U Expired - Fee Related CN203850259U (zh) | 2014-05-21 | 2014-05-21 | 一种可侦测腔体真空度的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203850259U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110767568A (zh) * | 2018-07-26 | 2020-02-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 压力调节组件、下电极装置、工艺腔室和半导体处理设备 |
-
2014
- 2014-05-21 CN CN201420262000.4U patent/CN203850259U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110767568A (zh) * | 2018-07-26 | 2020-02-07 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 压力调节组件、下电极装置、工艺腔室和半导体处理设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8851099B2 (en) | Pipe monitoring system and method | |
| AU2014351320B2 (en) | Method and system for detection of blowout in pipes/tubes | |
| JP2019504327A (ja) | オンライン密封検知装置、多区画密封室型処理設備及びその方法 | |
| CN107965673B (zh) | 基于ar技术的天然气管道缺陷定位方法及装置 | |
| CN105067190A (zh) | 一种煤粉传输管道泄露预警探测方法 | |
| CN203850259U (zh) | 一种可侦测腔体真空度的装置 | |
| CN105448046A (zh) | 一种化工行业有毒气体泄漏的监测报警保护气囊装置 | |
| CN207113925U (zh) | 一种工业园区地下综合管廊集成监测与预警处置*** | |
| CN203981352U (zh) | 电子封装外壳密封检测用夹具 | |
| CN203231876U (zh) | 一种便携式隔离器用手套检漏仪 | |
| CN104062079B (zh) | 电子封装外壳密封检测用夹具 | |
| CN104154375A (zh) | 高压管道的测温测压数据采集头 | |
| CN206208785U (zh) | 一种拍照检测装置 | |
| CN203667985U (zh) | 酿酒冷却器分段接酒装置 | |
| CN204514556U (zh) | 一种输液管检漏测堵装置 | |
| CN105806554A (zh) | 一种具有危险报警功能的压力数显表 | |
| CN106015952A (zh) | 一种基于物联网的输油管道泄漏检测*** | |
| CN104329571A (zh) | 一种用于气体或液体泄漏的报警装置 | |
| CN205655974U (zh) | 一种安全阀的泄漏检测仪 | |
| CN203875508U (zh) | 一种法兰焊接装置 | |
| CN205808459U (zh) | 一种胶管压力、温度监测装置 | |
| CN109855786A (zh) | 一种用于石油输送管道油压检测的智能压力变送器 | |
| CN208927478U (zh) | 一种家具工厂专用干粉灭火装置 | |
| CN205280245U (zh) | 温度传感器在线泄露的检查装置 | |
| WO2018122506A3 (fr) | Dispositif et procede de determination du type d'une canalisation |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140924 Termination date: 20190521 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |